|
รายละเอียดสินค้า:
|
| พิมพ์: | เครื่องทดสอบ | ระดับความแม่นยำ: | ความแม่นยำสูง |
|---|---|---|---|
| ความแม่นยำ: | - | แอปพลิเคชัน: | การทดสอบอัตโนมัติ |
| การสนับสนุนที่กำหนดเอง: | OEM, ODM, OBM | พลัง: | - |
| ระดับการป้องกัน: | IP56 | แรงดันไฟฟ้า: | 220 V |
| การรับประกัน: | 1 ปี | เครื่องขั้วขั้วขั้ว: | แกลน-ทอมป์สัน |
| ไฟเบอร์: | ทู่ป้องกันรังสียูวี; NA=0.22 รูรับแสงที่ชัดเจน 600um | พลัง: | 220Vac+10% |
| อุณหภูมิห้อง: | อุณหภูมิสภาพแวดล้อม (10-30) ℃ | ||
| เน้น: | spectroscopic ellipsometer optical films analyzer,customized in-situ spectral ellipsometer,lab test machine for optical films |
||
Integrated In-situ Spectral Ellipsometer Optical Films In-situ Analysis Machine Customized Spectroscopic Ellipsometer
I. Overview
LR-A426 is an integrated in-situ spectroscopic ellipsometer designed for organic/inorganic coatings. The need for membrane process research is to develop customized in-situ film online monitoring technology. Develop and rapidly implement in-situ characterization and analysis of optical films.
II. Test Cases
Film-forming process monitoring
Film thickness characterization
III. Product Applications
It is widely applied in the physical/chemical vapor deposition, ALD deposition and other optical film processing procedures of metal films, organic films and inorganic films. It can conduct in-situ online monitoring during the process and provide real-time feedback on the measured physical property data.
Integrated In-situ Spectroscopic Ellipsometer Optical Films In-situ Analysis Machine Customized Spectroscopic Ellipsometer
Technical Specification
|
Incident angle |
65° |
|
Beam deviation |
< 0.3° |
|
Measurement parameters |
Psi&Del,TanPsi&CosDel,Alpha&Beta |
|
Polarizers |
Glan-Thompson |
|
Material |
a-BBO |
|
Compensator |
quarter-wave phase delay, hyper achromatic |
|
Intensity selection |
Linear optical density selection element. Ensures good signal-to-noise ratio in measurement process, improves data accuracy, |
|
Optical design |
dual fiber convey the light from lamp to spectrometer through polarization elements;stable light path, convenient to change lamps |
|
Fiber |
anti-UV passivation; NA=0.22;clear aperture 600um |
|
Micro light spot |
diameter ≤200um, to distinguish between the useful light reflected from front surface and the useless light reflected from the |
|
Slit |
1 50um, for distinguishing between the useful light reflected from front surface and the useless light reflected from the bottom |
ผู้ติดต่อ: Kaitlyn Wang
โทร: 19376687282
แฟกซ์: 86-769-83078748
Thai
