|
পণ্যের বিবরণ:
|
| টাইপ: | টেস্টিং মেশিন | নির্ভুলতা ক্লাস: | উচ্চ নির্ভুলতা |
|---|---|---|---|
| নির্ভুলতা: | / | আবেদন: | অটো টেস্টিং |
| কাস্টমাইজড সমর্থন: | OEM, ODM, OBM | শক্তি: | --- |
| সুরক্ষা ক্লাস: | IP56 | ভোল্টেজ: | 220 V, অন্যান্য |
| ওয়ারেন্টি: | 1 বছর | ডেটা ইন্টারফেস: | MES সিস্টেম ডেটা সংযোগ সমর্থিত |
| বিশেষভাবে তুলে ধরা: | স্পেকট্রোস্কোপিক এলিপসোমিটার পাতলা ফিল্ম পরীক্ষক,ন্যানোফিল্ম পুরুত্ব পরীক্ষার মেশিন,স্পেকট্রাল এলিপসোমেট্রি প্রতিসরাঙ্ক সূচক পরীক্ষক |
||
স্পেকট্রাল এলিপসোমেট্রি স্পেকট্রোস্কোপিক এলিপসোমিটার পাতলা ফিল্ম বেধ প্রতিফলন সূচক পরীক্ষক ন্যানোফিল্ম বেধ পরীক্ষার মেশিন
আমি. ওভারভিউ
ইএস সিরিজের এলিলিপসমিটারগুলি উচ্চ-নির্ভুলতা, দ্রুত অ্যাক্সেস স্পেকট্রোস্কোপিক এলিলিপসমিটার যা গবেষণা এবং শিল্প পরিবেশের জন্য ডিজাইন করা হয়েছে, যা অতিবেগুনী, দৃশ্যমান,এবং ইনফ্রারেড তরঙ্গদৈর্ঘ্য পরিসীমা.
একটি উচ্চ সংবেদনশীলতা সনাক্তকরণ ইউনিট এবং এলিলিপসোমিটার বিশ্লেষণ সফ্টওয়্যার উপর ভিত্তি করে, ES সিরিজের এলিলিপসোমিটারগুলি স্তর কাঠামোর পরামিতিগুলি পরিমাপ করতে ব্যবহৃত হয় (যেমন,ঘনত্ব) এবং শারীরিক পরামিতি (উদাহরণস্বরূপ, বিচ্ছিন্নতা সূচক n, বিলুপ্তি সহগ k, অথবা এক-স্তর এবং বহু-স্তরীয় ন্যানোফিল্মের ডাইলেক্ট্রিক ফাংশন ε1 এবং ε2) ।এগুলি বাল্ক উপাদানগুলির অপটিক্যাল বৈশিষ্ট্যগুলি পরিমাপ করতেও ব্যবহার করা যেতে পারেপরিমাপযোগ্য নমুনার মধ্যে রয়েছেঃ
1) ফিল্ম বেধ d এবং শারীরিক পরামিতি (যেমন, বিচ্ছিন্নতা সূচক n, বিলুপ্তি সহগ k, বা dielectric ফাংশন ε1 এবং ε2) এক-স্তর এবং বহু-স্তরীয় nanostructured নমুনা;
২) শারীরিক পরামিতি (যেমন, বিচ্ছিন্নতা সূচক n, বিলুপ্তি সহগ k, বা ডাইলেক্ট্রিক ফাংশন ε1 এবং ε2) বাল্ক উপকরণ;
3) নমুনার প্রতিফলনশীলতা R;
4) নমুনার ট্রান্সমিট্যান্স T (স্থির কোণ বা মাইক্রো স্পট ব্যবহারের জন্য সমর্থিত নয়);
৫) ছড়িয়ে পড়া মোডের পরিমাপ (শুধুমাত্র স্বাধীন স্বয়ংক্রিয় কোণ পরিবর্তন সহ 02 সিরিজের জন্য) ।
এছাড়া এই যন্ত্রটি শক্তিশালী স্পেকট্রাল এলিলিপসোমেট্রি পরিমাপ এবং বিশ্লেষণ সফটওয়্যার দিয়ে সজ্জিত।
II. প্রযুক্তিগত বৈশিষ্ট্য
(১) ঘূর্ণন ক্ষতিপূরণকারী পরিমাপ প্রযুক্তিঃ এলিপসোমেট্রি কোণ Δ এর পরিমাপ পরিসীমা 0-360°, কোন অন্ধ দাগ নেই।ES একটি একক ঘূর্ণন ক্ষতিপূরণ যা একটি নমুনা এর মুলার ম্যাট্রিক্সের সব 12 উপাদান পরিমাপ করতে পারেন, ফলাফলের উপর রুক্ষ পৃষ্ঠের কারণে ডিপোলারাইজেশন প্রভাবের প্রভাব দূর করে;
(২) অত্যন্ত উচ্চ দীর্ঘমেয়াদী নির্ভুলতাঃ দ্রুত ক্ষতিপূরণ ঘূর্ণন এবং ব্রডব্যান্ড সুপার-অ্যাক্রোম্যাটিক ক্ষতিপূরণ ব্যবহার করে, দীর্ঘমেয়াদী নির্ভুলতা এবং নির্ভরযোগ্যতা নিশ্চিত করা হয়;
(৩) পারমাণবিক স্তর স্তর সনাক্তকরণ সংবেদনশীলতাঃ একক পারমাণবিক স্তর পরিমাপ করতে সক্ষম;
(৪) ভিডিও ভিত্তিক নমুনা সমন্বয়ঃ নমুনা সঠিকভাবে সমন্বয় করে এবং পর্যবেক্ষণকে সহজ করে তোলে, মানব ত্রুটি হ্রাস করে;
(৫) মাল্টি-ইনসিডেন্ট কোণ সমন্বয়ঃ মাল্টি-ইনসিডেন্ট কোণ কাঠামোর নকশা যন্ত্রের পরিমাপের নমনীয়তা বৃদ্ধি করে, বিশেষ করে অতি পাতলা বা জটিল নমুনা পরিমাপের জন্য উপযুক্ত;
(৬) প্রতিফলন ক্ষমতা/প্রেরণ ক্ষমতা পরিমাপঃ নমুনার বর্ণালী প্রতিফলন ক্ষমতা এবং প্রেরণ ক্ষমতা পরিমাপ করার অনুমতি দেয়;
(৭) এক ক্লিকের উপকরণ অপারেশনঃ রুটিন অপারেশনের জন্য, মাউসের এক ক্লিক জটিল পরিমাপ, মডেলিং, ফিটিং এবং বিশ্লেষণ প্রক্রিয়া সম্পন্ন করে।একটি সমৃদ্ধ মডেল এবং উপাদান লাইব্রেরি এছাড়াও উন্নত ব্যবহারকারীর চাহিদা সহজতর;
তৃতীয়যন্ত্রের কনফিগারেশন
3.1. বেসিক কনফিগারেশন
|
সিরিয়াল নম্বর |
মডেল |
নাম |
প্রধান প্রযুক্তিগত পরামিতি |
|
1 |
ES |
স্পেকট্রোস্কোপিক এলিপসোমেট্রি প্রধান ইউনিট |
এটি নিম্নলিখিত প্রধান উপাদানগুলি অন্তর্ভুক্ত করেঃ কোণাকার কাঠামোর সমাবেশ; আলোর উৎস সমন্বয়; পোলারাইজেশন অপটিক্সের একত্র; নমুনা সমন্বয় সমন্বয়; কন্ট্রোল সিস্টেম সমন্বয়। |
|
2 |
ET-কন-৫ |
কন্ট্রোল কম্পিউটার |
মোশন কন্ট্রোল এবং ডেটা বিশ্লেষণ গণনার জন্য, কনফিগারেশন কমপক্ষে হতে হবেঃ i5 CPU; 8GB RAM; 21-ইঞ্চি রঙিন প্রদর্শন; উইন্ডোজ 10 সিস্টেম; |
|
3 |
সি৭ |
যন্ত্র নিয়ন্ত্রণ বাক্স |
যন্ত্রপাতি ইত্যাদির গতি নিয়ন্ত্রণের জন্য ব্যবহৃত হয় |
|
4 |
ETES |
ডেডিকেটেড অপারেটিং এবং বিশ্লেষণ সফটওয়্যার |
যন্ত্রের সেটআপ, অপারেশন, পরিমাপ, ডেটা বিশ্লেষণ এবং আউটপুটের জন্য ব্যবহৃত হয়। |
|
5 |
এনএফএস-SiO2 / হ্যাঁ |
স্ট্যান্ডার্ড ন্যানোফিল্ম ওয়েফার নমুনা |
সিলিকন অক্সাইড (SiO2 / Si) 4 ′′ ব্যাসার্ধ এবং 100nm ফিল্ম বেধ সহ স্ফটিক সিলিকন উপর জমা হয়। |
3.2. সাধারণভাবে ব্যবহৃত ঐচ্ছিক আনুষাঙ্গিক
|
না, না। |
মডেল |
নাম |
প্রধান প্রযুক্তিগত পরামিতি |
|
X1a |
এফ-ইউ-200 |
মাইক্রো স্পট উপাদান |
মাইক্রো-লাইট স্পট (সংক্ষিপ্ত অক্ষ) এর ব্যাসার্ধঃ 200 μm (ব্যবহারের জন্য X2 স্বয়ংক্রিয় ফোকাসিং আনুষাঙ্গিক প্রয়োজন) |
|
X2a |
অটো ফোকাস |
Z-অক্ষ স্বয়ংক্রিয় ফোকাস সিস্টেম |
স্ট্রোকঃ ০-১০ মিমি |
স্পেকট্রাল এলিপসোমেট্রি স্পেকট্রোস্কোপিক এলিপসোমিটার পাতলা ফিল্ম বেধ প্রতিফলন সূচক পরীক্ষক ন্যানোফিল্ম বেধ পরীক্ষার মেশিন
IV. প্রযুক্তিগত বিবরণী
|
সাধারণ বিবরণ |
|
|
স্পেকট্রাল রেঞ্জ |
245 ¢ 1000 এনএম; অনুরোধের ভিত্তিতে কাস্টম স্পেকট্রাল ব্যাপ্তি উপলব্ধ |
|
আক্রমণ কোণ |
(F) স্থির অভ্যন্তরীণ কোণ; ডিফল্ট কোণঃ 65° |
|
পারফরম্যান্স স্পেসিফিকেশন |
|
|
পরিমাপের পুনরাবৃত্তিযোগ্যতা* |
সিআই স্ট্যান্ডার্ড ওয়েফারের উপর ১০০ এনএম সিও২ ফিল্মের জন্যঃ বেধের পুনরাবৃত্তিযোগ্যতা ০.০০৫ এনএম, বিচ্ছিন্নতা সূচক পুনরাবৃত্তিযোগ্যতা ০।0002 |
|
একক পরিমাপের সময় |
সাধারণ পরিমাপের সময় 1 ¢ 2 সেকেন্ড |
|
অপটিক্যাল ও মেকানিক্যাল উপাদান |
|
|
আলোর উৎস |
উচ্চ স্থিতিশীলতাযুক্ত ব্রডব্যান্ড আলোর উৎস (টংস্টেন-হ্যালোজেন ল্যাম্প, ডেউটিরিয়াম-হ্যালোজেন ল্যাম্প) |
|
স্পেকট্রাল অ্যাডজাস্টমেন্ট মোড |
স্বয়ংক্রিয়ভাবে সামঞ্জস্যযোগ্য স্পট আকার; সর্বোত্তম মেলে জন্য স্বয়ংক্রিয়ভাবে সামঞ্জস্যযোগ্য ইন্টিগ্রেশন সময় |
|
পোলারাইজার / অ্যানালাইজার |
উচ্চমানের পোলারাইজিং প্রিজম |
|
পরিমাপ স্পট |
ম্যানুয়ালি নিয়ন্ত্রিত স্পট পরিসীমাঃ 1 ¢ 4 মিমি |
|
স্পেকট্রাল ইন্টারভাল |
≤১০০০ এনএম ব্যান্ডঃ ১ এনএম |
|
নমুনা পর্যায় |
উল্লম্ব সমন্বয় পরিসীমাঃ 10 মিমি (ম্যানুয়াল); 2 ডি কমন সমন্বয় পরিসীমাঃ ±2° (ম্যানুয়াল); ভ্যাকুয়াম অ্যাডসরপশন সমর্থিত; সর্বাধিক নমুনা আকারঃ 8 ইঞ্চি (200 মিমি); কাস্টম আকার উপলব্ধ |
|
নমুনা সমন্বয় |
অটোকল্লিমেটর টেলিস্কোপ ও মাইক্রোস্কোপ যথার্থ নমুনা সমন্বয় (উচ্চতা এবং 2 ডি কমন); ইলেকট্রনিক ভিডিও চিত্র সমন্বয় |
|
ডিটেক্টর |
উচ্চ সংবেদনশীলতা কম শব্দ স্পেকট্রাল ডিটেক্টর |
|
কন্ট্রোল ক্যাবিনেট |
সার্কিট বোর্ড, মাইক্রো কন্ট্রোল ইউনিট, পাওয়ার সাপ্লাই ইত্যাদি সহ বিভক্ত চ্যাসি |
|
কম্পিউটার |
অপারেটিং সিস্টেম সহ উচ্চমানের কম্পিউটার |
|
সফটওয়্যার |
|
|
ইন্টারফেস ভাষা |
চীনা/ইংরেজি সহ বহুভাষিক সমর্থন; ডিফল্ট চীনা |
|
অনুমতি ব্যবস্থাপনা |
যন্ত্র পরিচালনার জন্য প্রশাসক এবং অপারেটরের অনুমতি স্তর |
|
অপারেশন মোড |
এক-ক্লিক রুটিন পরিমাপ মোড (শুরু-বন্ধুত্বপূর্ণ); আমিজটিল উপাদান বিশ্লেষণের জন্য উন্নত বিশ্লেষণ মোড |
|
স্পেকট্রাল পরিমাপ |
আমিঅপটিক্যাল কম্পোনেন্টের এজিমথের স্বয়ংক্রিয় সেটিং। আমিব্যবহারকারীর দ্বারা সংজ্ঞায়িত কাজের ম্যানুয়াল/অটোম্যাটিক সম্পাদন; আমিস্ট্যান্ডার্ড শক্তি বা তরঙ্গদৈর্ঘ্য একক প্রদর্শিত বর্ণালী; আমিঅন-লাইন ψ এবং Δ ডিসপ্লে দিয়ে নমুনা প্রতিক্রিয়া রিয়েল-টাইম পর্যবেক্ষণ |
|
পরিমাপের ফলাফল আউটপুট |
আমিমুলার ম্যাট্রিক্স ১১ উপাদান এবং অন্যান্য আউটপুট ফর্ম (এন, সি, এস); আমিফিল্মের বেধ d, বিচ্ছিন্নতা সূচক n, বিলুপ্তি সহগ k; আমিডায়েলেক্ট্রিক ফাংশন ε; আমিএলিপসোমেট্রিক কোণ ψ, Δ; আমিডিপোলারাইজেশন p; আমিট্রান্সমিট্যান্স টি (ফিক্সড-অ্যাঙ্গেল ইনস্ট্রুমেন্টস এবং লেজার পরিমাপ দ্বারা সমর্থিত নয়); আমিপ্রতিফলন R; আমিঅপরিশোধিত তথ্য পরিবর্তন না করে তরঙ্গদৈর্ঘ্য/কোণ ডেটা ক্রপিং; আমিমাল্টি-এঙ্গেল ডেটা মার্জিং ফাংশন; আমিtanψ, cosΔ এবং অন্যান্য অভিব্যক্তি বিন্যাস |
|
মডেলিং ও ফিটিং |
আমিবহুস্তরীয় কাঠামো (এক-স্তরীয় ফিল্ম, যৌগিক ফিল্ম এবং পর্যায়ক্রমে অল্টারনেটিং বহুস্তরীয় ফিল্ম) মাউন্ট করতে সক্ষম আমিব্যবহারকারী-বান্ধব এবং সম্প্রসারণযোগ্য উপকরণ ডাটাবেস আমিউপাদান অপটিক্যাল ধ্রুবক বিস্তৃত তালিকা আমিবিভিন্ন উপাদান ছড়িয়ে পড়া মডেল যেমন কচি, সেলমেইয়ার, লরেন্টজ, ড্রুড, এফ-বি, বি-স্প্লাইন এবং টাউক-লরেন্টজ অন্তর্ভুক্ত। আমিসুপারগ্রিট স্ট্রাকচারগুলির মডেলিং এবং বিশ্লেষণ আমিEMA কার্যকর মাধ্যমের আনুমানিক বিশ্লেষণ আমিপ্রতিটি ফিল্ম স্তরকে একজাতীয় ফিল্ম, ইন্টারফেস, রুক্ষ পৃষ্ঠ ইত্যাদি হিসাবে বিবেচনা করা যেতে পারে। আমিএকাধিক ইনসিডেন্ট এঙ্গেল পরিমাপের সমন্বিত তথ্য বিশ্লেষণ আমিঅপটিক্যাল মডেল এবং পরিমাপ তথ্যের জন্য দ্রুত রিগ্রেশন ফিটিং অ্যালগরিদম আমিমাপ এবং সিমুলেটেড ডেটা একযোগে গ্রাফিক্যাল প্রদর্শন |
|
সিমুলেশন |
আমিনমুনার এলিপটিক্যালিটি কোণ ψ এবং Δ এর সিমুলেশন গণনা আমিনমুনার ট্রান্সমিট্যান্স T এবং রিফ্লেক্টেন্স R এর সিমুলেশন গণনা |
|
ফলাফল প্রদর্শন |
আমিফিট করা গ্রাফ প্রদর্শন করে আমি2 ডি এবং 3 ডি রেন্ডার করা চিত্র আমিউন্নত প্রতিবেদন, পরিমাপ এবং গণনা করা বর্ণালী, অপটিক্যাল মডেল এবং ফিট করা পরামিতিগুলি আউটপুট করা |
|
ফাইল ব্যবস্থাপনা |
ব্যাপক ফাইল ম্যানেজমেন্ট ফাংশন সহ উইন্ডোজ ভিত্তিক সফটওয়্যার |
|
ডেটা ইন্টারফেস |
এমইএস সিস্টেমের ডেটা সংযোগ সমর্থিত |
![]()
![]()
ব্যক্তি যোগাযোগ: Kaitlyn Wang
টেল: 19376687282
ফ্যাক্স: 86-769-83078748