バキュムプラズマクリーナー バキュムプラズマクリーニングマシン 研究室プラズマクリーニング機器 研究室試験機

真空プラズマクリーナー 真空プラズマ洗浄機 実験室用プラズマ洗浄装置

原理:

プラズマは、固体、液体、気体に次ぐ物質の状態で、第4の状態とも呼ばれます。プラズマ状態には、高速で運動する電子、活性化された状態の中性原子、分子、原子団（ラジカル）、イオン化された原子や分子、未反応の分子や原子が含まれますが、物質全体としては電気的に中性を保っています。

気体に十分なエネルギーを加えてイオン化するとプラズマ状態が生成されます。プラズマの「活性」成分には、イオン、電子、活性基、励起状態の核種（準安定状態）、光子などが含まれます。プラズマ表面処理装置は、これらの活性成分の特性を利用して試料表面を処理し、洗浄、改質、フォトレジストのアッシングを実現します。

プラズマ中の粒子のエネルギーは一般的に数電子ボルトから数十電子ボルト程度であり、高分子材料の結合エネルギー（数電子ボルトから数十電子ボルト）よりも大きいため、有機高分子の化学結合を完全に切断して新しい結合を形成することができます。しかし、高エネルギーの放射線よりもはるかに低いため、基材の特性に影響を与えることなく、材料表面のみに作用します。非熱平衡状態にある低温プラズマでは、電子が高エネルギーを持ち、材料表面分子の化学結合を切断し、粒子の化学反応性を高めることができます（熱プラズマよりも高い）。一方、中性粒子の温度は室温に近いままです。これらの利点は、熱に弱い高分子の表面改質に適した条件を提供します。低温プラズマ表面処理により、エッチングや粗面化、緻密な架橋層の形成、酸素含有極性基の導入など、材料表面に様々な物理的・化学的変化が生じ、親水性、接着性、染色性、生体適合性、電気特性が向上します。適切なプロセス条件下では、表面処理は材料の形態を大きく変化させ、様々な酸素含有基を導入し、表面を非極性で接着性の低い状態から、ある程度の極性、良好な接着性、親水性を持つ状態に変化させ、接着、コーティング、印刷に有益です。電極間に交流高周波高電圧を印加すると、電極間の空気中でガスアーク放電が発生し、プラズマ領域が形成されます。電子は移動中にガス分子と絶えず衝突し、大量の新しい電子を生成します。これらの電子がアノードに到達すると、誘電体表面に蓄積され、表面が改質されます。

真空チャンバー内で、無線周波数電源を使用して一定の圧力下で高エネルギーで無秩序なプラズマを生成します。このプラズマが洗浄対象製品の表面を照射し、洗浄目的を達成します。

プラズマ処理の利点:

従来のプロセスと比較して、プラズマ表面処理技術には以下の利点があります:

強力な機能性: 改質は材料表面（約数ナノメートルから数十ナノメートル）のみで行われ、基材固有の特性を変更することなく、1つ以上の新しい機能が付与されます。

幅広い適用性: 金属、プラスチック、ガラス、高分子材料など、様々な基材タイプを処理できます。

簡単な操作: プロセスはシンプルで操作が容易であり、強力な生産制御と安定性を提供します。

高効率: 短い処理時間、高い反応速度、良好な処理均一性。

省エネルギーと環境保護: プロセス全体がドライであり、水資源を消費せず、化学添加剤を必要とせず、汚染を発生させません。

製品紹介

LR-FR20プラズマクリーナーは、大学や専門学校での小規模生産および科学実験向けに設計されています。エレクトロニクス、太陽光発電、自動車、繊維、包装印刷、バイオメディカル、一般産業など、幅広い分野で使用されています。高い処理効率、良好な繰り返し性と安定性、簡単な操作、多様なプロセスパラメータ、様々なタスクを実行できる能力が特徴です。洗浄、活性化、接着性および接着力の向上、エッチングプロセスに適しています。カスタマイズされた専門的で効率的かつ安定したソリューションは、顧客のさまざまなニーズに合わせて調整できます。

真空プラズマクリーナー 真空プラズマ洗浄機 実験室用プラズマ洗浄装置

技術仕様