|
Datos del producto:
|
| Tipo de máquina: | Sistema de recubrimiento iónico de arco múltiple Recubrimiento iónico de película delgada | Voltaje: | 220 voltios |
|---|---|---|---|
| Potencia(W): | / | dimensión (largo*ancho*alto): | 1900*800*1900mm |
| Garantía: | 1 año | peso (kg): | 100 |
| Resaltar: | Sistema de recubrimiento iónico de alto vacío,Dispositivo de deposición de arco catódico,Revestimiento de película fina iónica |
||
Punto de trabajo | Especificación |
1. cámara de vacío | F500×H420mm, acero inoxidable 304, estructura de apertura de la puerta delantera; temperatura de calefacción de la cámara: temperatura ambiente ~ 350±1°C; |
2Sistema de vacío | Un sistema de alto vacío compuesto por una bomba molecular compuesta + una bomba de veleta giratoria de acoplamiento directo + una válvula de alto vacío y un sistema digital de visualizar un medidor de vacío compuesto; |
3. Límites de vacío | Mejores que 6,0 × 10-5 Pa (sin carga, después de horneado y desgasificación); |
4. Tasa de fuga | La velocidad de aumento de la presión del equipo ≤ 0,8 Pa/h;Mantenimiento de la presión del equipo: 12 horas después de detener la bomba, el vacío es ≤ 10 Pa; |
5Velocidad de bombeo | (sin carga) bombeado desde la atmósfera a 5,0×10-3Pa≤15min; |
6. Tamaño de la mesa del sustrato | Φ150 mm, 3 estaciones de rotación; |
7Rotación de la etapa del sustrato | La velocidad de rotación del sustrato es de 0 a 20 rpm. |
8Objetivo de pulverización. | DN100 nuevo filtro magnético multi-arco objetivo 2 conjuntos |
9. Fuente de alimentación de desviación de pulso | -1000V, 1 conjunto; |
11Método de control | Sistema de control semiautomático de interfaz hombre-máquina con pantalla táctil PLC+; |
12Alarma y protección | Alarmar y aplicar las medidas de protección correspondientes en caso de condiciones anormales, como escasez de agua, sobrecorriente y sobrevoltura, roturas de circuito, etc., en bombas y electrodos; sistema completo de protección de bloqueo por programa lógico; |
13Ocupación de la tierra | (Anfitrión) L1900 × W800 × H1900 ((mm). |
Persona de Contacto: Kaitlyn Wang
Teléfono: 19376687282
Fax: 86-769-83078748