|
Thông tin chi tiết sản phẩm:
|
| Kiểu: | Máy kiểm tra | Lớp chính xác: | Độ chính xác cao |
|---|---|---|---|
| Sự chính xác: | / | Ứng dụng: | Kiểm tra tự động |
| Hỗ trợ tùy chỉnh: | OEM, ODM, OBM | Quyền lực: | - |
| Lớp bảo vệ: | IP56 | Điện áp: | 220 v |
| Bảo hành: | 1 năm | Phạm vi bước sóng: | 250nm đến 1700nm |
| kích thước điểm: | 1 mm đến 5 mm (có thể thay đổi) | Cỡ mẫu: | Đường kính lên tới 200 mm |
| Thời gian đo: | Khoảng 1 giây cho mỗi điểm vị trí | ||
| Làm nổi bật: | Máy đo elip quang phổ diện tích vi mô,dụng cụ đo elip thử nghiệm trong phòng thí nghiệm,máy đo elip đo cấu trúc mẫu |
||
Máy đo Ellipsometer quang phổ để đo cấu trúc mẫu vùng vi mô Máy đo Ellipsometer quang phổ
I. Tổng quan
LR-SE-Mlà một máy đo elip quang phổ chuyên dụng được tùy chỉnh cho ngành công nghiệp bán dẫn để đo cấu trúc mô hình vùng vi mô. Nó áp dụng 1.Công nghệ đo phát hiện điểm ánh sáng siêu thu nhỏ và 2. công nghệ đo tốc độ siêu nhanh tùy chỉnh. Nó có thể được áp dụng để đo n/k/d của phim chống phản xạ, phim dẫn và các phim mỏng khác trên các nền trong suốt khác nhau,và hoàn toàn phù hợp với phân tích thông số quang học của các mẫu vi mô khác nhau.
II. Đặc điểm đặc biệt
1.Kích thước điểm có thể được tùy chỉnh, với mức tối thiểu đạt 30um.
2.Đánh giá cực nhanh, với thời gian đo đơn dưới 0,5 giây;
3.Cấu hình loạt là linh hoạt và hỗ trợ thiết kế chức năng tùy chỉnh.
4.Cấu trúc nhỏ gọn, thích hợp hơn cho phép đo tích hợp trực tuyến.
III. Ví dụ đo lường
Đo cấu trúc vi mô của khu vực được chụp trong hình ảnh
Máy đo Ellipsometer quang phổ để đo cấu trúc mẫu vùng vi mô Máy đo Ellipsometer quang phổ
Thông số kỹ thuật
|
Phạm vi bước sóng |
250 nm đến 1700 nm |
|
Kích thước điểm |
1 mm đến 5 mm (biến đổi) |
|
Kích thước mẫu |
Với đường kính lên đến 200 mm |
|
Phạm vi độ dày đo* |
~30 μM |
|
Thời gian đo |
Khoảng 1 giây mỗi điểm vị trí |
|
Phạm vi góc xảy ra |
20° đến 90° (khoảng cách 5 độ) |
|
Lỗi có thể lặp lại* |
Ít hơn 1 Å (angstrom) |
Người liên hệ: Kaitlyn Wang
Tel: 19376687282
Fax: 86-769-83078748
Vietnamese
