回転範囲(°):±135
回転精度:(0.05 + 6H/10000)μm
回転速度:6-15RPM(設定可能)
Angle:±1′
Residual Noise:≤0.006μm
Indication Accuracy:≤±(6nm + 2.5%)
Measuring Range:±420 μm
Resolution:65536:1
Indication Accuracy:≤±(8 nm + 3.5%)
Measuring Range:±420 μm
Resolution:655356:1
Indication Accuracy:≤±(8 nm + 3.5%)
Rotation Speed:6 rpm
Sensor Linear Accuracy:3 nm + 5%
Damping Mode:Rubber damping
Maximum Measuring Speed:2 mm/s
Marble Dimensions:500 mm × 800 mm
Z1 Linear Accuracy:≤±(0.5 +|0.02H|) μm
回転速度:6、8、10 rpm
回転正確さ:(0.025 + 6H/10000)μm
移動モード:電気
回転速度:6回転/分
回転正確さ:(0.025 + 6H/10000)μm
移動モード:電気
モデル:AL-BP-9010
保証:1年
高電圧電源:400W(50kV 8mA)
モデル:AL-NP-7010
保証:1年
管の電圧:5-50kv
モデル:AL-NP-6010
保証:1年
管の電圧:4-50kv
モデル:AL-NP-5010
安定性:0.05%/8時間
保証:1年