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Dettagli:
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| Tipo di macchina: | Sistema di rivestimento ionico multi-arco Rivestimento ionico a film sottile | Voltaggio: | 220 V |
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| Potenza (w): | / | Dimensione (l*w*h): | 1900*800*1900mm |
| Garanzia: | 1 anno | peso (kg): | 100 |
| Evidenziare: | Sistema di rivestimento ionico sottovuoto spinto,Dispositivo di deposizione ad arco catodico,Rivestitore ionico per film sottili |
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Articolo | Specificità |
1. camera a vuoto | Φ500×H420mm, acciaio inossidabile 304, struttura di apertura della porta anteriore; temperatura di riscaldamento della camera: temperatura ambiente ~ 350±1°C; |
2. sistema di vuoto | Un sistema ad alto vuoto composto da una pompa molecolare composita + una pompa rotante a vele a accoppiamento diretto + una valvola ad alto vuoto e una valvola digitale visualizzare un misuratore di vuoto composito; |
3. Limite di vuoto | Migliore di 6,0×10-5Pa (senza carico, dopo cottura e disgasamento); |
4. Tasso di perdita | Tasso di aumento della pressione dell'apparecchiatura ≤ 0,8 Pa/h;Mantenimento della pressione dell'apparecchiatura: 12 ore dopo l'arresto della pompa, il vuoto è ≤ 10 Pa; |
5Velocità di pompaggio | (senza carico) pompata dall'atmosfera a 5,0×10-3Pa≤15min; |
6. Dimensioni della tavola del substrato | Φ150 mm, 3 stazioni di rotazione; |
7. rotazione del substrato | rotazione del substrato: 0~20 giri al minuto; |
8Obiettivo di sputtering. | DN100 nuovo filtro magnetico multi-arco bersaglio 2 set |
9- Fornitore di alimentazione a impulso. | -1000V, 1 set; |
11Metodo di controllo | sistema di controllo semiautomatico con interfaccia uomo-macchina a schermo touch PLC+; |
12. allarme e protezione | allarmare e attuare le misure di protezione corrispondenti in caso di condizioni anormali quali carenza di acqua, sovracorrente e sovratensione, rotture di circuiti, ecc., in pompe ed elettrodi; sistema di protezione completo per il blocco di programmazione logica; |
13. Occupazione dei terreni | L1900×W800×H1900 (mm). |
Persona di contatto: Kaitlyn Wang
Telefono: 19376687282
Fax: 86-769-83078748