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Produktdetails:
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| Typ: | Testmaschine | Genauigkeitsklasse: | Hohe Genauigkeit |
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| Genauigkeit: | / | Anwendung: | Autotests |
| Maßgeschneiderte Unterstützung: | OEM, ODM, OBM | Leistung: | - |
| Schutzklasse: | IP56 | Stromspannung: | 220 V |
| Garantie: | 1 Jahr | Polarisatoren: | Glan-Thompson |
| Faser: | Anti-UV-Passivierung; NA=0,22; freie Apertur 600 µm | Leistung: | 220Vac+10% |
| Raumtemperatur: | Umgebungstemperatur (10-30)℃ | ||
| Hervorheben: | Spektroskopischer Ellipsometer für die Analyse optischer Filme,speziell angepasstes Spektral-Ellipsometer in situ,mit einer Leistung von mehr als 50 W und |
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Integrierter In-situ Spektroskopischer Ellipsometer für optische Filme In-situ Analyse Maschine Kundenspezifischer Spektroskopischer Ellipsometer
I. Überblick
LR-A426 ist ein integrierter In-situ-Spektroskopischer Ellipsometer, der für organische/anorganische Beschichtungen entwickelt wurde. Die Notwendigkeit der Membranprozessforschung besteht darin, eine kundenspezifische In-situ-Film-Online-Überwachungstechnologie zu entwickeln. Entwicklung und rasche Implementierung der In-situ-Charakterisierung und -Analyse von optischen Filmen.
II. Testfälle
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Filmformungsprozessüberwachung
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Charakterisierung der Filmdicke
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III. Produktanwendungen
Es wird häufig in der physikalischen/chemischen Gasphasenabscheidung, ALD-Abscheidung und anderen optischen Filmverarbeitungsverfahren von Metallfilmen, organischen Filmen und anorganischen Filmen eingesetzt. Es kann eine In-situ-Online-Überwachung während des Prozesses durchführen und Echtzeit-Feedback zu den gemessenen physikalischen Eigenschaftsdaten liefern.
Integrierter In-situ Spektroskopischer Ellipsometer für optische Filme In-situ Analyse Maschine Kundenspezifischer Spektroskopischer Ellipsometer
Technische Spezifikation
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Einfallswinkel |
65° |
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Strahlabweichung |
< 0,3° |
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Messparameter |
Psi&Del,TanPsi&CosDel,Alpha&Beta |
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Polarisatoren |
Glan-Thompson |
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Material |
a-BBO |
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Kompensator |
Viertelwellen-Phasenverzögerung, hyperachromatisch |
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Intensitätsauswahl |
Lineares optisches Dichtewahlelement.Gewährleistet ein gutes Signal-Rausch-Verhältnis im Messprozess, verbessert die Datengenauigkeit, |
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Optisches Design |
Duale Faser transportiert das Licht von der Lampe zum Spektrometer durch Polarisationselemente;stabiler Lichtweg, bequem zum Wechseln von Lampen |
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Faser |
Anti-UV-Passivierung; NA=0,22; freie Apertur 600um |
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Mikro-Lichtfleck |
Durchmesser ≤200um, um zwischen dem nützlichen Licht, das von der Vorderfläche reflektiert wird, und dem nutzlosen Licht, das von der |
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Schlitz |
1 50um, zur Unterscheidung zwischen dem nützlichen Licht, das von der Vorderfläche reflektiert wird, und dem nutzlosen Licht, das von der Unterseite reflektiert wird |
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Ansprechpartner: Kaitlyn Wang
Telefon: 19376687282
Faxen: 86-769-83078748