| 기계 유형: | 멀티아크 이온코팅 시스템 이온박막코팅 | 전압: | 220V |
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| 전력(w): | / | 치수(l*w*h): | 1900*800*1900mm |
| 보증: | 1년 | 체중(kg): | 100 |
| 강조하다: | 고 진공 이온 코팅 시스템,카토드 아크 퇴적 장치,이온 얇은 필름 코팅 |
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항목 | 사양 |
1진공실 | F500×H420mm, 304 스테인레스 스틸, 앞문 열기 구조; 방 온도: 방 온도 ~ 350±1°C; |
2진공 시스템 | 합성 분자 펌프 + 직결 회전 밸브 펌프 + 고 진공 밸브, 디지털 복합 진공 측정기를 표시합니다. |
3진공 제한 | 6.0×10-5Pa보다 낫다 (오줌이 없고, 구워서 가스를 제거한 후); |
4누출률 | 장비의 압력 상승 속도 ≤0.8Pa/h;장비의 압력 유지: 펌프를 중지한 후 12시간 후 진공은 ≤10Pa입니다. |
5펌프 속도 | (부하 없이) 대기권에서 5.0×10-3Pa≤15min까지 펌프로 펌프한다. |
6기판 테이블 크기 | Φ150mm, 3 회전 스테이션 |
7기판 단계 회전 | 기판 회전: 0~20 rpm |
8스프터링 타겟 | DN100 새로운 자기 필터 멀티 아크 타겟 2 세트 |
9펄스 편향 전원 공급 | -1000V, 1 세트 |
11제어 방법 | PLC+터치 스크린 인간 기계 인터페이스 반자동 제어 시스템 |
12경보 및 보호 | 물 부족, 과류 및 과전압과 같은 비정상적인 조건에 대한 알람 및 대응 보호 조치를 시행합니다. 펌프와 전극의 회로 파기 등; 완전한 논리 프로그램 잇클로크 보호 시스템 |
13토지 점유 | L1900 × W800 × H1900 (mm) |
담당자: Kaitlyn Wang
전화 번호: 19376687282
팩스: 86-769-83078748
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