Ellipsomètre spectroscopique pour la mesure de structures de motifs en micro-zone

Ellipsomètre Spectroscopique pour la Mesure de la Structure de Motifs en Micro-zone Instrument Ellipsomètre Spectroscopique

I. Aperçu 

LR-SE-M est un ellipsomètre spectroscopique dédié, personnalisé pour l'industrie des semi-conducteurs, pour la mesure de la structure de motifs en micro-zone. Il adopte 1. la technologie de mesure par détection de spot lumineux ultra-miniature et 2. la technologie de vitesse de mesure ultra-rapide personnalisée. Il peut être appliqué à la mesure de n/k/d des films antireflets, des films conducteurs et d'autres films minces sur divers substrats transparents, et est parfaitement adapté à l'analyse des paramètres optiques de divers motifs en micro-zone.

II. Caractéristiques spéciales

1. La taille du spot peut être personnalisée, avec un minimum atteignant 30um.

2. Mesure ultra-rapide, avec un temps de mesure unique inférieur à 0,5 seconde ;

3. La configuration de la série est flexible et prend en charge la conception fonctionnelle personnalisée.

4. Structure compacte, plus adaptée à la mesure intégrée en ligne.

III. Exemples de mesure

Mesure de la microstructure de la zone capturée dans l'image

Ellipsomètre Spectroscopique pour la Mesure de la Structure de Motifs en Micro-zone Instrument Ellipsomètre Spectroscopique

Spécifications techniques