|
Productdetails:
|
| Machinetype: | Multi-Arc ionencoatingsysteem Ionische dunne filmcoate | Spanning: | 220 V |
|---|---|---|---|
| Vermogen (w): | / | Afmeting (l*b*h): | 1900*800*1900mm |
| Garantie: | 1 jaar | gewicht (kg): | 100 |
| Markeren: | Hoogvacuüm Ion Coating Systeem,Kathodische Arc Afzetting Apparaat,Ionische Dunne Film Coater |
||
Artikel 1 | Specificatie |
1Vacuümkamer | F500×H420mm, 304 roestvrij staal, openingsstructuur voor de voordeur; kamerverwarmingstemperatuur: kamertemperatuur ~ 350±1°C; |
2. Vacuümsysteem | Een hoog vacuüm systeem bestaande uit een composiet moleculaire pomp + direct gekoppelde draaiknop pomp + hoog vacuüm klep, en een digitale een vacuümmeter van samengestelde afbeelding; |
3. Vacuümgrens | Beter dan 6,0×10-5Pa (zonder belasting, na bakken en ontgassen); |
4. lekpercentage | De drukverhoging van de apparatuur is ≤ 0,8 Pa/uur;Onderhoud van de druk van de apparatuur: 12 uur na het stoppen van de pomp is het vacuüm ≤ 10 Pa; |
5. Pompsnelheid | (Geen belasting) gepompt uit de atmosfeer tot 5,0×10-3Pa≤15min; |
6. Grootte van de substraattafel | Φ150 mm, 3 rotatiestations; |
7. Rotatie van het substraat | De ondergrond rotatie: 0 tot 20 tpm; |
8Sputtering doelwit. | DN100 nieuw magnetisch filter multi-boog doel 2 sets |
9. Pulse bias stroomvoorziening | -1000V, 1 set; |
11. Controlemethode | PLC+touchscreen semi-automatisch besturingssysteem voor mens-machine-interfaces; |
12Alarm en bescherming | Alarmen en passende beschermingsmaatregelen nemen bij abnormale omstandigheden zoals watertekort, overstromingen en overspanningen, schakelbreuk, enz. in pompen en elektroden; compleet logica-programma-interlock-beschermingssysteem; |
13. Landbezit | L1900 × W800 × H1900 (mm). |
Contactpersoon: Kaitlyn Wang
Tel.: 19376687282
Fax: 86-769-83078748