|
รายละเอียดสินค้า:
|
| พิมพ์: | เครื่องทดสอบ | ระดับความแม่นยำ: | ความแม่นยำสูง |
|---|---|---|---|
| ความแม่นยำ: | - | แอปพลิเคชัน: | การทดสอบอัตโนมัติ |
| การสนับสนุนที่กำหนดเอง: | OEM, ODM, OBM | พลัง: | - |
| ระดับการป้องกัน: | IP56 | แรงดันไฟฟ้า: | 220 V |
| การรับประกัน: | 1 ปี | ช่วงความยาวคลื่น: | 250 นาโนเมตรถึง 1,700 นาโนเมตร |
| ขนาดสปอต: | 1 มม. ถึง 5 มม. (ตัวแปร) | ขนาดตัวอย่าง: | เส้นผ่านศูนย์กลางสูงสุด 200 มม |
| เวลาวัด: | ประมาณ 1 วินาทีต่อจุดตำแหน่ง | ||
| เน้น: | micro-area spectroscopic ellipsometer,pattern structure measurement instrument,lab spectroscopic ellipsometer with warranty |
||
Spectroscopic Ellipsometer for Micro-area Pattern Structure Measurement Spectroscopic Ellipsometer Instrument
I. Overview
LR-SE-M is a dedicated spectroscopic ellipsometer customized for the semiconductor industry for micro-area pattern structure measurement. It adopts 1. ultra-miniature light spot detection measurement technology and 2. customized ultra-fast measurement speed technology. It can be applied to the measurement of n/k/d of anti-reflection films, conductive films and other thin films on various transparent substrates, and is perfectly suitable for the optical parameter analysis of various micro-area patterns.
II. Special Features
1. The spot size can be customized, with the minimum reaching 30um.
2. Ultra-fast measurement, with a single measurement time of less than 0.5 seconds;
3. The series configuration is flexible and supports customized functional design.
4. Compact structure, more suitable for online integrated measurement.
III. Measurement Examples
Microstructure measurement of captured area in the image
Spectroscopic Ellipsometer for Micro-area Pattern Structure Measurement Spectroscopic Ellipsometer Instrument
Technical Specification
|
Wavelength Range |
250 nm to 1700 nm |
|
Spot Size |
1 mm to 5 mm (variable) |
|
Sample Size |
Up to 200 mm in diameter |
|
Measurement Thickness Range* |
~30 μM |
|
Measurement Time |
Approximately 1 second per position point |
|
Incident Angle Range |
20° to 90° (5-degree intervals) |
|
Repeatability Error* |
Less than 1 Å (angstrom) |
ผู้ติดต่อ: Kaitlyn Wang
โทร: 19376687282
แฟกซ์: 86-769-83078748
Thai
