Elipsômetro Espectroscópico para Medição de Estruturas de Padrões em Micro-áreas

Elipsômetro Espectroscópico para Medição de Estruturas de Padrões em Micro-áreas Instrumento Elipsômetro Espectroscópico

I. Visão Geral 

LR-SE-M é um elipsômetro espectroscópico dedicado, personalizado para a indústria de semicondutores, para medição de estruturas de padrões em micro-áreas. Ele adota 1. tecnologia de medição de detecção de ponto de luz ultra-miniaturizada e 2. tecnologia de velocidade de medição ultra-rápida personalizada. Pode ser aplicado à medição de n/k/d de filmes antirreflexo, filmes condutores e outros filmes finos em vários substratos transparentes, sendo perfeitamente adequado para a análise de parâmetros ópticos de vários padrões em micro-áreas.

II. Características Especiais

1. O tamanho do ponto pode ser personalizado, com o mínimo atingindo 30um.

2. Medição ultrarrápida, com tempo de medição única inferior a 0,5 segundos;

3. A configuração da série é flexível e suporta design funcional personalizado.

4. Estrutura compacta, mais adequada para medição integrada online.

III. Exemplos de Medição

Medição da microestrutura da área capturada na imagem

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Especificação Técnica