Elipsometría Espectral Elipsómetro Espectroscópico Probador de Espesor de Película Delgada Índice de Refracción Máquina de Prueba de Espesor de Nanopelícula

Número de Serie

Modelo

Nombre

Parámetros técnicos principales

1

ES

Unidad Principal de Elipsometría Espectral

Incluye los siguientes componentes principales:

Conjunto de estructura angular;

Conjunto de fuente de luz;

Conjunto de óptica de polarización;

Conjunto de alineación de muestra;

Conjunto de sistema de control.

2

ET-CON-5

Computadora de Control

Para control de movimiento y cálculos de análisis de datos, la configuración no debe ser inferior a: CPU i5; 8GB RAM; pantalla a color de 21 pulgadas; sistema Windows 10;

3

C7

Caja de Control del Instrumento

Se utiliza para el control de movimiento de instrumentos, etc.

4

ETES

Software Dedicado de Operación y Análisis

Se utiliza para la configuración, operación, medición, análisis de datos y salida del instrumento.

5

NFS-SiO2 / Si

Muestra Estándar de Oblea de Nanopelícula

Óxido de silicio (SiO2/Si) depositado sobre silicio cristalino, con un diámetro de 4" y un espesor de película de 100 nm.

No.

Modelo

Nombre

Parámetros Técnicos Principales

X1a

F-U-200

Componente de micro-punto 

Diámetro del micro-punto de luz (eje corto): 200 μm (Requiere accesorio de autoenfoque X2 para su uso)

X2a

Auto-Focus

Sistema de autoenfoque de eje Z

Carrera: 0-10 mm;

Especificaciones Generales

Rango Espectral

245 – 1000 nm; rangos espectrales personalizados disponibles bajo pedido

Ángulo de Incidencia

(F) Ángulo de incidencia fijo; ángulo predeterminado: 65°

Especificaciones de Rendimiento

Repetibilidad de Medición*

Para película de SiO2 de 100 nm en oblea estándar de Si: repetibilidad de espesor 0.005 nm, repetibilidad de índice de refracción 0.0002

Tiempo de Medición Única

Tiempo de medición típico 1–2 segundos

Componentes Ópticos y Mecánicos

Fuente de Luz

Fuente de luz de banda ancha de alta estabilidad (lámpara de tungsteno-halógeno, lámpara de deuterio-halógeno)

Modo de Ajuste Espectral

Tamaño de punto autoajustable; tiempo de integración autoajustable para una coincidencia óptima

Polarizador / Analizador

Prisma polarizador de alta calidad

Punto de Medición

Rango ajustable manual del punto: 1–4 mm

Intervalo Espectral

Banda de ≤1000 nm: 1 nm

Platina de Muestra

Rango de ajuste vertical: 10 mm (manual); rango de ajuste de inclinación 2D: ±2° (manual); adsorción por vacío soportada; tamaño máximo de muestra: 8 pulgadas (200 mm); tamaños personalizados disponibles

Alineación de Muestra

Telescopio autocollimador y microscopio para alineación de muestra de precisión (altura e inclinación 2D); alineación electrónica de imagen de video

Detector

Detector espectral de alta sensibilidad y bajo ruido

Gabinete de Control

Chasis dividido con placa de circuito, unidad de microcontrol, fuente de alimentación, etc.

Computadora

Computadora de alta calidad con sistema operativo

Software

Idioma de Interfaz

Soporte multilingüe incluyendo chino/inglés; chino por defecto

Gestión de Permisos

Niveles de permiso de administrador y operador para la gestión del instrumento

Modos de Operación

Modo de medición rutinaria con un clic (fácil para principiantes);

lmodo de análisis avanzado para análisis de materiales complejos

Medición Espectral

lConfiguración automática de la azimut de los componentes ópticos;

lejecución manual/automática de tareas definidas por el usuario;

lespectro mostrado en unidades estándar de energía o longitud de onda;

lmonitorización en tiempo real de la respuesta de la muestra con visualización en línea de ψ y Δ

Salida de Resultados de Medición

l11 elementos de la matriz de Mueller y otras formas de salida (N, C, S);

lespesor de película d, índice de refracción n, coeficiente de extinción k;

lfunción dieléctrica ε;

lángulos elipsométricos ψ, Δ;

ldespolarización p;

ltransmitancia T (no compatible con instrumentos de ángulo fijo y medición láser);

lreflectancia R;

lrecorte de datos de longitud de onda/ángulo sin alterar datos brutos;

lfunción de fusión de datos de múltiples ángulos;

ltanψ, cosΔ y otros formatos de expresión

Modelado y Ajuste

lCapaz de ajustar estructuras multicapa (películas de capa simple, películas compuestas y películas multicapa de alternancia periódica)

lBase de datos de materiales fácil de usar y expandible

lAmplia lista de constantes ópticas de materiales

lIncluye varios modelos de dispersión de materiales como Cauchy, Sellmeier, Lorentz, Drude, F-B, B-spline y Tauc-Lorentz.

lModelado y análisis de estructuras de superredes

lAnálisis aproximado del medio efectivo EMA

lCada capa de película puede considerarse como una película homogénea, interfaz, superficie rugosa, etc.

lAnálisis de datos compuestos de mediciones de múltiples ángulos de incidencia

lAlgoritmo de ajuste de regresión rápido para modelos ópticos y datos de medición

lVisualización gráfica simultánea de datos medidos y simulados

Simulación

lCálculos de simulación de los ángulos de elipticidad ψ y Δ de la muestra

lCálculos de simulación de la transmitancia T y reflectancia R de la muestra

Visualización de Resultados

lMuestra gráficos ajustados

lImágenes renderizadas en 2D y 3D

lInformes avanzados, que generan espectros medidos y calculados, modelos ópticos y parámetros ajustados

Gestión de Archivos

Software basado en Windows con funciones completas de gestión de archivos

Interfaz de Datos

Conectividad de datos del sistema MES soportada