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Spectroscopic Ellipsometer for Micro-area Pattern Structure Measurement Spectroscopic Ellipsometer Instrument

Name: Spectroscopic Ellipsometer for Micro-area Pattern Structure Measurement Spectroscopic Ellipsometer Instrument
Brand: DONGGUAN LONROY EQUIPMENT CO LTD
Availability: InStock

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Spectroscopic Ellipsometer for Micro-area Pattern Structure Measurement Spectroscopic Ellipsometer Instrument

Ampliación de imagen : Spectroscopic Ellipsometer for Micro-area Pattern Structure Measurement Spectroscopic Ellipsometer Instrument

Datos del producto:

Lugar de origen:	Cantón, China
Nombre de la marca:	LONROY

Pago y Envío Términos:

Cantidad de orden mínima:	1

Contacto

Spectroscopic Ellipsometer for Micro-area Pattern Structure Measurement Spectroscopic Ellipsometer Instrument

descripción

Tipo:	Máquina de prueba	Clase de precisión:	Alta precisión
Exactitud:	/	Solicitud:	Pruebas automáticas
Soporte personalizado:	OEM, ODM, OBM	Fuerza:	-
Clase de protección:	IP56	Voltaje:	220 V
Garantía:	1 año	Rango de longitud de onda:	250 nm a 1700 nm
Tamaño de la mancha:	1 mm a 5 mm (variable)	Tamaño de muestra:	Hasta 200 mm de diámetro
Tiempo de medición:	Aproximadamente 1 segundo por punto de posición
Resaltar:	micro-area spectroscopic ellipsometer , pattern structure measurement instrument , lab spectroscopic ellipsometer with warranty

Spectroscopic Ellipsometer for Micro-area Pattern Structure Measurement Spectroscopic Ellipsometer Instrument

I. Overview

LR-SE-M is a dedicated spectroscopic ellipsometer customized for the semiconductor industry for micro-area pattern structure measurement. It adopts 1. ultra-miniature light spot detection measurement technology and 2. customized ultra-fast measurement speed technology. It can be applied to the measurement of n/k/d of anti-reflection films, conductive films and other thin films on various transparent substrates, and is perfectly suitable for the optical parameter analysis of various micro-area patterns.

II. Special Features

1. The spot size can be customized, with the minimum reaching 30um.

2. Ultra-fast measurement, with a single measurement time of less than 0.5 seconds;

3. The series configuration is flexible and supports customized functional design.

4. Compact structure, more suitable for online integrated measurement.

III. Measurement Examples

Microstructure measurement of captured area in the image

Spectroscopic Ellipsometer for Micro-area Pattern Structure Measurement Spectroscopic Ellipsometer Instrument

Technical Specification

Wavelength Range	250 nm to 1700 nm
Spot Size	1 mm to 5 mm (variable)
Sample Size	Up to 200 mm in diameter
Measurement Thickness Range*	~30 μM
Measurement Time	Approximately 1 second per position point
Incident Angle Range	20° to 90° (5-degree intervals)
Repeatability Error*	Less than 1 Å (angstrom)

etiqueta:

Persona de Contacto: Kaitlyn Wang

Teléfono: 19376687282

Fax: 86-769-83078748

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Método de medición de la temperatura: El termopare

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