Máy làm sạch plasma chân không Máy làm sạch plasma chân không Máy làm sạch plasma phòng thí nghiệm Thiết bị làm sạch plasma Máy thử nghiệm phòng thí nghiệm

Máy làm sạch plasma chân không Máy làm sạch plasma chân không Thiết bị làm sạch plasma phòng thí nghiệm

Nguyên lý:

Plasma, giống như chất rắn, chất lỏng và khí, là một trạng thái của vật chất, còn được gọi là trạng thái thứ tư của vật chất. Trạng thái plasma chứa các chất sau: electron chuyển động tốc độ cao; nguyên tử trung hòa, phân tử và nhóm nguyên tử (gốc tự do) ở trạng thái kích hoạt; các nguyên tử và phân tử bị ion hóa; và các phân tử và nguyên tử chưa phản ứng, nhưng toàn bộ vật chất vẫn trung hòa về điện.

Áp dụng đủ năng lượng cho một khí để ion hóa nó sẽ tạo ra trạng thái plasma. Các thành phần "hoạt động" của plasma bao gồm: ion, electron, nhóm hoạt động, hạt nhân ở trạng thái kích thích (trạng thái siêu bền) và photon. Các thiết bị xử lý bề mặt plasma sử dụng các đặc tính của các thành phần hoạt động này để xử lý bề mặt mẫu, từ đó đạt được việc làm sạch, sửa đổi và đốt cháy lớp cản.

Năng lượng của các hạt trong plasma thường vào khoảng vài đến vài chục electron volt, lớn hơn năng lượng liên kết của vật liệu polymer (vài đến vài chục electron volt), và có thể phá vỡ hoàn toàn các liên kết hóa học của đại phân tử hữu cơ để tạo thành các liên kết mới; tuy nhiên, nó thấp hơn nhiều so với tia phóng xạ năng lượng cao, chỉ ảnh hưởng đến bề mặt vật liệu chứ không ảnh hưởng đến đặc tính của đế. Trong plasma nhiệt độ thấp, vốn ở trạng thái không cân bằng nhiệt động, electron có năng lượng cao, cho phép chúng phá vỡ các liên kết hóa học trong các phân tử bề mặt vật liệu và tăng khả năng phản ứng hóa học của các hạt (cao hơn trong plasma nhiệt). Trong khi đó, nhiệt độ của các hạt trung hòa gần với nhiệt độ phòng. Những ưu điểm này cung cấp các điều kiện phù hợp cho việc sửa đổi bề mặt của polymer nhạy cảm với nhiệt. Thông qua xử lý bề mặt bằng plasma nhiệt độ thấp, các thay đổi vật lý và hóa học khác nhau xảy ra trên bề mặt vật liệu, chẳng hạn như khắc và làm nhám, tạo thành một lớp liên kết ngang dày đặc, hoặc giới thiệu các nhóm phân cực chứa oxy, từ đó cải thiện tính ưa nước, độ bám dính, khả năng nhuộm, tính tương thích sinh học và đặc tính điện. Dưới các điều kiện xử lý phù hợp, xử lý bề mặt làm thay đổi đáng kể hình thái của vật liệu, giới thiệu các nhóm chứa oxy khác nhau và biến đổi bề mặt từ không phân cực và kém bám dính thành có một số phân cực, độ bám dính tốt và tính ưa nước, có lợi cho việc liên kết, phủ và in. Áp dụng điện áp cao tần số cao AC giữa các điện cực gây ra phóng điện hồ quang khí trong không khí giữa các điện cực, tạo thành một vùng plasma. Electron liên tục va chạm với các phân tử khí trong quá trình di chuyển, tạo ra một số lượng lớn electron mới. Khi các electron này đến cực dương, chúng tích tụ trên bề mặt điện môi, do đó sửa đổi bề mặt.

Trong buồng chân không, một plasma năng lượng cao, hỗn loạn được tạo ra dưới áp suất nhất định bằng nguồn cung cấp năng lượng tần số vô tuyến. Plasma này bắn phá bề mặt của sản phẩm đang được làm sạch, đạt được mục đích làm sạch.

Ưu điểm của xử lý plasma:

So với các quy trình truyền thống, công nghệ xử lý bề mặt plasma có những ưu điểm sau:

Chức năng mạnh mẽ: Việc sửa đổi chỉ xảy ra trên bề mặt vật liệu (khoảng vài đến vài chục nanomet), mang lại một hoặc nhiều chức năng mới mà không làm thay đổi các đặc tính vốn có của đế;

Khả năng ứng dụng rộng rãi: Nó có thể xử lý nhiều loại đế khác nhau, chẳng hạn như kim loại, nhựa, thủy tinh và vật liệu polymer;

Vận hành dễ dàng: Quy trình đơn giản, dễ vận hành và mang lại khả năng kiểm soát và ổn định sản xuất mạnh mẽ;

Hiệu quả cao: Thời gian xử lý ngắn, tốc độ phản ứng cao và độ đồng đều xử lý tốt;

Tiết kiệm năng lượng và bảo vệ môi trường: Toàn bộ quy trình là khô, không tiêu thụ tài nguyên nước, không yêu cầu phụ gia hóa học và không tạo ra ô nhiễm.

Giới thiệu sản phẩm

Máy làm sạch plasma LR-FR20 được thiết kế cho sản xuất quy mô nhỏ và các thí nghiệm khoa học trong các trường đại học và cao đẳng. Nó được sử dụng rộng rãi trong các ngành điện tử, năng lượng mặt trời, ô tô, dệt may, đóng gói và in ấn, y sinh và các ngành công nghiệp nói chung. Các tính năng của nó bao gồm hiệu quả xử lý cao, khả năng lặp lại và ổn định tốt, vận hành dễ dàng, các tham số xử lý đa dạng và khả năng thực hiện nhiều nhiệm vụ khác nhau. Nó phù hợp cho các quy trình làm sạch, kích hoạt, cải thiện độ bám dính và liên kết, và khắc. Các giải pháp chuyên nghiệp, hiệu quả và ổn định tùy chỉnh có thể được điều chỉnh để đáp ứng các nhu cầu khác nhau của khách hàng.

Máy làm sạch plasma chân không Máy làm sạch plasma chân không Thiết bị làm sạch plasma phòng thí nghiệm

Thông số kỹ thuật