|
Подробная информация о продукте:
|
| Тип машины: | Устройство для нанесения магнетронного напыления | Напряжение: | 380VAC±10% |
|---|---|---|---|
| Мощность (Вт): | 5000 | Гарантия: | 1 год |
| вес (кг): | 600 | ||
| Выделить: | Четырехмишеневой магнетронный напылитель с камерой блокировки загрузки,Инструмент покрытия тонкой пленкой ПВД для мембран сплава,Лабораторная испытательная машина для проверки пятна |
||
Категория | Положение | Спецификация | |
Наименование продукта | Четырехцелевой магниторонный распылитель (DC Power + RF Power) | ||
Модель продукта | LR-CK101 | ||
Стадия выборки | Размеры | φ150 мм | |
Точность контроля температуры | ± 1°C | ||
Диапазон нагрева | Температура в помещении до 900°C | ||
Регулируемая скорость вращения | 1 ‰ 20 оборотов в минуту (регулируемый) | ||
Магнитронные пушки-мишени | Направление распыливания | Пропыливание вниз | |
Диапазон угла наклона цели | -45° до +45°; оборудованные пневматическим жалюзием | ||
Размеры целевого материала | Диаметр 4 дюйма, толщина ≤3 мм | ||
Изоляционное напряжение | > 2000 В | ||
Количество | Три 4-дюймовых наклонных цели; одна 4-дюймовая фиксированная цель | ||
Способ охлаждения | Водяное охлаждение | ||
Вакуумная камера | Тип камеры | Камера типа D | |
Размеры камеры | Φ500 мм × 500 мм | ||
Материал камеры | 304 из нержавеющей стали | ||
Окно наблюдения | Кварцевое окно диаметром φ100 мм | ||
Способ открытия | Дверь с передней дверью | ||
Управление газом | Контроль потока | Трехканальные контроллеры массового потока:Расстояние: 0 ‰ 500 SCCM;Расстояние: 0 ‰ 100 SCCM;Расстояние: 0 ‰ 20 SCCM | |
Биполярное импульсирующее магнитронное питание | Входное напряжение | 380 VAC ±10%, трехфазная система с четырьмя проводами, 50 ∼ 60 Гц | |
Выходная мощность | 0 ‰ 5 кВт | ||
Выходное напряжение | 0 ‰ 1000 В | ||
Выходной ток | Максимум 9 А (при постоянной мощности) | ||
Частота выхода | 1 кГц 150 кГц | ||
Характеристики выпуска | Постоянный ток / Постоянная мощность / Постоянное напряжение | ||
Способ охлаждения | Охлаждение воздухом | ||
Коммуникация | Аналоговый сигнал 0 ′5 V или 0 ′10 V; RS-485 | ||
Цикл работы | 100% | ||
Количество | 1 единица | ||
Источник питания RF | Квалификация питания | 1000 Вт | |
Диапазон мощности | 0W ≈ 1000W | ||
Максимальная выходная мощность | 1000 Вт | ||
Максимальная отражаемая мощность | 130 Вт | ||
RF частота | 130,56 МГц (стабильность: ± 0,005%) | ||
Количество | 1 единица | ||
Электроснабжение постоянного тока | Сила | 1000 Вт | |
Количество | 2 единицы | ||
Молекулярный насос | Скорость перекачки | 1200 л/с | |
Способ охлаждения | Водоохлаждаемые | ||
Уровень вакуума | 90,0 × 10−4 Па | ||
Скорость перекачки переднего насоса | 4 л/с | ||
Соединенный вакуумный прибор | Диапазон измерений 10−5 Pa 105 Pa | ||
Количество | 1 комплект | ||
Вакуумный клапан | Пневматический клапан с электрическим управлением | ||
Переходная камера | Размер камеры Подходит для пластин до 6 дюймов | ||
Оборудовано молекулярным насосом:Предварительный насос: VRD-4 (скорость насоса: 1,1 л/с) Молекулярный насос: TG60F (Япония) (скорость насоса: 60 Л/с) | |||
Монитор толщины пленки | Количество | 1 комплект | |
Каналы | Одноканал | ||
Точность измерений | 1 Å | ||
Стандартный кристалл кварца датчика | 6 МГц | ||
Совместимый размер кристалла кварца | φ14 мм | ||
Водоохладитель | Диапазон регулирования температуры | 10°25°C | |
Номинальная мощность охлаждения | 00,75 кВт | ||
Скорость потока | 10 л/мин | ||
Охлаждающая вода | Очищенная вода | ||
Компрессор воздуха | Скорость вращения | 1380 оборотов в минуту | |
Скорость потока | 40 л/мин | ||
Номинальное давление разряда | 00,7 МПа | ||
Система управления | ПЛК + 14,3-дюймовый сенсорный экран | ||
Контактное лицо: Kaitlyn Wang
Телефон: 19376687282
Факс: 86-769-83078748