Spektroskopisches Ellipsometer für Mikro-Flächen-Musterstrukturmessung Spektroskopisches Ellipsometer-Instrument Laborprüfung M

Spektroskopisches Ellipsometer zur Messung der Struktur von Mikroflächenmustern. Spektroskopisches Ellipsometer-Instrument

I. Übersicht 

LR-SE-Mist ein spezielles spektroskopisches Ellipsometer, das speziell für die Halbleiterindustrie zur Messung von Musterstrukturen im Mikrobereich entwickelt wurde. Es nutzt 1. Ultraminiatur-Lichtpunkterkennungsmesstechnologie und 2. maßgeschneiderte ultraschnelle Messgeschwindigkeitstechnologie. Es kann zur Messung von n/k/d von Antireflexionsfilmen, leitfähigen Filmen und anderen dünnen Filmen auf verschiedenen transparenten Substraten eingesetzt werden und eignet sich hervorragend für die optische Parameteranalyse verschiedener Mikrobereichsmuster.

II. Besondere Merkmale

1.Die Spotgröße kann individuell angepasst werden, wobei die Mindestgröße 30 µm erreicht.

2.Ultraschnelle Messung mit einer einzigen Messzeit von weniger als 0,5 Sekunden;

3.Die Serienkonfiguration ist flexibel und unterstützt individuelles Funktionsdesign.

4.Kompakte Struktur, besser geeignet für integrierte Online-Messung.

III. Messbeispiele

Mikrostrukturmessung des erfassten Bereichs im Bild

Spektroskopisches Ellipsometer zur Messung der Struktur von Mikroflächenmustern. Spektroskopisches Ellipsometer-Instrument

Technische Spezifikation