Φασματοσκοπικό ελλειψόμετρο για τη μέτρηση δομής μοτίβας μικροεδάφους Φασματοσκοπικό ελλειψόμετρο όργανο

Όργανο Φασματόμετρου Ελλειψομετρίας 

I. ΕπισκόπησηLR-SE-M

 είναι ένα ειδικό φασματόμετρο ελλειψομετρίας προσαρμοσμένο για τη βιομηχανία ημιαγωγών για τη μέτρηση δομής μικρο-περιοχής. Υιοθετεί 1. τεχνολογία μέτρησης ανίχνευσης εξαιρετικά μικροσκοπικής κηλίδας φωτός και 2. προσαρμοσμένη τεχνολογία εξαιρετικά γρήγορης ταχύτητας μέτρησης. Μπορεί να εφαρμοστεί στη μέτρηση των n/k/d αντι-ανακλαστικών φιλμ, αγώγιμων φιλμ και άλλων λεπτών φιλμ σε διάφορα διαφανή υποστρώματα και είναι ιδανικό για την ανάλυση οπτικών παραμέτρων διαφόρων μοτίβων μικρο-περιοχής.

II. Ειδικά Χαρακτηριστικά1.

Το μέγεθος της κηλίδας μπορεί να προσαρμοστεί, με το ελάχιστο να φτάνει τα 30um.2.

Εξαιρετικά γρήγορη μέτρηση, με χρόνο μίας μέτρησης μικρότερο από 0,5 δευτερόλεπτα;3.

Η διαμόρφωση της σειράς είναι ευέλικτη και υποστηρίζει προσαρμοσμένο λειτουργικό σχεδιασμό.4.

Συμπαγής δομή, πιο κατάλληλη για ενσωματωμένη μέτρηση.

III. Παραδείγματα Μέτρησης

Μέτρηση μικροδομής της περιοχής που καταγράφηκε στην εικόνα

Φασματόμετρο Ελλειψομετρίας για Μέτρηση Δομής Μικρο-περιοχής