|
পণ্যের বিবরণ:
|
| মেশিনের ধরন: | ম্যাগনেট্রন স্পুটারিং কোটার | ভোল্টেজ: | 380VAC±10% |
|---|---|---|---|
| শক্তি(w): | 5000 | ওয়ারেন্টি: | 1 বছর |
| ওজন (কেজি): | 600 | ||
| বিশেষভাবে তুলে ধরা: | লোড-লক চেম্বার সহ চার-টার্গেট ম্যাগনেট্রন স্পুটারিং কোটার,অ্যালয় মেমব্রেনের জন্য পিভিডি পাতলা ফিল্ম কোটিং ইন্সট্রুমেন্ট,ল্যাব টেস্ট মেশিন স্পাটার টেস্টার |
||
শ্রেণী | আইটেম | স্পেসিফিকেশন | |
পণ্যের নাম | ফোর-টার্গেট ম্যাগনেট্রন স্পুটারিং কোটার (ডিসি পাওয়ার + আরএফ পাওয়ার) | ||
পণ্যের মডেল | LR-CK101 | ||
নমুনা পর্যায় | মাত্রা | φ150 মিমি | |
তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ নির্ভুলতা | ±1°সে | ||
হিটিং রেঞ্জ | ঘরের তাপমাত্রা 900 ডিগ্রি সে | ||
সামঞ্জস্যযোগ্য ঘূর্ণন গতি | 1-20 আরপিএম (নিয়ন্ত্রণযোগ্য) | ||
ম্যাগনেট্রন টার্গেট বন্দুক | স্পুটারিং দিকনির্দেশনা | নিম্নগামী sputtering | |
কাত করা টার্গেট অ্যাঙ্গেল রেঞ্জ | -45° থেকে +45°; বায়ুসংক্রান্ত শাটার দিয়ে সজ্জিত | ||
লক্ষ্যবস্তুর মাত্রা | 4-ইঞ্চি ব্যাস, বেধ ≤3 মিমি | ||
নিরোধক ভোল্টেজ | >2000 ভি | ||
পরিমাণ | তিনটি 4-ইঞ্চি টিল্টিং টার্গেট; একটি 4-ইঞ্চি নির্দিষ্ট লক্ষ্য | ||
কুলিং পদ্ধতি | জল শীতল | ||
ভ্যাকুয়াম চেম্বার | চেম্বারের ধরন | ডি-টাইপ চেম্বার | |
চেম্বারের মাত্রা | Φ500 মিমি × 500 মিমি | ||
চেম্বার উপাদান | 304 স্টেইনলেস স্টীল | ||
পর্যবেক্ষণ উইন্ডো | কোয়ার্টজ উইন্ডো, φ100 মিমি ব্যাস | ||
খোলার পদ্ধতি | সামনে খোলা দরজা | ||
গ্যাস নিয়ন্ত্রণ | প্রবাহ নিয়ন্ত্রণ | 3-চ্যানেল ভর প্রবাহ নিয়ন্ত্রক: পরিসীমা: 0–500 SCCM; পরিসীমা: 0–100 SCCM; পরিসীমা: 0–20 SCCM | |
বাইপোলার পালসড ম্যাগনেট্রন স্পুটারিং পাওয়ার সাপ্লাই | ইনপুট ভোল্টেজ | 380 VAC ±10%, 3-ফেজ 4-ওয়্যার সিস্টেম, 50-60 Hz | |
আউটপুট পাওয়ার | 0-5 কিলোওয়াট | ||
আউটপুট ভোল্টেজ | 0-1000 ভি | ||
আউটপুট কারেন্ট | সর্বোচ্চ 9 A (স্থির শক্তিতে) | ||
আউটপুট ফ্রিকোয়েন্সি | 1 kHz – 150 kHz | ||
আউটপুট বৈশিষ্ট্য | ধ্রুবক বর্তমান / ধ্রুবক শক্তি / ধ্রুবক ভোল্টেজ | ||
কুলিং পদ্ধতি | এয়ার কুলিং | ||
যোগাযোগ | 0-5 V বা 0-10 V এনালগ সংকেত; আরএস-485 | ||
ডিউটি সাইকেল | 100% | ||
পরিমাণ | 1 ইউনিট | ||
আরএফ পাওয়ার সাপ্লাই উৎস | পাওয়ার সাপ্লাই রেটিং | 1000W | |
পাওয়ার আউটপুট পরিসীমা | 0W–1000W | ||
সর্বোচ্চ আউটপুট শক্তি | 1000W | ||
সর্বোচ্চ প্রতিফলিত শক্তি | 130W | ||
আরএফ ফ্রিকোয়েন্সি | 13.56 MHz (স্থায়িত্ব: ±0.005%) | ||
পরিমাণ | 1 ইউনিট | ||
ডিসি পাওয়ার সাপ্লাই | শক্তি | 1000W | |
পরিমাণ | 2 ইউনিট | ||
আণবিক পাম্প | পাম্পিং গতি | 1200 L/s | |
কুলিং পদ্ধতি | জল-ঠাণ্ডা | ||
ভ্যাকুয়াম স্তর | 9.0 × 10⁻⁴ Pa | ||
ফোর-পাম্প পাম্পিং গতি | 4 L/s | ||
যৌগিক ভ্যাকুয়াম গেজ | পরিমাপের পরিসর 10⁻⁵ Pa – 10⁵ Pa | ||
পরিমাণ | 1 সেট | ||
ভ্যাকুয়াম ভালভ | বৈদ্যুতিকভাবে নিয়ন্ত্রিত বায়ুসংক্রান্ত ভালভ | ||
ট্রানজিশন চেম্বার | চেম্বারের আকার 6 ইঞ্চি পর্যন্ত ওয়েফারের জন্য উপযুক্ত | ||
আণবিক পাম্প সমাবেশ দিয়ে সজ্জিত: ফোর-পাম্প: VRD-4 (পাম্পিং গতি: 1.1 L/s) আণবিক পাম্প: TG60F (জাপান) (পাম্পিং গতি: 60 L/s) | |||
ফিল্ম বেধ মনিটর | পরিমাণ | 1 সেট | |
চ্যানেল | একক চ্যানেল | ||
পরিমাপের নির্ভুলতা | 1 Å | ||
স্ট্যান্ডার্ড সেন্সর কোয়ার্টজ স্ফটিক | 6 মেগাহার্টজ | ||
সামঞ্জস্যপূর্ণ কোয়ার্টজ স্ফটিক আকার | φ14 মিমি | ||
জল চিলার | তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ পরিসীমা | 10-25° সে | |
রেট শীতল ক্ষমতা | 0.75 কিলোওয়াট | ||
প্রবাহ হার | 10 লি/মিনিট | ||
ঠান্ডা জল | বিশুদ্ধ পানি | ||
এয়ার কম্প্রেসার | ঘূর্ণন গতি | 1380 আরপিএম | |
প্রবাহ হার | 40 লি/মিনিট | ||
রেট স্রাব চাপ | 0.7 এমপিএ | ||
কন্ট্রোল সিস্টেম | PLC + 14.3-ইঞ্চি টাচস্ক্রিন | ||
ব্যক্তি যোগাযোগ: Kaitlyn Wang
টেল: 19376687282
ফ্যাক্স: 86-769-83078748