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Integriertes In-situ-Spektral-Ellipsometer Optische Filme In-situ-Analyse-Maschine Spectroskopisches Ellipsometer

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CHINA DONGGUAN LONROY EQUIPMENT CO LTD zertifizierungen
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Integriertes In-situ-Spektral-Ellipsometer Optische Filme In-situ-Analyse-Maschine Spectroskopisches Ellipsometer

Integrated In-situ Spectral Ellipsometer Optical Films In-situ Analysis Machine Customized Spectroscopic Ellipsometer
Integrated In-situ Spectral Ellipsometer Optical Films In-situ Analysis Machine Customized Spectroscopic Ellipsometer Integrated In-situ Spectral Ellipsometer Optical Films In-situ Analysis Machine Customized Spectroscopic Ellipsometer Integrated In-situ Spectral Ellipsometer Optical Films In-situ Analysis Machine Customized Spectroscopic Ellipsometer Integrated In-situ Spectral Ellipsometer Optical Films In-situ Analysis Machine Customized Spectroscopic Ellipsometer Integrated In-situ Spectral Ellipsometer Optical Films In-situ Analysis Machine Customized Spectroscopic Ellipsometer Integrated In-situ Spectral Ellipsometer Optical Films In-situ Analysis Machine Customized Spectroscopic Ellipsometer

Großes Bild :  Integriertes In-situ-Spektral-Ellipsometer Optische Filme In-situ-Analyse-Maschine Spectroskopisches Ellipsometer

Produktdetails:
Herkunftsort: Guangdong, China
Markenname: LONROY
Zahlung und Versand AGB:
Min Bestellmenge: 1

Integriertes In-situ-Spektral-Ellipsometer Optische Filme In-situ-Analyse-Maschine Spectroskopisches Ellipsometer

Beschreibung
Typ: Testmaschine Genauigkeitsklasse: Hohe Genauigkeit
Genauigkeit: / Anwendung: Autotests
Maßgeschneiderte Unterstützung: OEM, ODM, OBM Leistung: -
Schutzklasse: IP56 Stromspannung: 220 V
Garantie: 1 Jahr Polarisatoren: Glan-Thompson
Faser: Anti-UV-Passivierung; NA=0,22; freie Apertur 600 µm Leistung: 220Vac+10%
Raumtemperatur: Umgebungstemperatur (10-30)℃
Hervorheben:

Spektroskopischer Ellipsometer für die Analyse optischer Filme

,

speziell angepasstes Spektral-Ellipsometer in situ

,

mit einer Leistung von mehr als 50 W und

Integrierter In-situ Spektroskopischer Ellipsometer für optische Filme In-situ Analyse Maschine Kundenspezifischer Spektroskopischer Ellipsometer

 

I. Überblick

LR-A426 ist ein integrierter In-situ-Spektroskopischer Ellipsometer, der für organische/anorganische Beschichtungen entwickelt wurde. Die Notwendigkeit der Membranprozessforschung besteht darin, eine kundenspezifische In-situ-Film-Online-Überwachungstechnologie zu entwickeln. Entwicklung und rasche Implementierung der In-situ-Charakterisierung und -Analyse von optischen Filmen.

 

 

II. Testfälle

 Integriertes In-situ-Spektral-Ellipsometer Optische Filme In-situ-Analyse-Maschine Spectroskopisches Ellipsometer 0

 

Filmformungsprozessüberwachung

 

 Integriertes In-situ-Spektral-Ellipsometer Optische Filme In-situ-Analyse-Maschine Spectroskopisches Ellipsometer 2

 

Charakterisierung der Filmdicke

 

Integriertes In-situ-Spektral-Ellipsometer Optische Filme In-situ-Analyse-Maschine Spectroskopisches Ellipsometer 4

 

 

III. Produktanwendungen

Es wird häufig in der physikalischen/chemischen Gasphasenabscheidung, ALD-Abscheidung und anderen optischen Filmverarbeitungsverfahren von Metallfilmen, organischen Filmen und anorganischen Filmen eingesetzt. Es kann eine In-situ-Online-Überwachung während des Prozesses durchführen und Echtzeit-Feedback zu den gemessenen physikalischen Eigenschaftsdaten liefern.

 

  

 

Integrierter In-situ Spektroskopischer Ellipsometer für optische Filme In-situ Analyse Maschine Kundenspezifischer Spektroskopischer Ellipsometer

 

Technische Spezifikation

 

Einfallswinkel

65°

Strahlabweichung

< 0,3°

Messparameter

Psi&Del,TanPsi&CosDel,Alpha&Beta

Polarisatoren

Glan-Thompson

Material

a-BBO

Kompensator

Viertelwellen-Phasenverzögerung, hyperachromatisch

Intensitätsauswahl

Lineares optisches Dichtewahlelement.Gewährleistet ein gutes Signal-Rausch-Verhältnis im Messprozess, verbessert die Datengenauigkeit,
vermeidet, dass die Lichtintensität sättigt oder zu schwach ist, um das Signal-Rausch-Verhältnis und die Genauigkeit zu verringern

Optisches Design

Duale Faser transportiert das Licht von der Lampe zum Spektrometer durch Polarisationselemente;stabiler Lichtweg, bequem zum Wechseln von Lampen

Faser

Anti-UV-Passivierung; NA=0,22; freie Apertur 600um

Mikro-Lichtfleck

Durchmesser ≤200um, um zwischen dem nützlichen Licht, das von der Vorderfläche reflektiert wird, und dem nutzlosen Licht, das von der
Unterfläche reflektiert wird, zu unterscheiden, leicht zu zerlegen

Schlitz

1 50um, zur Unterscheidung zwischen dem nützlichen Licht, das von der Vorderfläche reflektiert wird, und dem nutzlosen Licht, das von der Unterseite reflektiert wird
Oberfläche

 

 

 

 

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Kontaktdaten
DONGGUAN LONROY EQUIPMENT CO LTD

Ansprechpartner: Kaitlyn Wang

Telefon: 19376687282

Faxen: 86-769-83078748

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