|
Λεπτομέρειες:
|
| Τύπος μηχανής: | Επικάλυψη Magnetron Sputtering | Δυναμικό: | 380VAC±10% |
|---|---|---|---|
| Ισχύς (w): | 5000 | Εγγύηση: | 1 Έτος |
| βάρος (kg): | 600 | ||
| Επισημαίνω: | Επικάλυψη με μαγνήτρο τεσσάρων στόχων με θάλαμο ασφάλισης φορτίου,Εργαλείο επικάλυψης λεπτής ταινίας PVD για μεμβράνες κράματος,Εργαστηριακή δοκιμαστική μηχανή |
||
Κατηγορία | Είδος | Προσδιορισμός | |
Όνομα προϊόντος | Επικάλυψη με μαγνήτρο τεσσάρων στόχων (DC Power + RF Power) | ||
Μοντέλο προϊόντος | LR-CK101 | ||
Στάδιο δείγματος | Διαστάσεις | φ150 χλστ | |
Ακρίβεια ελέγχου θερμοκρασίας | ±1°C | ||
Εύρος Θέρμανσης | Θερμοκρασία δωματίου έως 900°C | ||
Ρυθμιζόμενη ταχύτητα περιστροφής | 1–20 rpm (ρυθμιζόμενο) | ||
Πυροβόλα στόχων Magnetron | Σκηνοθεσία Sputtering | Καθοδική εκτόξευση | |
Εύρος γωνίας στόχου κλίσης | -45° έως +45°; εξοπλισμένο με πνευματικό κλείστρο | ||
Διαστάσεις υλικού στόχου | Διάμετρος 4 ιντσών, πάχος ≤3 mm | ||
Τάση μόνωσης | >2000 V | ||
Ποσότητα | Τρεις ανακλινόμενοι στόχοι 4 ιντσών. ένας σταθερός στόχος 4 ιντσών | ||
Μέθοδος Ψύξης | Υδροψύξη | ||
Θάλαμος κενού | Τύπος θαλάμου | Θάλαμος τύπου D | |
Διαστάσεις θαλάμου | Φ500 mm × 500 mm | ||
Υλικό θαλάμου | 304 Ανοξείδωτο ατσάλι | ||
Παράθυρο παρατήρησης | Παράθυρο χαλαζία, διάμετρος φ100 mm | ||
Μέθοδος ανοίγματος | Μπροστινή πόρτα που ανοίγει | ||
Έλεγχος αερίου | Έλεγχος ροής | Ελεγκτές ροής μάζας 3 καναλιών: Εύρος: 0–500 SCCM; Εύρος: 0–100 SCCM; Εύρος: 0–20 SCCM | |
Τροφοδοτικό διπολικού παλμικού μαγνήτρου Sputtering | Τάση εισόδου | 380 VAC ±10%, τριφασικό σύστημα 4 καλωδίων, 50–60 Hz | |
Ισχύς εξόδου | 0–5 kW | ||
Τάση εξόδου | 0–1000 V | ||
Ρεύμα εξόδου | Μέγ. 9 A (σε σταθερή ισχύ) | ||
Συχνότητα εξόδου | 1 kHz – 150 kHz | ||
Χαρακτηριστικά Εξόδου | Σταθερό ρεύμα / Σταθερή ισχύς / Σταθερή τάση | ||
Μέθοδος Ψύξης | Αερόψυξη | ||
Ανακοίνωση | Αναλογικό σήμα 0–5 V ή 0–10 V. RS-485 | ||
Κύκλος Καθηκόντων | 100% | ||
Ποσότητα | 1 μονάδα | ||
Πηγή τροφοδοσίας RF | Αξιολόγηση τροφοδοσίας | 1000W | |
Εύρος ισχύος εξόδου | 0W–1000W | ||
Μέγιστη ισχύς εξόδου | 1000W | ||
Μέγιστη ανακλώμενη ισχύς | 130W | ||
Συχνότητα RF | 13,56 MHz (σταθερότητα: ±0,005%) | ||
Ποσότητα | 1 μονάδα | ||
Τροφοδοτικό DC | Εξουσία | 1000W | |
Ποσότητα | 2 μονάδες | ||
Μοριακή Αντλία | Ταχύτητα άντλησης | 1200 L/s | |
Μέθοδος ψύξης | Υδροψύκτη | ||
Επίπεδο κενού | 9,0 × 10-4 Pa | ||
Ταχύτητα άντλησης μπροστινής αντλίας | 4 L/s | ||
Σύνθετος μετρητής κενού | Εύρος μέτρησης 10-5 Pa – 105 Pa | ||
Ποσότητα | 1 σετ | ||
Βαλβίδα κενού | Ηλεκτρικά ελεγχόμενη πνευματική βαλβίδα | ||
Μεταβατικό Επιμελητήριο | Μέγεθος θαλάμου Κατάλληλο για γκοφρέτες έως 6 ίντσες | ||
Εξοπλισμένο με συγκρότημα μοριακής αντλίας: Μπροστινή αντλία: VRD-4 (ταχύτητα άντλησης: 1,1 L/s) Μοριακή αντλία: TG60F (Ιαπωνία) (ταχύτητα άντλησης: 60 L/s) | |||
Παρακολούθηση πάχους φιλμ | Ποσότητα | 1 σετ | |
Κανάλια | Ενιαίο κανάλι | ||
Ακρίβεια μέτρησης | 1 Å | ||
Τυπικός αισθητήρας κρύσταλλος χαλαζία | 6 MHz | ||
Συμβατό μέγεθος κρυστάλλου χαλαζία | φ14 mm | ||
Ψύκτη νερού | Εύρος ελέγχου θερμοκρασίας | 10–25°C | |
Ονομαστική ικανότητα ψύξης | 0,75 kW | ||
Ρυθμός ροής | 10 λίτρα/λεπτό | ||
Νερό ψύξης | Καθαρισμένο νερό | ||
Αεροσυμπιεστής | Ταχύτητα περιστροφής | 1380 σ.α.λ | |
Ρυθμός ροής | 40 λίτρα/λεπτό | ||
Ονομαστική πίεση εκκένωσης | 0,7 MPa | ||
Σύστημα Ελέγχου | PLC + οθόνη αφής 14,3 ιντσών | ||
Υπεύθυνος Επικοινωνίας: Kaitlyn Wang
Τηλ.:: 19376687282
Φαξ: 86-769-83078748