|
Ürün ayrıntıları:
|
| Makine Tipi: | Çok Arklı İyon Kaplama Sistemi İyonik İnce Film Kaplama | Gerilim: | 220V |
|---|---|---|---|
| güç(w): | / | Boyut(l*g*y): | 1900*800*1900mm |
| Garanti: | 1 Yıl | ağırlık (kg): | 100 |
| Vurgulamak: | Yüksek Vakumlu İyon Kaplama Sistemi,Katodik Ark Biriktirme Cihazı,İyonik İnce Film Kaplayıcı |
||
Öğe | Şartname |
1. Vakum odası | Ф500×H420mm, 304 paslanmaz çelik, ön kapı açma yapısı; Oda ısıtma sıcaklığı: oda sıcaklığı ~ 350±1°C; |
2. Vakum sistemi | Kompozit moleküler pompa + doğrudan bağlantılı döner kanatlı pompa + yüksek vakum valfinden ve dijital bir pompadan oluşan yüksek vakum sistemi kompozit vakum göstergesini gösterir; |
3. Vakum limiti | 6,0×10-5Pa'dan daha iyi (pişirme ve gaz giderme sonrasında yüksüz); |
4. Sızıntı oranı | Ekipman basıncı yükseltme oranı ≤0,8Pa/h; Ekipman basıncı bakımı: Pompa durdurulduktan 12 saat sonra, vakum ≤10Pa'dır; |
5. Pompalama hızı | (Yüksüz) Atmosferden 5,0×10-3Pa≤15 dk'ya kadar pompalanır; |
6. Alt tabaka tablası boyutu | Φ150mm, 3 dönme istasyonu; |
7. Substrat aşaması rotasyonu | Substrat dönüşü: 0~20 rpm; |
8. Püskürtme hedefi | DN100 yeni manyetik filtre çok arklı hedef 2 set |
9. Darbe önyargılı güç kaynağı | -1000V, 1 takım; |
11. Kontrol yöntemi | PLC+dokunmatik ekranlı insan-makine arayüzü yarı otomatik kontrol sistemi; |
12. Alarm ve koruma | Su sıkıntısı, aşırı akım ve aşırı gerilim gibi anormal durumlar için alarm verilmesi ve ilgili koruma tedbirlerinin uygulanması, pompalarda ve elektrotlarda devre kopması vb.; tam mantık programı kilitleme koruma sistemi; |
13. Arazi işgali | (Ana Bilgisayar) L1900×G800×Y1900(mm). |
İlgili kişi: Kaitlyn Wang
Tel: 19376687282
Faks: 86-769-83078748