Спектральная эллипсометрия Спектроскопический эллипсометр Тестер толщины тонких пленок показателя преломления Машина для тестирования толщины нанопленок

Серийный номер

Модель

Имя

Основные технические параметры

1

ES

Главное подразделение спектроскопической эллипсометрии

Он включает следующие основные компоненты:

сборка угловой конструкции;

Сборка источника света;

Поляризационная оптическая установка;

Устройство выравнивания образцов;

Сборка системы управления.

2

ET-КОН-5

Управляющий компьютер

Для вычислений управления движением и анализа данных конфигурация должна быть не менее: i5 CPU; 8 ГБ оперативной памяти; 21-дюймовый цветный дисплей; система Windows 10;

3

C7

Станция управления приборами

Используется для управления движением приборов и т.д.

4

ETES

Специальное программное обеспечение для работы и анализа

Используется для установки прибора, работы, измерения, анализа данных и вывода.

5

НФС-SiO2 / Да, да.

Стандартный образец нанопленочной пластины

Оксид кремния (SiO2/Si) оседает на кристаллическом кремнии диаметром 4 ‰ и толщиной пленки 100 нм.

Нет, нет, нет.

Модель

Имя

Основные технические параметры

X1a

F-U-200

Компонент микроточек

Диаметр микросветового пятна (короткая ось): 200 мкм (для использования требуется аксессуар X2 с автоматической фокусировкой)

X2a

Автофокусировка

Система автоматической фокусировки Z-оси

Движение: 0-10 мм;

Общие спецификации

Спектральный диапазон

245 1000 нм; спектральные диапазоны по запросу

Угол попадания

(F) фиксированный угол падания; угол по умолчанию: 65°

Спецификации производительности

Повторяемость измерений*

Для пленки SiO2 на стандартной пластинке Si 100 нм: повторяемость толщины 0,005 нм, повторяемость индекса преломления 0.0002

Время единого измерения

Типичное время измерения 1 ≈ 2 секунды

Оптические и механические компоненты

Источник света

высокостабильный широкополосный источник света (вольфрам-галогенная лампа, дейтерий-галогенная лампа)

Режим спектральной настройки

Автоматически регулируемый размер точки; автоматически регулируемое время интеграции для оптимального соответствия

Поляризатор / анализатор

Высококачественная поляризующая призма

Место измерения

Ручной регулируемый диапазон точек: 1×4 мм

Спектральный интервал

диапазон ≤ 1000 нм: 1 нм

Стадия выборки

Диапазон вертикальной регулировки: 10 мм (вручную); Диапазон регулировки наклона 2D: ±2° (вручную); поддерживается адсорбция вакуума; максимальный размер образца: 8 дюймов (200 мм); доступны индивидуальные размеры

Выравнивание образца

Автоколлиматорный телескоп и микроскоп для точного выравнивания образцов (высота и 2D наклон); электронное выравнивание видеоизображений

Детектор

Высокочувствительный спектральный детектор с низким уровнем шума

Управляющий кабинет

Разделенное шасси с платой, микроустройством управления, источником питания и т.д.

Компьютер

Компьютер высокого качества с операционной системой

Программа

Язык интерфейса

Многоязычная поддержка, включая китайский/английский; китайский по умолчанию

Управление разрешениями

Уровни разрешений администратора и оператора на управление приборами

Режимы работы

Режим рутинных измерений с одним щелчком мыши (для начинающих);

Я...расширенный режим анализа для анализа сложных материалов

Спектральное измерение

Я...Автоматическое регулирование азимута оптического компонента;

Я...ручное/автоматическое выполнение задач, определенных пользователем;

Я...спектр, отображаемый в стандартных единицах энергии или длины волны;

Я...мониторинг ответа на выборку в режиме реального времени с онлайн-дисплеем ψ и Δ

Результаты измерений

Я...элементы матрицы Мюллера 11 и другие формы вывода (N, C, S);

Я...толщина пленки d, показатель преломления n, коэффициент вымирания k;

Я...диэлектрическая функция ε;

Я...эллиптометрические углы ψ, Δ;

Я...деполяризация p;

Я...проницаемость T (не поддерживается приборами фиксированного угла и лазерным измерением);

Я...отражательность R;

Я...обрезка данных по длине волны/угловому диапазону без изменения необработанных данных;

Я...функция слияния многоугольных данных;

Я...tanψ, cosΔ и другие форматы выражений

Моделирование и монтаж

Я...Мощность установки многослойных конструкций (однослойные пленки, композитные пленки и периодически чередующиеся многослойные пленки)

Я...Удобная для использования и расширяемая база данных материалов

Я...Обширный список материальных оптических констант

Я...Включает в себя различные модели дисперсии материала, такие как Коши, Селлмайер, Лоренц, Друд, F-B, B-spline и Таук-Лоренц.

Я...Моделирование и анализ суперрешетчатых структур

Я...Приблизительный анализ эффективной среды EMA

Я...Каждый слой пленки можно рассматривать как однородную пленку, интерфейс, грубую поверхность и т.д.

Я...Анализ сложных данных из нескольких измерений углов попадания

Я...Алгоритм быстрого регрессионного приспособления для оптических моделей и данных измерений

Я...Одновременное графическое отображение измеренных и моделируемых данных

Симуляция

Я...Симуляционные расчеты углов эллиптичности образца ψ и Δ

Я...Симуляционные расчеты проницаемости образца T и рефлектанции R

Отображение результатов

Я...Показывает приспособленные графики

Я...2D и 3D изображения

Я...Расширенная отчетность, выпуск измеренных и рассчитанных спектров, оптических моделей и установленных параметров

Управление файлами

Программное обеспечение на базе Windows с комплексными функциями управления файлами

Интерфейс данных

Поддерживается подключение данных системы MES