মাইক্রো এরিয়া প্যাটার্ন স্ট্রাকচার পরিমাপের জন্য স্পেকট্রোস্কোপিক এলিপসোমিটার স্পেকট্রোস্কোপিক এলিপসোমিটার ইনস্ট্রুমেন্ট ল্যাব টেস্ট এম

মাইক্রো-এরিয়া প্যাটার্ন স্ট্রাকচার মেজারমেন্টের জন্য স্পেকট্রোস্কোপিক এলিপসোমিটার স্পেকট্রোস্কোপিক এলিপসোমিটার যন্ত্র

I. সংক্ষিপ্ত বিবরণ 

এলআর-SE-এমমাইক্রো-এরিয়া প্যাটার্ন গঠন পরিমাপের জন্য সেমিকন্ডাক্টর শিল্পের জন্য কাস্টমাইজ করা একটি ডেডিকেটেড স্পেকট্রোস্কোপিক এলিপসোমিটার। এটি 1. অতি-ক্ষুদ্র আলো স্পট সনাক্তকরণ পরিমাপ প্রযুক্তি এবং 2. কাস্টমাইজড অতি দ্রুত পরিমাপ গতি প্রযুক্তি গ্রহণ করে। এটি বিভিন্ন স্বচ্ছ সাবস্ট্রেটে অ্যান্টি-রিফ্লেকশন ফিল্ম, পরিবাহী ফিল্ম এবং অন্যান্য পাতলা ফিল্মের n/k/d পরিমাপের জন্য প্রয়োগ করা যেতে পারে এবং বিভিন্ন মাইক্রো-এরিয়া প্যাটার্নের অপটিক্যাল প্যারামিটার বিশ্লেষণের জন্য পুরোপুরি উপযুক্ত।

২. বিশেষ বৈশিষ্ট্য

1.স্পট আকার কাস্টমাইজ করা যেতে পারে, ন্যূনতম 30um পৌঁছানোর সঙ্গে.

2.অতি-দ্রুত পরিমাপ, 0.5 সেকেন্ডের কম সময়ের একটি একক পরিমাপের সময় সহ;

3.সিরিজ কনফিগারেশন নমনীয় এবং কাস্টমাইজড কার্যকরী নকশা সমর্থন করে।

4.কমপ্যাক্ট কাঠামো, অনলাইন সমন্বিত পরিমাপের জন্য আরও উপযুক্ত।

III. পরিমাপের উদাহরণ

চিত্রে ক্যাপচার করা এলাকার মাইক্রোস্ট্রাকচার পরিমাপ

মাইক্রো-এরিয়া প্যাটার্ন স্ট্রাকচার মেজারমেন্টের জন্য স্পেকট্রোস্কোপিক এলিপসোমিটার স্পেকট্রোস্কোপিক এলিপসোমিটার যন্ত্র

প্রযুক্তিগত স্পেসিফিকেশন