Ellipsomètre spectroscopique pour mesure de Structure de motif de micro-zone Instrument d'ellipsomètre spectroscopique Test en laboratoire M

Éllipsomètre spectroscopique pour la mesure de la structure des modèles de micro-aire

I. Résumé 

Je ne sais pas.Le SE-Mest un ellipsomètre spectroscopique dédié à l'industrie des semi-conducteurs pour la mesure de la structure des modèles de micro-aire.technologie de mesure de détection de taches lumineuses ultra-miniature et 2. technologie de mesure de vitesse ultra-rapide personnalisée, elle peut être appliquée à la mesure de n/k/d de films antireflet, de films conducteurs et d'autres films minces sur divers substrats transparents,et est parfaitement adapté à l'analyse des paramètres optiques de divers modèles de micro-zone.

II. Caractéristiques particulières

1.La taille du point peut être personnalisée, avec un minimum atteignant 30 mm.

2."mécanique" pour la fabrication de "mécanismes de mesure" ou de "mécanismes de mesure" pour la fabrication de "mécanismes de mesure";

3.La configuration de la série est flexible et prend en charge la conception fonctionnelle personnalisée.

4.Structure compacte, plus adaptée à la mesure intégrée en ligne.

III. Exemples de mesure

Mesure de la microstructure de la zone capturée sur l'image

Éllipsomètre spectroscopique pour la mesure de la structure des modèles de micro-aire

Spécification technique