|
Szczegóły Produktu:
|
| Typ maszyny: | Wielołukowy system powlekania jonowego Jonowa powłoka cienkowarstwowa | Woltaż: | 220 V |
|---|---|---|---|
| Moc (w): | / | Wymiar (l*w*h): | 1900*800*1900mm |
| Gwarancja: | 1 rok | waga (kg): | 100 |
| Podkreślić: | Wysokopróżniowy system powlekania jonowego,Urządzenie do osadzania łukiem katodowym,Powlekarka cienkich warstw jonowych |
||
Pozycja | Specyfikacja |
1Komora próżniowa | Ф500×H420mm, ze stali nierdzewnej 304, konstrukcja otwierająca drzwi wejściowe; temperatura ogrzewania komory: temperatura pokojowa ~ 350±1°C; |
2. System próżniowy | System wysokiej próżni składający się z pompy molekularnej złożonej + pompy obrotowej z płaszczami bezpośrednio połączonymi + zaworu wysokiej próżni i cyfrowego wyświetlacz kompozytowego próżniownika; |
3. Limit próżni | lepsze niż 6,0×10-5Pa (bez obciążenia, po pieczeniu i odgazowaniu); |
4. Wskaźnik przecieków | Prężność wzrostu ciśnienia urządzenia ≤ 0,8 Pa/h;Pokrycie ciśnienia urządzenia: 12 godzin po zatrzymaniu pompy, próżnia wynosi ≤ 10 Pa; |
5Prędkość pompowania | (bez obciążenia) pompowane z atmosfery do 5,0×10-3Pa≤15min; |
6. Rozmiar stołu podłoża | Φ150 mm, 3 stacje rotacyjne; |
7. Obrót etapu podłoża | Obrót podłoża: 0~20 obrotów na minutę; |
8- Cel wysysający. | DN100 nowy filtr magnetyczny wielołukowy cel 2 zestawy |
9. Zasilanie impulsowe | -1000V, 1 zestaw; |
11. Metoda kontroli | System sterowania półautomatycznego w interfejsie człowiek-maszyna PLC+ekran dotykowy; |
12Alarm i ochrona | Alarm i wdrożenie odpowiednich środków ochrony w przypadku nieprawidłowych warunków, takich jak niedobór wody, przepływ prądu i nad napięcie, uszkodzenia obwodów itp. w pompach i elektrodach; kompletny system ochrony od blokowania przez program logiczny; |
13. Okupacja gruntów | (Gospodarz) L1900 × W800 × H1900 ((mm). |
Osoba kontaktowa: Kaitlyn Wang
Tel: 19376687282
Faks: 86-769-83078748