بیضی‌سنج طیف‌سنجی برای اندازه‌گیری ساختار الگوی ریزمحیط، تست آزمایشگاهی ابزار بیضی‌سنج طیف‌سنجی M

دستگاه بیضی‌سنج طیف‌سنجی برای اندازه‌گیری ساختار الگوی میکرو ناحیه‌ای ابزار بیضی‌سنج طیف‌سنجی

I. نمای کلی 

LR-SE-میک بیضی‌سنج طیف‌سنجی اختصاصی است که برای صنعت نیمه‌رساناها برای اندازه‌گیری ساختار الگوی میکرو ناحیه سفارشی شده است. این فناوری 1. فن‌آوری اندازه‌گیری نقطه نوری فوق‌العاده مینیاتوری و 2. فناوری سرعت اندازه‌گیری فوق‌العاده سریع سفارشی‌سازی شده را اتخاذ می‌کند. می‌توان آن را برای اندازه‌گیری n/k/d فیلم‌های ضد انعکاس، لایه‌های رسانا و دیگر لایه‌های نازک روی لایه‌های شفاف مختلف اعمال کرد و برای تجزیه و تحلیل پارامترهای نوری الگوهای مختلف ریز ناحیه کاملاً مناسب است.

II. ویژگی های خاص

1.اندازه نقطه را می توان با حداقل رسیدن به 30 میلی متر سفارشی کرد.

2.اندازه گیری فوق العاده سریع، با یک زمان اندازه گیری کمتر از 0.5 ثانیه؛

3.پیکربندی سری انعطاف پذیر است و از طراحی کاربردی سفارشی پشتیبانی می کند.

4.ساختار فشرده، مناسب تر برای اندازه گیری یکپارچه آنلاین.

III. نمونه های اندازه گیری

اندازه گیری ریزساختار منطقه گرفته شده در تصویر

دستگاه بیضی‌سنج طیف‌سنجی برای اندازه‌گیری ساختار الگوی میکرو ناحیه‌ای ابزار بیضی‌سنج طیف‌سنجی

مشخصات فنی