| 유형: | 테스트 머신 | 정확도 등급: | 높은 정확도 |
|---|---|---|---|
| 정확성: | / | 애플리케이션: | 자동 테스트 |
| 맞춤형 지원: | OEM, ODM, OBM | 힘: | - |
| 보호 등급: | IP56 | 전압: | 220 v |
| 보증: | 1년 | 파장 범위: | 250nm ~ 1700nm |
| 스팟 크기: | 1mm ~ 5mm(가변) | 샘플 크기: | 직경 최대 200mm |
| 측정 시간: | 위치 포인트당 약 1초 | ||
| 강조하다: | 미세 영역 분광 타원 편광계,패턴 구조 측정 장비,보증이 있는 실험실 분광 타원 편광계 |
||
마이크로 영역 패턴 구조 측정을 위한 분광 타원 편광계 분광 타원 편광계 장비
I. 개요
LR-SE-M 는 반도체 산업을 위해 맞춤 제작된 마이크로 영역 패턴 구조 측정을 위한 전용 분광 타원 편광계입니다. 1. 초소형 광점 감지 측정 기술과 2. 맞춤형 초고속 측정 속도 기술을 채택했습니다. 다양한 투명 기판의 반사 방지 필름, 전도성 필름 및 기타 박막의 n/k/d 측정에 적용할 수 있으며, 다양한 마이크로 영역 패턴의 광학적 매개변수 분석에 완벽하게 적합합니다.
II. 특징
1. 스팟 크기는 최소 30um까지 맞춤 설정할 수 있습니다.
2. 초고속 측정, 단일 측정 시간 0.5초 미만;
3. 시리즈 구성은 유연하며 맞춤형 기능 설계를 지원합니다.
4. 컴팩트한 구조로 온라인 통합 측정에 더 적합합니다.
III. 측정 예시
이미지에서 캡처된 영역의 미세 구조 측정
마이크로 영역 패턴 구조 측정을 위한 분광 타원 편광계 분광 타원 편광계 장비
기술 사양
|
파장 범위 |
250 nm ~ 1700 nm |
|
스팟 크기 |
1 mm ~ 5 mm (가변) |
|
샘플 크기 |
직경 최대 200 mm |
|
측정 두께 범위* |
~30 μM |
|
측정 시간 |
위치 지점당 약 1초 |
|
입사각 범위 |
20° ~ 90° (5도 간격) |
|
반복성 오차* |
1 Å (앙스트롬) 미만 |
담당자: Kaitlyn Wang
전화 번호: 19376687282
팩스: 86-769-83078748
Korean
