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Dettagli:
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| Tipo: | Macchina di prova | Classe di precisione: | Alta precisione |
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| Precisione: | / | Applicazione: | test automatici |
| Supporto personalizzato: | OEM, ODM, OBM | Energia: | - |
| Classe di protezione: | IP56 | Voltaggio: | 220 v |
| Garanzia: | 1 anno | Intervallo di lunghezze d'onda: | Da 250 nm a 1700 nm |
| Dimensione del punto: | Da 1 mm a 5 mm (variabile) | Dimensione del campione: | Fino a 200 mm di diametro |
| Tempo di misurazione: | Circa 1 secondo per punto di posizione | ||
| Evidenziare: | ellipsometro spettroscopico a microarea,strumento di ellipsometro di prova di laboratorio,misurazione della struttura del modello ellipsometro |
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Ellipsometro spettroscopico per la misurazione della struttura di un modello di micro-area Strumento dell'ellissometro spettroscopico
I. Visualizzazione
LR-SE-Mè un ellipsometro spettroscopico dedicato personalizzato per l'industria dei semiconduttori per la misurazione della struttura di un modello di microarea.tecnologia di misurazione per il rilevamento di macchie luminose in ultra-miniatura e 2. tecnologia di misurazione della velocità ultra-veloce su misura, applicabile alla misurazione di n/k/d di film antiriflesso, film conduttivi e altri film sottili su vari substrati trasparenti,ed è perfettamente adatto per l'analisi dei parametri ottici di vari modelli di micro-area.
II. Caratteristiche particolari
1.La dimensione del punto può essere personalizzata, con un minimo di 30 mm.
2.b. "tecnologia" per la "produzione", la "produzione", la "produzione" o la "produzione" di "materiali chimici" o di "materiali chimici" per la "produzione", la "produzione" o la "produzione" di "materiali chimici".
3.La configurazione della serie è flessibile e supporta un design funzionale personalizzato.
4.Struttura compatta, più adatta alla misurazione integrata online.
III. Esempi di misura
Misurazione della microstruttura dell'area catturata nell'immagine
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Ellipsometro spettroscopico per la misurazione della struttura di un modello di micro-area Strumento dell'ellissometro spettroscopico
Specifica tecnica
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Intervallo di lunghezza d'onda |
da 250 nm a 1700 nm |
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Dimensione del punto |
Da 1 mm a 5 mm (variabile) |
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Dimensione del campione |
Diametro fino a 200 mm |
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Intervallo di spessore di misura* |
~ 30 μM |
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Tempo di misura |
Circa 1 secondo per punto di posizione |
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Intervallo dell'angolo di incidente |
20° a 90° (intervalli di 5 gradi) |
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Errore di ripetibilità* |
Minore di 1 Å (angstrom) |
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Persona di contatto: Kaitlyn Wang
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Fax: 86-769-83078748