|
Ürün ayrıntıları:
|
| Makine Tipi: | Magnetron Püskürtme Kaplayıcı | Gerilim: | 380VAC±10% |
|---|---|---|---|
| güç(w): | 5000 | Garanti: | 1 Yıl |
| ağırlık (kg): | 600 | ||
| Vurgulamak: | Yük Kilit Odalı Dört Hedefli Magnetron Püskürtme Kaplayıcı,Alaşım zarları için PVD ince film kaplama aracı,Laboratuvar Test Makinesi Sputter Tester |
||
Kategorisi | Ürün | Spesifikasyon | |
Ürün Adı | Dört Hedef Magnetron Sputtering Kaplama (DC Gücü + RF Gücü) | ||
Ürün modeli | LR-CK101 | ||
Örnek aşaması | Boyutları | φ150 mm | |
Sıcaklık Kontrolü Doğruluğu | ±1°C | ||
Isıtma aralığı | Oda sıcaklığı 900°C | ||
Düzenlenebilir dönme hızı | 1 ′20 rpm (düzenlenebilir) | ||
Magnetron Hedef Silahları | Çöplük yönü | Aşağıya doğru püskürtme | |
Eğilme hedefi açısı aralığı | -45°'dan +45°'ya kadar; pnevmatik panjurla donatılmıştır | ||
Hedef malzeme boyutları | 4 inç çapı, kalınlığı ≤3 mm | ||
İzolasyon Voltajı | >2000 V | ||
miktarı | Üç 4 inçlik eğimli hedef; bir 4 inçlik sabit hedef | ||
Soğutma yöntemi | Su soğutma | ||
Vakum odası | Oda Tipi | D tipi oda | |
Oda Boyutları | Φ500 mm × 500 mm | ||
Oda malzemesi | 304 paslanmaz çelik | ||
Gözlem Penceresi | Kwarts penceresi, çapı φ100 mm | ||
Açılış Yöntemi | Ön kapı | ||
Gaz Kontrolü | Akış Kontrolü | 3 kanallı kütle akışı denetleyicileri:Aralık: 0?? 500 SCCM;Aralık: 0?? 100 SCCM;Aralık: 0?? 20 SCCM | |
Bipolar Pulsed Magnetron Sputtering Güç kaynağı | Giriş Voltajı | 380 VAC ±10%, 3 fazlı 4 tel sistemi, 50 ∼ 60 Hz | |
Çıkış Gücü | 0 ̊5 kW | ||
Çıkış Voltajı | 0 ‰ 1000 V | ||
Çıktı Akımı | En fazla 9 A (daimi güçte) | ||
Çıktı Sıklığı | 1 kHz ̇ 150 kHz | ||
Çıktı Özellikleri | Sabit akım / Sabit güç / Sabit voltaj | ||
Soğutma yöntemi | Hava soğutması | ||
İletişim | 0 ′5 V veya 0 ′10 V analog sinyali; RS-485 | ||
Görev Döngüsü | % 100 | ||
miktarı | 1 birim | ||
RF Güç kaynağı | Güç kaynağı sınıflandırması | 1000W | |
Güç aralığı | 0W ¥ 1000W | ||
Maksimum çıkış gücü | 1000W | ||
Maksimum yansıtılan güç | 130W | ||
RF frekansı | 13.56 MHz (dayanıklılık: ±0.005%) | ||
miktarı | 1 birim | ||
DC Güç kaynağı | Güç | 1000W | |
miktarı | 2 birim | ||
Moleküler pompa | Pompalama hızı | 1200 L/s | |
Soğutma yöntemi | Su soğutmalı | ||
Vakum seviyesi | 9.0 × 10−4 Pa | ||
Ön pompa pompalama hızı | 4 L/s | ||
Bileşik vakum ölçer | Ölçüm aralığı 10−5 Pa 105 Pa | ||
miktarı | 1 set | ||
Vakum Valfi | Elektrikli kontrollü pnevmatik valf | ||
Geçiş odası | Oda boyutu 6 inç'e kadar olan wafers için uygundur. | ||
Moleküler pompa montajı ile donatılmış:Ön pompa: VRD-4 (pompa hızı: 1.1 L/s) Moleküler pompa: TG60F (Japonya) (pompa hızı: 60 L/s) | |||
Film kalınlığı monitörü | miktarı | 1 set | |
Kanallar | Tek kanal | ||
Ölçüm doğruluğu | 1 Å | ||
Standart sensör kuvars kristali | 6 MHz | ||
Uyumlu kuvars kristal boyutu | φ14 mm | ||
Su Soğutucu | Sıcaklık kontrol aralığı | 10°25°C | |
Adli soğutma kapasitesi | 0.75 kW | ||
Akış Hızı | 10 L/dakikada | ||
Soğutma suyu | Temizlenmiş su | ||
Hava kompresörü | Dönüş hızı | 1380 rpm | |
Akış Hızı | 40 L/dakikada | ||
Adli boşaltma basıncı | 0.7 MPa | ||
Kontrol Sistemi | PLC + 14.3 inçlik dokunmatik ekran | ||
İlgili kişi: Kaitlyn Wang
Tel: 19376687282
Faks: 86-769-83078748