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Detalhes do produto:
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| Tipo de máquina: | Sistema de revestimento iônico multi-arco Coate de filme fino iônico | Tensão: | 220V |
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| Potência (w): | / | Dimensão (l*w*h): | 1900*800*1900mm |
| Garantia: | 1 ano | peso (kg): | 100 |
| Destacar: | Sistema de Revestimento Iônico de Alto Vácuo,Dispositivo de Deposição por Arco Catódico,Revestidor de Filmes Finos Iônicos |
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Ponto | Especificações |
1. Câmara de vácuo | Φ500×H420mm, aço inoxidável 304, estrutura de abertura da porta da frente; temperatura de aquecimento da câmara: temperatura ambiente ~ 350±1°C; |
2Sistema de vácuo | Um sistema de alto vácuo composto por uma bomba molecular composta + bomba de veleta rotativa de acoplamento direto + válvula de alto vácuo e uma válvula digital Display composite vacuum gauge; |
3Limite de vácuo | Melhor que 6,0 × 10-5 Pa (sem carga, após cozimento e desgaseamento); |
4. Taxa de vazamento | Taxa de aumento da pressão do equipamento ≤ 0,8 Pa/h;Mantenção da pressão do equipamento: 12 horas após a parada da bomba, o vácuo é ≤ 10 Pa; |
5Velocidade de bombeamento | (Sem carga) bombeada da atmosfera para 5,0 × 10-3Pa≤15min; |
6. Tamanho da mesa do substrato | Φ150 mm, 3 estações de rotação; |
7Rotação do estágio do substrato | Rotação do substrato: 0 a 20 rpm; |
8Alvo de pulverização. | DN100 novo filtro magnético multi-arco alvo 2 conjuntos |
9. Fornecimento de energia de desvio de pulso | -1000V, 1 conjunto; |
11Método de controlo | Sistema de controlo semiautomático de interface homem-máquina com ecrã táctil PLC+; |
12Alarme e protecção | Alarmar e implementar medidas de proteção correspondentes em caso de condições anormais, tais como escassez de água, sobrecorrência e sobrevoltagem, quebra de circuito, etc., em bombas e eletrodos; sistema de protecção de bloqueio lógico completo; |
13Ocupação da terra | (Anfitrião) L1900 × W800 × H1900 ((mm). |
Pessoa de Contato: Kaitlyn Wang
Telefone: 19376687282
Fax: 86-769-83078748