|
Szczegóły Produktu:
|
| Typ maszyny: | Powłoka napylająca magnetronowo | Woltaż: | 380VAC±10% |
|---|---|---|---|
| Moc (w): | 5000 | Gwarancja: | 1 rok |
| waga (kg): | 600 | ||
| Podkreślić: | Powlekarka magnetronowa z czterema celami i komorą blokującą obciążenie,Urządzenie do napylania cienkich warstw PVD dla membran stopowych,Tester rozpylania |
||
Kategoria | Pozycja | Specyfikacja | |
Nazwa produktu | Czterotarczowy Koater do napylania magnetronowego (zasilacz DC + zasilacz RF) | ||
Model produktu | LR-CK101 | ||
Stolik na próbki | Wymiary | φ150 mm | |
Dokładność kontroli temperatury | ±1°C | ||
Zakres ogrzewania | Temperatura pokojowa do 900°C | ||
Regulowana prędkość obrotowa | 1–20 obr./min (regulowana) | ||
Głowice magnetronowe | Kierunek napylania | Napylanie w dół | |
Zakres kąta nachylenia tarczy | -45° do +45°; wyposażona w przesłonę pneumatyczną | ||
Wymiary materiału tarczy | Średnica 4 cale, grubość ≤3 mm | ||
Napięcie izolacji | >2000 V | ||
Ilość | Trzy tarcze uchylne 4-calowe; jedna tarcza stała 4-calowa | ||
Metoda chłodzenia | Chłodzenie wodne | ||
Komora próżniowa | Typ komory | Komora typu D | |
Wymiary komory | Φ500 mm × 500 mm | ||
Materiał komory | Stal nierdzewna 304 | ||
Okno obserwacyjne | Okno kwarcowe, średnica φ100 mm | ||
Sposób otwierania | Drzwi otwierane z przodu | ||
Kontrola gazu | Kontrola przepływu | 3-kanałowe kontrolery masowego przepływu:Zakres: 0–500 SCCM;Zakres: 0–100 SCCM;Zakres: 0–20 SCCM | |
Dwubiegunowy impulsowy zasilacz magnetronowy | Napięcie wejściowe | 380 VAC ±10%, 3-fazowy system 4-przewodowy, 50–60 Hz | |
Moc wyjściowa | 0–5 kW | ||
Napięcie wyjściowe | 0–1000 V | ||
Prąd wyjściowy | Maks. 9 A (przy stałej mocy) | ||
Częstotliwość wyjściowa | 1 kHz – 150 kHz | ||
Charakterystyka wyjściowa | Prąd stały / Moc stała / Napięcie stałe | ||
Metoda chłodzenia | Chłodzenie powietrzem | ||
Komunikacja | Sygnał analogowy 0–5 V lub 0–10 V; RS-485 | ||
Cykl pracy | 100% | ||
Ilość | 1 sztuka | ||
Zasilacz RF | Moc znamionowa | 1000W | |
Zakres mocy wyjściowej | 0W–1000W | ||
Maksymalna moc wyjściowa | 1000W | ||
Maksymalna moc odbita | 130W | ||
Częstotliwość RF | 13,56 MHz (stabilność: ±0,005%) | ||
Ilość | 1 sztuka | ||
Zasilacz DC | Moc | 1000W | |
Ilość | 2 sztuki | ||
Pompa molekularna | Prędkość pompowania | 1200 L/s | |
Metoda chłodzenia | Chłodzona wodą | ||
Poziom próżni | 9,0 × 10⁻⁴ Pa | ||
Prędkość pompowania pompy wstępnej | 4 L/s | ||
Miernik próżni złożonej | Zakres pomiarowy 10⁻⁵ Pa – 10⁵ Pa | ||
Ilość | 1 zestaw | ||
Zawór próżniowy | Zawór pneumatyczny sterowany elektrycznie | ||
Komora przejściowa | Rozmiar komory Odpowiedni dla płytek do 6 cali | ||
Wyposażona w zespół pompy molekularnej:Pompa wstępna: VRD-4 (prędkość pompowania: 1,1 L/s)Pompa molekularna: TG60F (Japonia) (prędkość pompowania: 60 L/s) | |||
Miernik grubości warstwy | Ilość | 1 zestaw | |
Kanały | Pojedynczy kanał | ||
Precyzja pomiaru | 1 Å | ||
Standardowy czujnik kryształowy | 6 MHz | ||
Kompatybilny rozmiar kryształu | φ14 mm | ||
Chłodziarka wody | Zakres kontroli temperatury | 10–25°C | |
Znamionowa wydajność chłodnicza | 0,75 kW | ||
Przepływ | 10 L/min | ||
Woda chłodząca | Woda oczyszczona | ||
Sprężarka powietrza | Prędkość obrotowa | 1380 obr./min | |
Przepływ | 40 L/min | ||
Znamionowe ciśnienie rozładunku | 0,7 MPa | ||
System sterowania | Sterownik PLC + 14,3-calowy ekran dotykowy | ||
Osoba kontaktowa: Kaitlyn Wang
Tel: 19376687282
Faks: 86-769-83078748