|
รายละเอียดสินค้า:
|
| ประเภทเครื่อง: | ระบบเคลือบไอออนแบบ Multi-Arc เคลือบฟิล์มบางแบบไอออนิก | แรงดันไฟฟ้า: | 220 โวลต์ |
|---|---|---|---|
| กำลัง(ญ): | / | ขนาด (ล*ก*ส): | 1900*800*1900มม |
| การรับประกัน: | 1 ปี | น้ำหนัก (กก.): | 100 |
| เน้น: | ระบบเคลือบไอออนระยะว่างสูง,อุปกรณ์ฝาก Arc Cathodic,เครื่องเคลือบแผ่นยออน |
||
รายการ | ข้อมูลจำเพาะ |
1. ห้องสุญญากาศ | Ф500×H420mm สแตนเลส 304 โครงสร้างเปิดประตูหน้า อุณหภูมิความร้อนในห้อง: อุณหภูมิห้อง ~ 350 ± 1 ℃; |
2.ระบบสูญญากาศ | ระบบสุญญากาศสูงประกอบด้วยปั๊มโมเลกุลคอมโพสิต + ปั๊มใบพัดโรตารีคู่ควบคู่ + วาล์วสุญญากาศสูง และดิจิทัล แสดงมาตรวัดสูญญากาศคอมโพสิต |
3. ขีดจำกัดสุญญากาศ | ดีกว่า 6.0×10-5Pa (ไม่โหลด หลังจากการอบและ degassing) |
4. อัตราการรั่วไหล | อัตราการเพิ่มแรงดันอุปกรณ์ ≤0.8Pa/h การบำรุงรักษาแรงดันอุปกรณ์: 12 ชั่วโมงหลังจากหยุดปั๊ม สูญญากาศคือ ≤10Pa |
5. ความเร็วในการสูบน้ำ | (ไม่มีโหลด) สูบจากบรรยากาศเป็น 5.0×10-3Pa≤15min; |
6. ขนาดโต๊ะพื้นผิว | Φ150มม., 3 สถานีหมุน; |
7. การหมุนขั้นของพื้นผิว | การหมุนพื้นผิว: 0 ~ 20 รอบต่อนาที; |
8. เป้าหมายสปัตเตอร์ | DN100 ใหม่ ฟิลเตอร์แม่เหล็ก เป้าหลายส่วนโค้ง 2 ชุด |
9. แหล่งจ่ายไฟพัลส์ไบแอส | -1000V 1 ชุด; |
11. วิธีการควบคุม | PLC + หน้าจอสัมผัสระบบควบคุมกึ่งอัตโนมัติสำหรับมนุษย์และเครื่องจักร |
12. สัญญาณเตือนและการป้องกัน | แจ้งเตือนและใช้มาตรการป้องกันที่สอดคล้องกันสำหรับสภาวะที่ผิดปกติ เช่น การขาดแคลนน้ำ กระแสไฟเกิน และแรงดันไฟฟ้าเกิน การแตกของวงจร ฯลฯ ในปั๊มและอิเล็กโทรด ระบบป้องกันลูกโซ่โปรแกรมลอจิกที่สมบูรณ์ |
13. การยึดครองที่ดิน | (โฮสต์) L1900×W800×H1900(มม.) |
ผู้ติดต่อ: Kaitlyn Wang
โทร: 19376687282
แฟกซ์: 86-769-83078748
Thai
