|
جزئیات محصول:
|
| نوع ماشین: | پوشش لایه نازک یونی سیستم پوشش یونی چند قوس | ولتاژ: | 220 ولت |
|---|---|---|---|
| قدرت (w): | / | ابعاد (l*w*h): | 1900*800*1900 میلی متر |
| گارانتی: | 1 سال | وزن (کیلوگرم): | 100 |
| برجسته کردن: | سیستم پوششدهی یونی در خلاء بالا,دستگاه رسوبدهی با قوس کاتدی,دستگاه پوششدهی لایه نازک یونی |
||
مورد | مشخصات |
1. محفظه خلاء | Ф500×H420mm، فولاد ضد زنگ 304، ساختار باز کردن درب جلو؛ دمای اتاق گرمایش: دمای اتاق ~ 350±1℃. |
2. سیستم خلاء | یک سیستم خلاء بالا متشکل از یک پمپ مولکولی مرکب + پمپ پره ای دوار با جفت مستقیم + شیر خلاء بالا و یک دیجیتال نمایشگر کامپوزیت وکیوم سنج; |
3. حد خلاء | بهتر از 6.0×10-5Pa (بدون بار، پس از پخت و گاز زدایی)؛ |
4. میزان نشت | نرخ افزایش فشار تجهیزات ≤0.8Pa/h؛ تعمیر و نگهداری فشار تجهیزات: 12 ساعت پس از توقف پمپ، خلاء ≤10Pa است. |
5. سرعت پمپاژ | (بدون بار) از جو به 5.0×10-3Pa≤15min پمپ می شود. |
6. اندازه جدول بستر | Φ150mm، 3 ایستگاه چرخش. |
7. چرخش مرحله بستر | چرخش بستر: 0~20 دور در دقیقه. |
8. کندوپاش هدف | فیلتر مغناطیسی جدید DN100 چند قوس هدف 2 مجموعه |
9. منبع تغذیه بایاس پالس | -1000 ولت، 1 مجموعه؛ |
11. روش کنترل | PLC + صفحه لمسی رابط انسان و ماشین سیستم کنترل نیمه اتوماتیک؛ |
12. زنگ هشدار و حفاظت | هشدار و اجرای اقدامات حفاظتی مربوطه برای شرایط غیرعادی مانند کمبود آب، جریان اضافه و اضافه ولتاژ، شکست مدار و غیره در پمپ ها و الکترودها. سیستم حفاظتی اینترلاک برنامه کامل منطقی؛ |
13. تصرف زمین | (میزبان) L1900×W800×H1900 (mm). |
تماس با شخص: Kaitlyn Wang
تلفن: 19376687282
فکس: 86-769-83078748