|
تفاصيل المنتج:
|
| نوع الآلة: | المغنطرون الاخرق المغطي | الجهد االكهربى: | 380VAC±10% |
|---|---|---|---|
| الطاقة (ث): | 5000 | ضمان: | 1 سنة |
| الوزن (كجم): | 600 | ||
| إبراز: | طبقة طلاء مغناطيسية ذات أربعة أهداف مع غرفة قفل التحميل,أداة طلاء الأغشية الرقيقة PVD للأغشية السبائكية,جهاز اختبار الرش آلة اختبار معملية |
||
الفئة | البند | المواصفات | |
اسم المنتج | غطاء غطاء غطاء غطاء غطاء غطاء غطاء غطاء غطاء غطاء غطاء غطاء غطاء غطاء غطاء غطاء | ||
نموذج المنتج | LR-CK101 | ||
مرحلة العينة | الأبعاد | φ150 ملم | |
دقة التحكم في درجة الحرارة | ± 1°C | ||
نطاق التدفئة | درجة حرارة الغرفة إلى 900 درجة مئوية | ||
سرعة دوران قابلة للتعديل | 1 ′′20 دورة في الدقيقة (قابلة للتعديل) | ||
أسلحة الهدف المغناطيسية | اتجاه التنقيط | الرذاذ إلى الأسفل | |
نطاق زاوية الهدف الميل | -45° إلى +45°؛ مجهزة بفتحات هوائية | ||
أبعاد المواد المستهدفة | قطر 4 بوصة، سمك ≤3 ملم | ||
الجهد العازل | > 2000 فولت | ||
كمية | ثلاثة أهداف مائلة 4 بوصات، هدف ثابت واحد 4 بوصات | ||
طريقة التبريد | تبريد المياه | ||
غرفة الفراغ | نوع الغرفة | غرفة من النوع D | |
أبعاد الغرفة | Φ500 ملم × 500 ملم | ||
مادة الغرفة | 304 الفولاذ المقاوم للصدأ | ||
نافذة المراقبة | نافذة الكوارتز، قطرها φ100 ملم | ||
طريقة الافتتاح | الباب المفتوح أمامي | ||
تحكم الغاز | تحكم التدفق | منظمات تدفق الكتلة ذات القنوات الثلاثة: النطاق: 0 ¥ 500 SCCM؛ النطاق: 0 ¥ 100 SCCM؛ النطاق: 0 ¥ 20 SCCM | |
إمدادات الطاقة المضغوطة بالمغناطيس ثنائي القطب | الجهد المدخل | 380 فاك ±10٪، نظام ثلاثي المراحل من أربعة أسلاك، 5060 هرتز | |
الطاقة الخارجة | 5 كيلوواط | ||
الجهد الخارجي | 0 ‰ 1000 فولت | ||
تيار الخروج | أقصى 9 أ (في الطاقة الثابتة) | ||
تردد الإخراج | 1 كيلو هرتز 150 كيلو هرتز | ||
خصائص الناتج | التيار الثابت / الطاقة الثابتة / الجهد الثابت | ||
طريقة التبريد | تبريد الهواء | ||
التواصل | الإشارة التناظرية 0 ′5 فولت أو 0 ′10 فولت؛ RS-485 | ||
دورة العمل | 100% | ||
كمية | وحدة واحدة | ||
مصدر إمدادات الطاقة | تصنيف إمدادات الطاقة | 1000 واط | |
نطاق طاقة الخروج | 0W ¥ 1000W | ||
القوة القصوى للخروج | 1000 واط | ||
القوة العاكسة القصوى | 130 واط | ||
تردد RF | 13.56 ميغاهرتز (استقرار: ± 0.005%) | ||
كمية | وحدة واحدة | ||
إمدادات الطاقة المتواصلة | القوة | 1000 واط | |
كمية | 2 وحدة | ||
مضخة جزئية | سرعة الضخ | 1200 لتر/س | |
طريقة التبريد | المبرد بالماء | ||
مستوى الفراغ | 9.0 × 10−4 با | ||
سرعة ضخ المضخة السابقة | 4 لترات | ||
مقياس الفراغ المركب | نطاق القياس 10−5 با 105 با | ||
كمية | مجموعة واحدة | ||
صمام الفراغ | صمام هوائي كهربائي التحكم | ||
غرفة الانتقال | حجم الغرفة مناسبة للوافير حتى 6 بوصات | ||
مجهزة بمجموعة مضخة جزئية: مضخة سابقة: VRD-4 (سرعة الضخ: 1.1 لتر / ثانية) مضخة جزئية: TG60F (اليابان) (سرعة الضخ: 60 ل / س) | |||
مراقب سمك الفيلم | كمية | مجموعة واحدة | |
القنوات | قناة واحدة | ||
دقة القياس | 1 Å | ||
كريستال الكوارتز القياسية للمستشعر | 6 ميغاهرتز | ||
حجم بلورات الكوارتز المتوافقة | φ14 ملم | ||
سخان الماء | نطاق تحكم درجة الحرارة | 10°25°C | |
قدرة التبريد الاسمية | 0.75 كيلوواط | ||
معدل التدفق | 10 لترات/دقيقة | ||
مياه التبريد | الماء النقي | ||
ضاغط الهواء | سرعة الدوران | 1380 دورة في الدقيقة | |
معدل التدفق | 40 لتر/دقيقة | ||
ضغط التفريغ الاسمي | 0.7 مبا | ||
نظام التحكم | PLC + 14.3 بوصة الشاشة اللمسية | ||
اتصل شخص: Kaitlyn Wang
الهاتف :: 19376687282
الفاكس: 86-769-83078748
Arabic
