| マシンタイプ: | マルチアークイオンコーティングシステム イオン薄膜コート | 電圧: | 220V |
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| 電力(ワット): | / | 寸法(長さ*幅*高さ): | 1900*800*1900mm |
| 保証: | 1年 | 重量(kg): | 100 |
| ハイライト: | 高真空イオンコーティングシステム,カソド弧堆積装置,離子薄膜コーティング |
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項目 | 仕様 |
1. 真空チャンバー | φ500×H420mm、304ステンレス鋼、フロントドア開口構造。チャンバー加熱温度：室温～350±1℃。 |
2. 真空システム | 複合分子ポンプ＋直結ロータリーポンプ＋高真空バルブで構成される高真空システム、およびデジタル 表示複合真空計。 |
3. 真空度 | 6.0×10-5Pa未満（無負荷、ベーキング・脱ガス後）。 |
4. 漏れ率 | 装置圧力上昇率≤0.8Pa/h。装置圧力維持：ポンプ停止後12時間で真空度≤10Pa。 |
5. 吸引速度 | （無負荷）大気圧から5.0×10-3Paまで15分以内。 |
6. 基板テーブルサイズ | φ150mm、3回転ステーション。 |
7. 基板ステージ回転 | 基板回転：0～20 rpm。 |
8. スパッタリングターゲット | DN100ニューマグネティックフィルター多弧ターゲット 2セット |
9. パルスバイアス電源 | -1000V、1セット。 |
11. 制御方法 | PLC+タッチスクリーンヒューマンマシンインターフェース半自動制御システム。 |
12. アラームと保護 | ポンプおよび電極の水不足、過電流、過電圧、 断線などの異常状態に対してアラームを発し、対応する保護措置を実施します。完全な論理プログラムインターロック保護システム。 |
13. 設置面積 | （ホスト）L1900×W800×H1900（mm）。 |
コンタクトパーソン: Kaitlyn Wang
電話番号: 19376687282
ファックス: 86-769-83078748
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