|
Подробная информация о продукте:
|
| Тип машины: | Система многодугового ионного покрытия Ионное тонкопленочное покрытие | Напряжение: | 220 В |
|---|---|---|---|
| Мощность (Вт): | / | Размер(л*ш*ч): | 1900*800*1900мм |
| Гарантия: | 1 год | вес (кг): | 100 |
| Выделить: | Система ионного покрытия в высоком вакууме,Устройство катодно-дугового осаждения,Ионный тонкопленочный коатер |
||
Положение | Спецификация |
1Вакуумная камера | Ф500×H420mm, из нержавеющей стали 304, конструкция открытия входной двери; температура нагрева камеры: температура комнаты ~ 350±1°C; |
2. Вакуумная система | Система высокого вакуума, состоящая из молекулярного комбинированного насоса + напрямую связанного вращающегося насоса + клапана высокого вакуума и цифрового дисплейный композитный вакуумный габарит; |
3Предел вакуума | лучше 6,0×10-5Pa (без нагрузки, после выпечки и обезгазирования); |
4Уровень утечки | Скорость повышения давления оборудования ≤ 0,8 Pa/h;Удержание давления оборудования: через 12 часов после остановки насоса вакуум ≤ 10 Pa; |
5Скорость перекачки | (без нагрузки) перекачивается из атмосферы до 5,0×10-3Pa≤15 мин; |
6. Размер стола подложки | Φ150 мм, 3 вращательных станции; |
7Ротация этапа субстрата | Поворачивание подложки: 0~20 оборотов в минуту; |
8Цель для распыливания. | DN100 новый магнитный фильтр многодубной цели 2 комплекта |
9. Импульсное питание | -1000В, 1 комплект; |
11Метод контроля | Система управления с PLC+touch screen с полуавтоматическим интерфейсом между человеком и машиной; |
12. Сигнализация и защита | Сигнализация и внедрение соответствующих мер защиты при аномальных условиях, таких как нехватка воды, перенапряжение и перенапряжение. сбои цепей и т.д. в насосах и электродах; полная система защиты от блокировки логической программой; |
13. Земельная занятость | L1900×W800×H1900 (мм). |
Контактное лицо: Kaitlyn Wang
Телефон: 19376687282
Факс: 86-769-83078748