Elipsómetro espectroscópico para medición de estructura de patrón de microárea, instrumento de elipsómetro espectroscópico, prueba de laboratorio M

Ellípsómetro espectroscópico para la medición de la estructura de patrones de microárea Ellípsómetro espectroscópico

I. Resumen general 

- ¿ Qué?El SE-M.Es un ellipsómetro espectroscópico dedicado a la industria de semiconductores para la medición de la estructura de patrones de micro-área.tecnología de medición de detección de manchas de luz en ultra-miniatura y 2- tecnología de medición de velocidad ultra rápida personalizada, que puede aplicarse a la medición de n/k/d de películas antirreflexión, películas conductoras y otras películas delgadas sobre diversos sustratos transparentes,y es perfectamente adecuado para el análisis de parámetros ópticos de varios patrones de micro-área.

II. Características especiales

1.El tamaño del punto se puede personalizar, con un mínimo de 30 mm.

2."Medición de velocidad" superior a 100 m/s;

3.La configuración de la serie es flexible y admite un diseño funcional personalizado.

4.Estructura compacta, más adecuada para mediciones integradas en línea.

III. Ejemplos de medición

Medición de la microestructura del área capturada en la imagen

Ellípsómetro espectroscópico para la medición de la estructura de patrones de microárea Ellípsómetro espectroscópico

Especificación técnica