Teste de laboratório de um elípsómetro espectroscópico para a medição da estrutura de padrões de micro-área

Instrumentos elípticos espectroscópicos para medição da estrutura de padrões de micro-área

I. Visão geral 

- Não.SE-MÉ um ellipsômetro espectroscópico dedicado, personalizado para a indústria de semicondutores para a medição da estrutura do padrão de micro-área.tecnologia de medição de detecção de pontos de luz em ultra-miniatura e 2- tecnologia de medição de velocidade ultra-rápida personalizada, que pode ser aplicada à medição de n/k/d de películas antirreflexo, de películas condutoras e de outras películas finas em vários substratos transparentes,e é perfeitamente adequado para a análise de parâmetros ópticos de vários padrões de micro-área.

II. Características especiais

1.O tamanho do ponto pode ser personalizado, com o mínimo atingindo 30um.

2."Medicina" ou "sistema de medição" para a obtenção de dados, incluindo as informações referidas em 1C001.a., 1C001.c. ou 1C001.c.

3.A configuração da série é flexível e suporta design funcional personalizado.

4.Estrutura compacta, mais adequada para medições integradas em linha.

III. Exemplos de medição

Medição da microestrutura da área capturada na imagem

Instrumentos elípticos espectroscópicos para medição da estrutura de padrões de micro-área

Especificação técnica