logo
Главная страница ПродукцияМашина для лабораторных испытаний

Четырехцелевой магнитронный плеснящий покрытие с загрузочной камерой PVD тонкопленочный покрытие инструмент сплав мембраны плеснящий тестер

Сертификация
КИТАЙ DONGGUAN LONROY EQUIPMENT CO LTD Сертификаты
КИТАЙ DONGGUAN LONROY EQUIPMENT CO LTD Сертификаты
Оставьте нам сообщение

Четырехцелевой магнитронный плеснящий покрытие с загрузочной камерой PVD тонкопленочный покрытие инструмент сплав мембраны плеснящий тестер

Four-Target Magnetron Sputtering Coater with Load-Lock Chamber PVD Thin Film Coating Instrument Alloy Membranes Sputter Tester
Four-Target Magnetron Sputtering Coater with Load-Lock Chamber PVD Thin Film Coating Instrument Alloy Membranes Sputter Tester Four-Target Magnetron Sputtering Coater with Load-Lock Chamber PVD Thin Film Coating Instrument Alloy Membranes Sputter Tester Four-Target Magnetron Sputtering Coater with Load-Lock Chamber PVD Thin Film Coating Instrument Alloy Membranes Sputter Tester Four-Target Magnetron Sputtering Coater with Load-Lock Chamber PVD Thin Film Coating Instrument Alloy Membranes Sputter Tester Four-Target Magnetron Sputtering Coater with Load-Lock Chamber PVD Thin Film Coating Instrument Alloy Membranes Sputter Tester Four-Target Magnetron Sputtering Coater with Load-Lock Chamber PVD Thin Film Coating Instrument Alloy Membranes Sputter Tester

Большие изображения :  Четырехцелевой магнитронный плеснящий покрытие с загрузочной камерой PVD тонкопленочный покрытие инструмент сплав мембраны плеснящий тестер

Подробная информация о продукте:
Место происхождения: Гуандун, Китай
Фирменное наименование: LONROY
Оплата и доставка Условия:
Количество мин заказа: 1
Цена: $1,000

Четырехцелевой магнитронный плеснящий покрытие с загрузочной камерой PVD тонкопленочный покрытие инструмент сплав мембраны плеснящий тестер

описание
Тип машины: Устройство для нанесения магнетронного напыления Напряжение: 380VAC±10%
Мощность (Вт): 5000 Гарантия: 1 год
вес (кг): 600
Выделить:

Четырехмишеневой магнетронный напылитель с камерой блокировки загрузки

,

Инструмент покрытия тонкой пленкой ПВД для мембран сплава

,

Лабораторная испытательная машина для проверки пятна

Описание продукции
Четырехцелевой магнитронный плеснящий покрытие с загрузочной камерой PVD тонкопленочный покрытие инструмент сплав мембраны плеснящий тестер

Краткое введениеЧетырехцелевая система покрытия магниторонного распыливания предназначена для отложения различных тонких пленок, включая ферроэлектрические, проводящие, сплавы, полупроводники, керамические, диэлектрические, оптические,окись, твердые, и пленки из ПТФЕ.
Четырехцелевой магнитронный плеснящий покрытие с загрузочной камерой PVD тонкопленочный покрытие инструмент сплав мембраны плеснящий тестер
Подробное введениеЭта четырехцелевая система покрытия магниторонным распылением является экономически эффективным устройством, разработанным нашей компанией, с стандартизированной, модульной и настраиваемой конструкцией.Клиенты могут выбрать магниторонные цели в размерах от 1 до 4 дюймов на основе их размеров подложкиСистема оснащена источниками питания 500 Вт постоянного тока и 500 Вт радиочастотного тока; источник питания постоянного тока подходит для металлических пленок, в то время как источник питания радиочастотного тока обрабатывает неметаллические пленки.Конфигурация четырех целей поддерживает многослойные или последовательные процессы покрытияСпециальные радиочастотные и импульсные источники питания доступны по запросу, с различными спецификациями от 300 Вт до 1000 Вт. Оборудование состоит из главной камеры и камеры блокировки нагрузки (переходной камеры).Эта конструкция позволяет пользователям загружать образцы и выполнять предварительное пылесошение в камере блокировки нагрузки, в то время как распыление происходит в главной камере.После завершения основного процесса, образец может быть передан на стадию главной камеры с помощью магнитного стержня.тем самым сэкономить время, поддерживая превосходную вакуумную среду и эффективно повышая качество покрытия. Система покрытия магниторонного распыливания с четырьмя целями подходит для отложения однослойных или многослойных пленок, таких как ферроэлектрические, проводящие, сплавные, полупроводниковые, керамические, диэлектрические, оптические, оксидные,По сравнению с аналогичным оборудованием, эта четырехцелевая магниторонная система распыливания предлагает не только широкое применение, но и преимущества компактного размера и простоты эксплуатации,что делает его идеальным инструментом для лабораторного производства тонкой пленкиВесь процесс осаждения происходит в среде с высоким вакуумом, что гарантирует, что испаренные атомы или молекулы достигают субстрата непосредственно;это предотвращает загрязнение атмосферными примесями и повышает качество пленкиУсловия высокого вакуума также помогают минимизировать окисление исходного материала, еще больше улучшая чистоту и производительность полученной тонкой пленки.
Четырехцелевой магнитронный плеснящий покрытие с загрузочной камерой PVD тонкопленочный покрытие инструмент сплав мембраны плеснящий тестер
Четырехцелевой магнитронный плеснящий покрытие с загрузочной камерой PVD тонкопленочный покрытие инструмент сплав мембраны плеснящий тестер
Четырехцелевой магнитронный плеснящий покрытие с загрузочной камерой PVD тонкопленочный покрытие инструмент сплав мембраны плеснящий тестер
Четырехцелевой магнитронный плеснящий покрытие с загрузочной камерой PVD тонкопленочный покрытие инструмент сплав мембраны плеснящий тестер
Четырехцелевой магнитронный плеснящий покрытие с загрузочной камерой PVD тонкопленочный покрытие инструмент сплав мембраны плеснящий тестер
Спецификация
Технические спецификации
Категория
Положение
Спецификация
Наименование продукта
Четырехцелевой магниторонный распылитель (DC Power + RF Power)
Модель продукта
LR-CK101
Стадия выборки
Размеры
φ150 мм
Точность контроля температуры
± 1°C
Диапазон нагрева
Температура в помещении до 900°C
Регулируемая скорость вращения
1 ‰ 20 оборотов в минуту (регулируемый)
Магнитронные пушки-мишени
Направление распыливания
Пропыливание вниз
Диапазон угла наклона цели
-45° до +45°; оборудованные пневматическим жалюзием
Размеры целевого материала
Диаметр 4 дюйма, толщина ≤3 мм
Изоляционное напряжение
> 2000 В
Количество
Три 4-дюймовых наклонных цели; одна 4-дюймовая фиксированная цель
Способ охлаждения
Водяное охлаждение
Вакуумная камера
Тип камеры
Камера типа D
Размеры камеры
Φ500 мм × 500 мм
Материал камеры
304 из нержавеющей стали
Окно наблюдения
Кварцевое окно диаметром φ100 мм
Способ открытия
Дверь с передней дверью
Управление газом
Контроль потока
Трехканальные контроллеры массового потока:Расстояние: 0 ‰ 500 SCCM;Расстояние: 0 ‰ 100 SCCM;Расстояние: 0 ‰ 20 SCCM
Биполярное импульсирующее магнитронное питание
Входное напряжение
380 VAC ±10%, трехфазная система с четырьмя проводами, 50 ∼ 60 Гц
Выходная мощность
0 ‰ 5 кВт
Выходное напряжение
0 ‰ 1000 В
Выходной ток
Максимум 9 А (при постоянной мощности)
Частота выхода
1 кГц 150 кГц
Характеристики выпуска
Постоянный ток / Постоянная мощность / Постоянное напряжение
Способ охлаждения
Охлаждение воздухом
Коммуникация
Аналоговый сигнал 0 ′5 V или 0 ′10 V; RS-485
Цикл работы
100%
Количество
1 единица
Источник питания RF
Квалификация питания
1000 Вт
Диапазон мощности
0W ≈ 1000W
Максимальная выходная мощность
1000 Вт
Максимальная отражаемая мощность
130 Вт
RF частота
130,56 МГц (стабильность: ± 0,005%)
Количество
1 единица
Электроснабжение постоянного тока
Сила
1000 Вт
Количество
2 единицы
Молекулярный насос
Скорость перекачки
1200 л/с
Способ охлаждения
Водоохлаждаемые
Уровень вакуума
90,0 × 10−4 Па
Скорость перекачки переднего насоса
4 л/с
Соединенный вакуумный прибор
Диапазон измерений 10−5 Pa 105 Pa
Количество
1 комплект
Вакуумный клапан
Пневматический клапан с электрическим управлением
Переходная камера
Размер камеры Подходит для пластин до 6 дюймов
Оборудовано молекулярным насосом:Предварительный насос: VRD-4 (скорость насоса: 1,1 л/с) Молекулярный насос: TG60F (Япония) (скорость насоса: 60
Л/с)
Монитор толщины пленки
Количество
1 комплект
Каналы
Одноканал
Точность измерений
1 Å
Стандартный кристалл кварца датчика
6 МГц
Совместимый размер кристалла кварца
φ14 мм
Водоохладитель
Диапазон регулирования температуры
10°25°C
Номинальная мощность охлаждения
00,75 кВт
Скорость потока
10 л/мин
Охлаждающая вода
Очищенная вода
Компрессор воздуха
Скорость вращения
1380 оборотов в минуту
Скорость потока
40 л/мин
Номинальное давление разряда
00,7 МПа
Система управления
ПЛК + 14,3-дюймовый сенсорный экран
Наши преимущества
Четырехцелевой магнитронный плеснящий покрытие с загрузочной камерой PVD тонкопленочный покрытие инструмент сплав мембраны плеснящий тестер

Контактная информация
DONGGUAN LONROY EQUIPMENT CO LTD

Контактное лицо: Kaitlyn Wang

Телефон: 19376687282

Факс: 86-769-83078748

Оставьте вашу заявку (0 / 3000)

Другие продукты