|
Thông tin chi tiết sản phẩm:
|
| Kiểu: | Máy kiểm tra | Lớp chính xác: | Độ chính xác cao |
|---|---|---|---|
| Sự chính xác: | / | Ứng dụng: | Kiểm tra tự động |
| Hỗ trợ tùy chỉnh: | OEM, ODM, OBM | Quyền lực: | - |
| Lớp bảo vệ: | IP56 | Điện áp: | 220 v |
| Bảo hành: | 1 năm | Phân cực: | Glan-Thompson |
| Chất xơ: | thụ động chống tia cực tím; NA = 0,22; khẩu độ rõ ràng 600um | Quyền lực: | 220Vac+10% |
| Nhiệt độ phòng: | nhiệt độ môi trường (10-30)oC | ||
| Làm nổi bật: | Máy phân tích phim quang học ellipsometer quang phổ,Ellipsometer quang phổ tại chỗ tùy chỉnh,Máy kiểm tra trong phòng thí nghiệm cho phim quang học |
||
Máy phân tích tại chỗ Ellipsometer quang phổ màng quang học tại chỗ tích hợp Máy đo Ellipsometer quang phổ tùy chỉnh
I. Tổng quan
LR-A426 là máy đo ellipsometer quang phổ tại chỗ tích hợp được thiết kế cho lớp phủ hữu cơ/vô cơ. Nhu cầu nghiên cứu quy trình màng là phát triển công nghệ giám sát trực tuyến màng tại chỗ tùy chỉnh. Phát triển và nhanh chóng triển khai đặc tính và phân tích tại chỗ các màng quang học.
II. Các trường hợp thử nghiệm
Giám sát quá trình tạo màng
Đặc tính độ dày màng
III. Ứng dụng sản phẩm
Nó được ứng dụng rộng rãi trong quá trình lắng đọng vật lý/hóa học, lắng đọng ALD và các quy trình xử lý màng quang học khác của màng kim loại, màng hữu cơ và màng vô cơ. Nó có thể tiến hành giám sát trực tuyến tại chỗ trong quá trình và cung cấp phản hồi theo thời gian thực về dữ liệu thuộc tính vật lý đo được.
Máy phân tích tại chỗ Ellipsometer quang phổ màng quang học tại chỗ tích hợp Máy đo Ellipsometer quang phổ tùy chỉnh
Thông số kỹ thuật
|
Góc tới |
65° |
|
Độ lệch chùm tia |
< 0.3° |
|
Thông số đo |
Psi&Del,TanPsi&CosDel,Alpha&Beta |
|
Bộ phân cực |
Glan-Thompson |
|
Vật liệu |
a-BBO |
|
Bộ bù |
độ trễ pha một phần tư bước sóng, siêu sắc |
|
Lựa chọn cường độ |
Phần tử lựa chọn mật độ quang học tuyến tính.Đảm bảo tỷ lệ tín hiệu trên tạp âm tốt trong quá trình đo, cải thiện độ chính xác dữ liệu, |
|
Thiết kế quang học |
sợi kép truyền ánh sáng từ đèn đến máy quang phổ thông qua các phần tử phân cực;đường dẫn ánh sáng ổn định, thuận tiện cho việc thay đổi đèn |
|
Sợi |
chống tia cực tím; NA=0.22; khẩu độ rõ 600um |
|
Điểm sáng siêu nhỏ |
đường kính ≤200um, để phân biệt giữa ánh sáng hữu ích phản xạ từ bề mặt trước và ánh sáng vô dụng phản xạ từ |
|
Khe |
1 50um, để phân biệt giữa ánh sáng hữu ích phản xạ từ bề mặt trước và ánh sáng vô dụng phản xạ từ bề mặt dưới |
Người liên hệ: Kaitlyn Wang
Tel: 19376687282
Fax: 86-769-83078748
Vietnamese
