|
পণ্যের বিবরণ:
|
| মেশিনের ধরন: | মাল্টি আর্ক আয়ন আবরণ সিস্টেম আয়নিক পাতলা ফিল্ম আবরণ | ভোল্টেজ: | 220 ভি |
|---|---|---|---|
| শক্তি(w): | / | মাত্রা (l*w*h): | 1900*800*1900 মিমি |
| ওয়ারেন্টি: | 1 বছর | ওজন (কেজি): | 100 |
| বিশেষভাবে তুলে ধরা: | হাই ভ্যাকুয়াম আইওন লেপ সিস্টেম,ক্যাথোডিক আর্ক ডিপোজিশন ডিভাইস,আইওনিক পাতলা ফিল্ম লেপ |
||
আইটেম | স্পেসিফিকেশন |
1. ভ্যাকুয়াম চেম্বার | Ф500×H420mm, 304 স্টেইনলেস স্টীল, সামনের দরজা খোলার কাঠামো; চেম্বার গরম করার তাপমাত্রা: ঘরের তাপমাত্রা ~ 350±1℃; |
2. ভ্যাকুয়াম সিস্টেম | একটি উচ্চ ভ্যাকুয়াম সিস্টেম যা একটি যৌগিক আণবিক পাম্প + সরাসরি-কাপল্ড রোটারি ভ্যান পাম্প + উচ্চ ভ্যাকুয়াম ভালভ এবং একটি ডিজিটাল দ্বারা গঠিত প্রদর্শন যৌগিক ভ্যাকুয়াম গেজ; |
3. ভ্যাকুয়াম সীমা | 6.0×10-5Pa এর চেয়ে ভাল (কোন লোড নেই, বেকিং এবং ডিগ্যাস করার পরে); |
4. লিক হার | সরঞ্জাম চাপ বৃদ্ধির হার ≤0.8Pa/h;যন্ত্রের চাপ রক্ষণাবেক্ষণ: পাম্প বন্ধ করার 12 ঘন্টা পরে, ভ্যাকুয়াম হল ≤10Pa; |
5. পাম্পিং গতি | (কোন লোড নেই) বায়ুমণ্ডল থেকে 5.0×10-3Pa≤15 মিনিটে পাম্প করা হয়েছে; |
6. সাবস্ট্রেট টেবিলের আকার | Φ150mm, 3 ঘূর্ণন স্টেশন; |
7. স্তর স্তর ঘূর্ণন | সাবস্ট্রেট ঘূর্ণন: 0~20 rpm; |
8. স্পুটারিং টার্গেট | DN100 নতুন ম্যাগনেটিক ফিল্টার মাল্টি-আর্ক টার্গেট 2 সেট |
9. পালস পক্ষপাত পাওয়ার সাপ্লাই | -1000V, 1 সেট; |
11. নিয়ন্ত্রণ পদ্ধতি | পিএলসি + টাচ স্ক্রিন মানব-মেশিন ইন্টারফেস আধা-স্বয়ংক্রিয় নিয়ন্ত্রণ ব্যবস্থা; |
12. অ্যালার্ম এবং সুরক্ষা | জলের ঘাটতি, ওভারকারেন্ট এবং ওভারভোল্টেজের মতো অস্বাভাবিক অবস্থার জন্য অ্যালার্ম এবং সংশ্লিষ্ট সুরক্ষা ব্যবস্থা প্রয়োগ করুন, পাম্প এবং ইলেক্ট্রোডে সার্কিট ভাঙ্গন, ইত্যাদি; সম্পূর্ণ লজিক প্রোগ্রাম ইন্টারলক সুরক্ষা সিস্টেম; |
13. জমি দখল | (হোস্ট) L1900×W800×H1900(mm)। |
ব্যক্তি যোগাযোগ: Kaitlyn Wang
টেল: 19376687282
ফ্যাক্স: 86-769-83078748