|
Detail produk:
|
| Tipe Mesin: | Sistem Pelapisan Ion Multi-Arc Lapisan Film Tipis Ionik | Voltase: | 220V |
|---|---|---|---|
| kekuatan (w): | / | Dimensi (l*w*h): | 1900*800*1900mm |
| Jaminan: | 1 Tahun | berat (kg): | 100 |
| Menyoroti: | Sistem Pelapis Ion Vakum Tinggi,Perangkat Deposisi Busur Katodik,Pelapis Film Tipis Ionik |
||
Artikel | Spesifikasi |
1. Kamar vakum | Ф500×H420mm, 304 stainless steel, struktur pembukaan pintu depan; suhu pemanasan ruangan: suhu ruangan ~ 350±1°C; |
2. Sistem vakum | Sebuah sistem vakum tinggi yang terdiri dari komposit molekul pompa + langsung-disatukan pompa rotary vane + katup vakum tinggi, dan digital menampilkan komposit vacuum gauge; |
3. Batas vakum | Lebih baik dari 6,0×10-5Pa (tanpa beban, setelah panggang dan degassing); |
4. Tingkat kebocoran | Tingkat peningkatan tekanan peralatan ≤0,8Pa/jam;Penyelenggaraan tekanan peralatan: 12 jam setelah menghentikan pompa, vakumnya ≤10Pa; |
5. Kecepatan pompa | (Tanpa beban) Dipompa dari atmosfer hingga 5,0×10-3Pa≤15min; |
6. Ukuran meja substrat | Φ150mm, 3 stasiun rotasi; |
7. Rotasi tahap substrat | Rotasi substrat: 0 ~ 20 rpm; |
8Target yang menjilat. | DN100 baru filter magnetik multi-arc target 2 set |
9. Pasokan daya bias pulsa | -1000V, 1 set; |
11. Metode kontrol | Sistem kontrol semi-otomatis antarmuka manusia-mesin layar sentuh PLC+; |
12. Alarm dan perlindungan | Alarm dan menerapkan langkah-langkah perlindungan yang sesuai untuk kondisi abnormal seperti kekurangan air, arus dan tegangan yang berlebihan, kerusakan sirkuit, dll di pompa dan elektroda; sistem perlindungan interlock program logika lengkap; |
13. Pendudukan tanah | (Host) L1900 × W800 × H1900 ((mm). |
Kontak Person: Kaitlyn Wang
Tel: 19376687282
Faks: 86-769-83078748