Spektroskopischer Ellipsometer für Mikroflächen-Strukturmessung

Spektroskopischer Ellipsometer für Mikroflächen-Strukturmessung Spektroskopisches Ellipsometer Instrument

I. Überblick 

LR-SE-M ist ein dedizierter spektroskopischer Ellipsometer, der für die Halbleiterindustrie zur Messung von Mikroflächen-Strukturen angepasst wurde. Er verwendet 1. Ultra-Miniatur-Lichtfleck-Detektionsmesstechnologie und 2. angepasste ultraschnelle Messgeschwindigkeits-Technologie. Er kann zur Messung von n/k/d von Antireflexionsschichten, leitfähigen Schichten und anderen Dünnschichten auf verschiedenen transparenten Substraten eingesetzt werden und eignet sich perfekt für die optische Parameteranalyse verschiedener Mikroflächenmuster.

II. Besondere Merkmale

1. Die Spotgröße kann angepasst werden, wobei das Minimum 30 um erreicht.

2. Ultraschnelle Messung, mit einer Einzelmesszeit von weniger als 0,5 Sekunden;

3. Die Serienkonfiguration ist flexibel und unterstützt kundenspezifisches Funktionsdesign.

4. Kompakte Struktur, besser geeignet für die Online-integrierte Messung.

III. Messbeispiele

Mikrostrukturmessung des erfassten Bereichs im Bild

Spektroskopischer Ellipsometer für Mikroflächen-Strukturmessung Spektroskopisches Ellipsometer Instrument

Technische Spezifikation