মাইক্রো এরিয়া প্যাটার্ন স্ট্রাকচার পরিমাপের জন্য স্পেকট্রোস্কোপিক এলিপসোমিটার স্পেকট্রোস্কোপিক এলিপসোমিটার যন্ত্র

মাইক্রো এরিয়া প্যাটার্ন স্ট্রাকচার পরিমাপের জন্য স্পেকট্রোস্কোপিক এলিপসোমিটার স্পেকট্রোস্কোপিক এলিপসোমিটার যন্ত্র

I. সারসংক্ষেপ 

এলআর-এসই-এমএটি মাইক্রো-এরিয়া প্যাটার্ন স্ট্রাকচার পরিমাপের জন্য অর্ধপরিবাহী শিল্পের জন্য কাস্টমাইজড একটি ডেডিকেটেড স্পেকট্রোস্কোপিক এলিলিপসোমিটার। এটি 1.আলোর স্পট সনাক্তকরণের অতি ক্ষুদ্র পরিমাপ প্রযুক্তি এবং ২. কাস্টমাইজড অতি-দ্রুত পরিমাপ গতির প্রযুক্তি। এটি বিভিন্ন স্বচ্ছ স্তরগুলিতে অ্যান্টি-রিফ্লেক্স ফিল্ম, পরিবাহী ফিল্ম এবং অন্যান্য পাতলা ফিল্মগুলির n/k/d পরিমাপে প্রয়োগ করা যেতে পারে,এবং বিভিন্ন মাইক্রো এলাকার প্যাটার্নের অপটিক্যাল পরামিতি বিশ্লেষণের জন্য উপযুক্ত.

II. বিশেষ বৈশিষ্ট্য

1.স্পট আকার কাস্টমাইজ করা যেতে পারে, সর্বনিম্ন 30um পৌঁছানোর সঙ্গে।

2.'অল্ট্রা-ফাস্ট' পরিমাপ, একক পরিমাপের সময় 0.5 সেকেন্ডের কম;

3.সিরিজ কনফিগারেশন নমনীয় এবং কাস্টমাইজড কার্যকরী নকশা সমর্থন করে।

4.কমপ্যাক্ট কাঠামো, অনলাইন ইন্টিগ্রেটেড পরিমাপের জন্য আরও উপযুক্ত।

III. পরিমাপের উদাহরণ

ছবিতে ক্যাপচার করা এলাকার মাইক্রোস্ট্রাকচার পরিমাপ

মাইক্রো এরিয়া প্যাটার্ন স্ট্রাকচার পরিমাপের জন্য স্পেকট্রোস্কোপিক এলিপসোমিটার স্পেকট্রোস্কোপিক এলিপসোমিটার যন্ত্র

টেকনিক্যাল স্পেসিফিকেশন