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Détails sur le produit:
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| Type de machine: | Système de revêtement ionique multi-arc Coate à couche mince ionique | Tension: | 220 V |
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| Puissance (w): | / | Dimension (l*l*h): | 1900*800*1900mm |
| Garantie: | 1 an | poids (kg): | 100 |
| Mettre en évidence: | Système de revêtement ionique à haute vacuité,Dispositif de dépôt d'arc cathodique,Le revêtement de film mince ionique |
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Article | Spécification |
1. Chambre à vide | Ф500×H420mm, acier inoxydable 304, structure à ouverture par porte avant ; Température de chauffage de la chambre : température ambiante ~ 350±1°C ; |
2. Système de vide | Un système de vide poussé composé d'une pompe moléculaire composite + pompe à palettes rotative à couplage direct + vanne de vide poussé, et d'un manomètre de vide composite à affichage numérique ; 3. Limite de vide |
Meilleur que 6.0×10-5Pa (à vide, après cuisson et dégazage) ; | 4. Taux de fuite |
Taux d'augmentation de pression de l'équipement ≤0.8Pa/h ; Maintien de la pression de l'équipement : 12 heures après l'arrêt de la pompe, le vide est ≤10Pa ; | 5. Vitesse de pompage |
(À vide) Pompé de l'atmosphère à 5.0×10-3Pa ≤15min ; | 6. Taille de la platine porte-échantillon |
Φ150mm, 3 stations de rotation ; | 7. Rotation de la platine porte-échantillon |
Rotation du substrat : 0~20 tr/min ; | 8. Cible de pulvérisation |
Cible à arc multiple à filtre magnétique neuf DN100, 2 ensembles | 9. Alimentation à polarisation pulsée |
-1000V, 1 ensemble ; | 11. Méthode de contrôle |
Système de contrôle semi-automatique avec interface homme-machine API + écran tactile ; | 12. Alarme et protection |
Alarme et mise en œuvre des mesures de protection correspondantes pour les conditions anormales telles que le manque d'eau, la surintensité et la surtension, la rupture de circuit, etc. dans les pompes et les électrodes ; système de protection complet par interverrouillage logique ; | 13. Empreinte au sol (Hôte) L1900×L800×H1900(mm). |
Nos avantages |
Personne à contacter: Kaitlyn Wang
Téléphone: 19376687282
Télécopieur: 86-769-83078748