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| 유형: | 테스트 머신 | 정확도 등급: | 높은 정확도 |
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| 정확성: | / | 애플리케이션: | 자동 테스트 |
| 맞춤형 지원: | OEM, ODM, OBM | 힘: | - |
| 보호 등급: | IP56 | 전압: | 220 v |
| 보증: | 1년 | 파장 범위: | 250nm ~ 1700nm |
| 스팟 크기: | 1mm ~ 5mm(가변) | 샘플 크기: | 직경 최대 200mm |
| 측정 시간: | 위치 포인트당 약 1초 | ||
| 강조하다: | 미세 영역 분광 타원 편광계,실험실 시험 엘립소미터 기기,패턴 구조 측정 엘립스 미터 |
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미세 영역 패턴 구조 측정을 위한 분광 엘립소미터 분광 엘립소미터 장비
I. 개요
LR-SE-중는 미세 영역 패턴 구조 측정을 위한 반도체 산업 전용 분광 타원계입니다. 1. 초소형 광점 검출 측정 기술과 2. 맞춤형 초고속 측정 속도 기술을 채택했습니다. 다양한 투명 기판의 반사 방지 필름, 전도성 필름 및 기타 박막의 n/k/d 측정에 적용할 수 있으며 다양한 미세 영역 패턴의 광학 매개변수 분석에 완벽하게 적합합니다.
II. 특별한 기능
1.스폿 크기는 최소 30um에 도달하도록 맞춤 설정할 수 있습니다.
2.0.5초 미만의 단일 측정 시간으로 초고속 측정이 가능합니다.
3.시리즈 구성은 유연하며 맞춤형 기능 설계를 지원합니다.
4.컴팩트한 구조로 온라인 통합 측정에 더 적합합니다.
III. 측정 예
이미지에서 캡처된 영역의 미세구조 측정
미세 영역 패턴 구조 측정을 위한 분광 엘립소미터 분광 엘립소미터 장비
기술 사양
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파장 범위 |
250nm ~ 1700nm |
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스팟 크기 |
1mm ~ 5mm(가변) |
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샘플 크기 |
직경 최대 200mm |
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측정 두께 범위* |
~30μM |
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측정시간 |
위치 포인트당 약 1초 |
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입사각 범위 |
20°~90°(5도 간격) |
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반복성 오류* |
1Å 미만(옹스트롬) |
담당자: Kaitlyn Wang
전화 번호: 19376687282
팩스: 86-769-83078748
Korean
