logo
Dom ProduktyMaszyna do badań laboratoryjnych

Czterotarczowy magnetronowy koater rozpylający z komorą Load-Lock, urządzenie do napylania cienkich warstw PVD, tester rozpylania membran stopowych

Orzecznictwo
CHINY DONGGUAN LONROY EQUIPMENT CO LTD Certyfikaty
CHINY DONGGUAN LONROY EQUIPMENT CO LTD Certyfikaty
Im Online Czat teraz

Czterotarczowy magnetronowy koater rozpylający z komorą Load-Lock, urządzenie do napylania cienkich warstw PVD, tester rozpylania membran stopowych

Four-Target Magnetron Sputtering Coater with Load-Lock Chamber PVD Thin Film Coating Instrument Alloy Membranes Sputter Tester
Four-Target Magnetron Sputtering Coater with Load-Lock Chamber PVD Thin Film Coating Instrument Alloy Membranes Sputter Tester Four-Target Magnetron Sputtering Coater with Load-Lock Chamber PVD Thin Film Coating Instrument Alloy Membranes Sputter Tester Four-Target Magnetron Sputtering Coater with Load-Lock Chamber PVD Thin Film Coating Instrument Alloy Membranes Sputter Tester Four-Target Magnetron Sputtering Coater with Load-Lock Chamber PVD Thin Film Coating Instrument Alloy Membranes Sputter Tester Four-Target Magnetron Sputtering Coater with Load-Lock Chamber PVD Thin Film Coating Instrument Alloy Membranes Sputter Tester Four-Target Magnetron Sputtering Coater with Load-Lock Chamber PVD Thin Film Coating Instrument Alloy Membranes Sputter Tester

Duży Obraz :  Czterotarczowy magnetronowy koater rozpylający z komorą Load-Lock, urządzenie do napylania cienkich warstw PVD, tester rozpylania membran stopowych

Szczegóły Produktu:
Miejsce pochodzenia: Guangdong, Chiny
Nazwa handlowa: LONROY
Zapłata:
Minimalne zamówienie: 1
Cena: $1,000

Czterotarczowy magnetronowy koater rozpylający z komorą Load-Lock, urządzenie do napylania cienkich warstw PVD, tester rozpylania membran stopowych

Opis
Typ maszyny: Powłoka napylająca magnetronowo Woltaż: 380VAC±10%
Moc (w): 5000 Gwarancja: 1 rok
waga (kg): 600
Podkreślić:

Powlekarka magnetronowa z czterema celami i komorą blokującą obciążenie

,

Urządzenie do napylania cienkich warstw PVD dla membran stopowych

,

Tester rozpylania

Opis Produktu
Czterotarczowy Koater do napylania magnetronowego z komorą próżniową PVD Instrument do napylania cienkich warstw Tester napylania membran stopowych

Krótkie wprowadzenie Czterotarczowy system napylania magnetronowego jest przeznaczony do osadzania różnorodnych cienkich warstw, w tym warstw ferroelektrycznych, przewodzących, stopowych, półprzewodnikowych, ceramicznych, dielektrycznych, optycznych, tlenkowych, twardych i PTFE.
Czterotarczowy Koater do napylania magnetronowego z komorą próżniową PVD Instrument do napylania cienkich warstw Tester napylania membran stopowych
Szczegółowe wprowadzenie Ten czterotarczowy system napylania magnetronowego to opłacalna jednostka opracowana niezależnie przez naszą firmę, charakteryzująca się standaryzowaną, modułową i konfigurowalną konstrukcją. Klienci mogą wybierać tarcze magnetronowe o rozmiarach od 1 do 4 cali w zależności od wymiarów podłoża. System jest wyposażony w zasilacze DC o mocy 500W i RF o mocy 500W; zasilacz DC nadaje się do warstw metalowych, podczas gdy zasilacz RF obsługuje warstwy niemetaliczne. Konfiguracja czterech tarcz obsługuje procesy napylania wielowarstwowego lub sekwencyjnego. Na życzenie dostępne są niestandardowe zasilacze RF i impulsowe o różnych specyfikacjach od 300W do 1000W. Sprzęt składa się z komory głównej i komory próżniowej (komory przejściowej). Komora próżniowa jest wyposażona w magnetyczny pręt transferowy, a obie komory są oddzielone zaworem próżniowym. Taka konstrukcja pozwala użytkownikom na ładowanie próbek i wstępne odsysanie w komorze próżniowej, podczas gdy napylanie odbywa się w komorze głównej. Po zakończeniu głównego procesu próbka może być przeniesiona na stolik komory głównej za pomocą pręta magnetycznego. Takie rozwiązanie minimalizuje częstotliwość cykli próżniowych w komorze głównej, oszczędzając czas, utrzymując doskonałe środowisko próżniowe i skutecznie poprawiając jakość napylania. Czterotarczowy system napylania magnetronowego nadaje się do osadzania warstw pojedynczych lub wielowarstwowych, takich jak warstwy ferroelektryczne, przewodzące, stopowe, półprzewodnikowe, ceramiczne, dielektryczne, optyczne, tlenkowe, twarde i PTFE. W porównaniu do podobnego sprzętu, ten czterotarczowy system napylania magnetronowego oferuje nie tylko szerokie zastosowanie, ale także zalety kompaktowych rozmiarów i łatwości obsługi, co czyni go idealnym narzędziem do laboratoryjnej produkcji cienkich warstw. Cały proces napylania odbywa się w środowisku wysokiej próżni, zapewniając, że atomy lub cząsteczki odparowane docierają bezpośrednio do podłoża; zapobiega to zanieczyszczeniu przez zanieczyszczenia atmosferyczne i poprawia jakość warstwy. Warunki wysokiej próżni pomagają również zminimalizować utlenianie materiału źródłowego, dodatkowo poprawiając czystość i wydajność uzyskanej cienkiej warstwy.
Czterotarczowy Koater do napylania magnetronowego z komorą próżniową PVD Instrument do napylania cienkich warstw Tester napylania membran stopowych
Czterotarczowy magnetronowy koater rozpylający z komorą Load-Lock, urządzenie do napylania cienkich warstw PVD, tester rozpylania membran stopowych
Czterotarczowy magnetronowy koater rozpylający z komorą Load-Lock, urządzenie do napylania cienkich warstw PVD, tester rozpylania membran stopowych
Czterotarczowy magnetronowy koater rozpylający z komorą Load-Lock, urządzenie do napylania cienkich warstw PVD, tester rozpylania membran stopowych
Czterotarczowy Koater do napylania magnetronowego z komorą próżniową PVD Instrument do napylania cienkich warstw Tester napylania membran stopowych
Specyfikacja
Specyfikacje techniczne
Kategoria
Pozycja
Specyfikacja
Nazwa produktu
Czterotarczowy Koater do napylania magnetronowego (zasilacz DC + zasilacz RF)
Model produktu
LR-CK101
Stolik na próbki
Wymiary
φ150 mm
Dokładność kontroli temperatury
±1°C
Zakres ogrzewania
Temperatura pokojowa do 900°C
Regulowana prędkość obrotowa
1–20 obr./min (regulowana)
Głowice magnetronowe
Kierunek napylania
Napylanie w dół
Zakres kąta nachylenia tarczy
-45° do +45°; wyposażona w przesłonę pneumatyczną
Wymiary materiału tarczy
Średnica 4 cale, grubość ≤3 mm
Napięcie izolacji
>2000 V
Ilość
Trzy tarcze uchylne 4-calowe; jedna tarcza stała 4-calowa
Metoda chłodzenia
Chłodzenie wodne
Komora próżniowa
Typ komory
Komora typu D
Wymiary komory
Φ500 mm × 500 mm
Materiał komory
Stal nierdzewna 304
Okno obserwacyjne
Okno kwarcowe, średnica φ100 mm
Sposób otwierania
Drzwi otwierane z przodu
Kontrola gazu
Kontrola przepływu
3-kanałowe kontrolery masowego przepływu:Zakres: 0–500 SCCM;Zakres: 0–100 SCCM;Zakres: 0–20 SCCM
Dwubiegunowy impulsowy zasilacz magnetronowy
Napięcie wejściowe
380 VAC ±10%, 3-fazowy system 4-przewodowy, 50–60 Hz
Moc wyjściowa
0–5 kW
Napięcie wyjściowe
0–1000 V
Prąd wyjściowy
Maks. 9 A (przy stałej mocy)
Częstotliwość wyjściowa
1 kHz – 150 kHz
Charakterystyka wyjściowa
Prąd stały / Moc stała / Napięcie stałe
Metoda chłodzenia
Chłodzenie powietrzem
Komunikacja
Sygnał analogowy 0–5 V lub 0–10 V; RS-485
Cykl pracy
100%
Ilość
1 sztuka
Zasilacz RF
Moc znamionowa
1000W
Zakres mocy wyjściowej
0W–1000W
Maksymalna moc wyjściowa
1000W
Maksymalna moc odbita
130W
Częstotliwość RF
13,56 MHz (stabilność: ±0,005%)
Ilość
1 sztuka
Zasilacz DC
Moc
1000W
Ilość
2 sztuki
Pompa molekularna
Prędkość pompowania
1200 L/s
Metoda chłodzenia
Chłodzona wodą
Poziom próżni
9,0 × 10⁻⁴ Pa
Prędkość pompowania pompy wstępnej
4 L/s
Miernik próżni złożonej
Zakres pomiarowy 10⁻⁵ Pa – 10⁵ Pa
Ilość
1 zestaw
Zawór próżniowy
Zawór pneumatyczny sterowany elektrycznie
Komora przejściowa
Rozmiar komory Odpowiedni dla płytek do 6 cali
Wyposażona w zespół pompy molekularnej:Pompa wstępna: VRD-4 (prędkość pompowania: 1,1 L/s)Pompa molekularna: TG60F (Japonia) (prędkość pompowania: 60
L/s)
Miernik grubości warstwy
Ilość
1 zestaw
Kanały
Pojedynczy kanał
Precyzja pomiaru
1 Å
Standardowy czujnik kryształowy
6 MHz
Kompatybilny rozmiar kryształu
φ14 mm
Chłodziarka wody
Zakres kontroli temperatury
10–25°C
Znamionowa wydajność chłodnicza
0,75 kW
Przepływ
10 L/min
Woda chłodząca
Woda oczyszczona
Sprężarka powietrza
Prędkość obrotowa
1380 obr./min
Przepływ
40 L/min
Znamionowe ciśnienie rozładunku
0,7 MPa
System sterowania
Sterownik PLC + 14,3-calowy ekran dotykowy
Nasze zalety
Czterotarczowy magnetronowy koater rozpylający z komorą Load-Lock, urządzenie do napylania cienkich warstw PVD, tester rozpylania membran stopowych

Szczegóły kontaktu
DONGGUAN LONROY EQUIPMENT CO LTD

Osoba kontaktowa: Kaitlyn Wang

Tel: 19376687282

Faks: 86-769-83078748

Wyślij zapytanie bezpośrednio do nas (0 / 3000)