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Produktdetails:
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| Maschinentyp: | Multi-Arc-Ionenbeschichtungssystem Ionic Thin Film Coate | Stromspannung: | 220 V |
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| Leistung (W): | / | Abmessung (L*B*H): | 1900*800*1900mm |
| Garantie: | 1 Jahr | Gewicht (kg): | 100 |
| Hervorheben: | Hochvakuum-Ionenbeschichtungssystem,Kathodisch-Bogenablagerungsvorrichtung,Ionische Dünnschichtbeschichtung |
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Artikel | Spezifikation |
1. Vakuumkammer | Φ500×H420mm, 304 rostfreier Stahl, Türöffnungsstruktur; Raumheizungstemperatur: ~ 350±1°C; |
2. Vakuumsystem | Ein Hochvakuumsystem, bestehend aus einer zusammengesetzten molekularen Pumpe + direkt gekoppelter Rotationsschieferpumpe + Hochvakuumventil und einem digitalen Anzeige eines Vakuummessers aus Verbundwerkstoffen; |
3. Vakuumgrenze | Besser als 6,0×10-5Pa (ohne Belastung, nach dem Backen und Entgasen); |
4. Leckrate | Drucksteigerung der Ausrüstung ≤ 0,8 Pa/h;Wartung des Drucks der Ausrüstung: 12 Stunden nach Abschalten der Pumpe beträgt das Vakuum ≤ 10 Pa; |
5. Pumpgeschwindigkeit | (ohne Belastung) aus der Atmosphäre auf 5,0×10-3Pa≤15min gepumpt; |
6. Größe des Substrattabels | Φ150 mm, 3 Drehstellen; |
7. Drehung der Substratstufe | Drehzahl des Substrats: 0 bis 20 U/min. |
8- Das Ziel wird gesprengt. | DN100 neuer Magnetfilter Mehrbogenziel 2 Sätze |
9. Impulsabweichung Stromversorgung | -1000V, 1 Satz; |
11. Kontrollmethode | PLC+Touchscreen-Human-Machine-Schnittstelle halbautomatisches Steuerungssystem; |
12Alarm und Schutz | Alarmieren und entsprechende Schutzmaßnahmen bei ungewöhnlichen Bedingungen wie Wasserknappheit, Überstrom und Überspannung durchführen, Schaltkreislaufbruch usw. in Pumpen und Elektroden; vollständiges System zum Schutz vor Logikprogrammverriegelung; |
13. Landbesitz | (Gastgeber) L1900 × W800 × H1900 (mm). |
Ansprechpartner: Kaitlyn Wang
Telefon: 19376687282
Faxen: 86-769-83078748