| 기계 유형: | 마그네트론 스퍼터링 코터 | 전압: | 380VAC±10% |
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| 전력(w): | 5000 | 보증: | 1년 |
| 체중(kg): | 600 | ||
| 강조하다: | 로드록 챔버가 있는 4개 타겟 마그네트론 스퍼터링 코팅기,합금 박막용 PVD 박막 코팅 장비,실험실 테스트 장비 스퍼터 테스터 |
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카테고리 | 항목 | 사양 | |
제품 이름 | 4개의 타겟 마그네트론 스프터링 코터 (DC 전력 + RF 전력) | ||
제품 모델 | LR-CK101 | ||
표본 단계 | 크기 | φ150mm | |
온도 조절 정확성 | ±1°C | ||
난방 범위 | 방 온도 900°C | ||
조정 가능한 회전 속도 | 1~20 rpm (조정 가능) | ||
자석 타겟 총 | 스프터링 방향 | 아래로 스프터링 | |
기울기 대상 각 범위 | -45° ~ +45°; 공기 셔터 | ||
목표물 차원 | 4인치 지름, 두께 ≤3mm | ||
격리 전압 | >2000V | ||
양 | 3개의 4인치 기울기 목표물; 1개의 4인치 고정 목표물 | ||
냉각 방법 | 물 냉각 | ||
진공실 | 방의 종류 | D형 방 | |
방의 크기 | Φ500 mm × 500 mm | ||
챔버 재료 | 304 스테인리스 스틸 | ||
관측 창 | 쿼츠 유리창, 직경 φ100mm | ||
열기 방법 | 앞 문 | ||
가스 제어 | 흐름 제어 | 3채널 질량 흐름 조절기:범위: 0?? 500 SCCM;범위: 0?? 100 SCCM;범위: 0?? 20 SCCM | |
양극 펄스 마그네트론 스프터링 전원 공급 장치 | 입력 전압 | 380 VAC ±10%, 3단계 4선 시스템, 50~60 Hz | |
출력 전력 | 0~5kW | ||
출력 전압 | 0·1000V | ||
출력 전류 | 최대 9A (동속 전력) | ||
출력 주파수 | 1 kHz ∼ 150 kHz | ||
출력 특성 | 일정한 전류 / 일정한 전력 / 일정한 전압 | ||
냉각 방법 | 공기 냉각 | ||
의사소통 | 0·5V 또는 0·10V 아날로그 신호; RS-485 | ||
작업 주기는 | 100% | ||
양 | 1 단위 | ||
RF 전원 공급원 | 전원 공급량 등급 | 1000W | |
출력 범위 | 0W~1000W | ||
최대 출력 | 1000W | ||
최대 반사 전력 | 130W | ||
RF 주파수 | 13.56 MHz (안정성: ±0.005%) | ||
양 | 1 단위 | ||
DC 전원 공급 | 힘 | 1000W | |
양 | 2개 | ||
분자 펌프 | 펌프 속도 | 1200L/s | |
냉각 방법 | 물 냉각 | ||
진공 수준 | 90.0 × 10−4 Pa | ||
앞 펌프 펌프 속도 | 4 L/s | ||
복합 진공 측정기 | 측정 범위 10−5 Pa 105 Pa | ||
양 | 1 세트 | ||
진공 밸브 | 전기로 제어되는 공기 밸브 | ||
전환실 | 챔버 크기 6인치 이하의 웨이퍼에 적합합니다. | ||
분자 펌프 조립장치:전 펌프: VRD-4 (펌프 속도: 1.1 L/s) 분자 펌프: TG60F (일본) (펌프 속도: 60 L/s) | |||
필름 두께 모니터 | 양 | 1 세트 | |
채널 | 단일 채널 | ||
측정 정확성 | 1 Å | ||
표준 센서 쿼츠 결정 | 6MHz | ||
호환성 쿼츠 결정 크기 | φ14mm | ||
물 냉장고 | 온도 조절 범위 | 10~25°C | |
이름용 냉각 용량 | 00.75kW | ||
유동률 | 10 L/min | ||
냉각수 | 정제된 물 | ||
공기 압축기 | 회전 속도 | 1380 rpm | |
유동률 | 40 L/min | ||
명목 방출 압력 | 0.7 MPa | ||
제어 시스템 | PLC + 14.3인치 터치 스크린 | ||
담당자: Kaitlyn Wang
전화 번호: 19376687282
팩스: 86-769-83078748
Korean
