Φασματοσκοπικό ελλειψόμετρο για τη μέτρηση δομής μοτίβας μικροεδάφους Φασματοσκοπικό ελλειψόμετρο Εργαστηριακή δοκιμή με όργανο M

Φασματοσκοπικό ελλειψόμετρο για τη μέτρηση δομής μοτίβας μικροεδάφους Φασματοσκοπικό ελλειψόμετρο

Ι. Σύνοψη 

- Τι;ΣΕ-Μείναι ένα ειδικό φασματοσκοπικό ελλειψόμετρο προσαρμοσμένο για τη βιομηχανία ημιαγωγών για τη μέτρηση δομής μοτίβου μικροεπίπεδου.τεχνολογία μέτρησης ανίχνευσης μικροσκοπικών φωτεινών κηλίδων και 2. προσαρμοσμένη τεχνολογία υπερ-ταχείας ταχύτητας μέτρησης, η οποία μπορεί να χρησιμοποιηθεί για τη μέτρηση της n/k/d των αντι-αντανακλαστικών ταινιών, των αγωγών ταινιών και άλλων λεπτών ταινιών σε διάφορα διαφανή υπόστρωμα,και είναι απόλυτα κατάλληλο για την ανάλυση οπτικών παραμέτρων διαφόρων μοτίβων μικροεδαφών.

ΙΙ. Ιδιαίτερα χαρακτηριστικά

1.Το μέγεθος του σημείου μπορεί να προσαρμοστεί, με το ελάχιστο να φτάνει τα 30 μm.

2.Υπερ-ταχεία μέτρηση, με χρόνο μέτρησης μικρότερο από 0,5 δευτερόλεπτα·

3.Η διαμόρφωση της σειράς είναι ευέλικτη και υποστηρίζει προσαρμοσμένο λειτουργικό σχεδιασμό.

4.Σύνθετη δομή, πιο κατάλληλη για ολοκληρωμένες online μετρήσεις.

ΙΙΙ. Παραδείγματα μετρήσεων

Μικροδομή μέτρησης της καταγεγραμμένης περιοχής στην εικόνα

Φασματοσκοπικό ελλειψόμετρο για τη μέτρηση δομής μοτίβας μικροεδάφους Φασματοσκοπικό ελλειψόμετρο

Τεχνικές προδιαγραφές