Die Ellipsometer der ES-Serie sind hochpräzise, schnell zugängliche Spektralellipsometer von LONROY, die für Forschungs- und Industrieumgebungen konzipiert sind und den Wellenlängenbereich des ultravioletten, sichtbaren und infraroten Lichts abdecken.
Basierend auf einer hochempfindlichen Detektionseinheit und einer Ellipsometer-Analysesoftware werden die Ellipsometer der ES-Serie zur Messung der Schichtstrukturparameter (z. B. Dicke) und physikalischen Parameter (z. B. Brechungsindex n, Extinktionskoeffizient k oder dielektrische Funktionen ε1 und ε2) von ein- und mehrlagigen Nanofilmen verwendet. Sie können auch zur Messung der optischen Eigenschaften von Massivmaterialien verwendet werden. Messbare Proben umfassen:
1) Schichtdicke d und physikalische Parameter (z. B. Brechungsindex n, Extinktionskoeffizient k oder dielektrische Funktionen ε1 und ε2) von ein- und mehrlagigen nanostrukturierten Proben;
2) Physikalische Parameter (z. B. Brechungsindex n, Extinktionskoeffizient k oder dielektrische Funktionen ε1 und ε2) von Massivmaterialien;
3) Reflektivität R der Probe;
4) Transmission T der Probe (nicht unterstützt für feste Winkel oder für die Verwendung mit Mikrospots);
5) Messung im Streumodus (nur für die 02-Serie mit unabhängiger automatischer Winkelvariation).
Darüber hinaus ist das Instrument mit einer leistungsstarken spektralen Ellipsometrie-Mess- und Analysesoftware ausgestattet.
II. Technische Merkmale
(1) Rotationskompensatormesstechnik: Der Messbereich des Ellipsometriewinkels Δ beträgt 0-360°, ohne tote Winkel. ES ist ein einzelner Rotationskompensator, der alle 12 Elemente der Mueller-Matrix einer Probe messen kann, wodurch der Einfluss von Depolarisationseffekten, die durch raue Oberflächen verursacht werden, auf die Ergebnisse eliminiert wird;
(2) Extrem hohe Langzeitgenauigkeit: Durch schnelle Kompensatorrotation und Breitband-Super-Achromat-Kompensatoren werden Langzeitgenauigkeit und Zuverlässigkeit gewährleistet;
(3) Nachweisempfindlichkeit auf Atomlagenebene: Fähigkeit zur Messung einzelner Atomlagen;
(4) Videobasierte Probenjustierung: Präzise Ausrichtung von Proben und Erleichterung der Beobachtung, wodurch menschliche Fehler reduziert werden;
(5) Einstellung mehrerer Einfallswinkel: Das Design der Multi-Einfallswinkelstruktur erhöht die Messflexibilität des Instruments, besonders geeignet für die Messung von ultradünnen oder komplexen Proben;
(6) Reflexions-/Transmissionsmessung: Ermöglicht die spektrale Reflexions- und Transmissionsmessung von Proben;
(7) Ein-Klick-Bedienung des Instruments: Für Routinevorgänge schließt ein einziger Mausklick komplexe Mess-, Modellierungs-, Anpassungs- und Analyseprozesse ab. Eine reichhaltige Modell- und Materialbibliothek erleichtert auch die Bedürfnisse fortgeschrittener Benutzer;
III. Instrumentenkonfiguration
3.1. Grundkonfiguration
Seriennummer
Modell
Name
Haupttechnische Parameter
1
ES
Spektroskopische Ellipsometrie Haupteinheit
Es umfasst die folgenden Hauptkomponenten:
Winkelstruktur-Baugruppe;
Lichtquellen-Baugruppe;
Polarisationsoptik-Baugruppe;
Probenjustierungs-Baugruppe;
Steuerungssystem-Baugruppe.
2
ET-CON-5
Steuerungscomputer
Für Bewegungssteuerung und Datenanalysen, die Konfiguration sollte nicht weniger als sein: i5 CPU; 8 GB RAM; 21-Zoll-Farbbildschirm; Windows 10 System;
3
C7
Instrumentensteuerungsbox
Wird für die Bewegungssteuerung von Instrumenten usw. verwendet.
4
ETES
Dedizierte Betriebs- und Analysesoftware
Wird für die Instrumenteneinrichtung, den Betrieb, die Messung, die Datenanalyse und die Ausgabe verwendet.
5
NFS-SiO2/Si
Standard-Nanofilm-Wafer-Probe
Siliziumdioxid (SiO2/Si) wird auf kristallinem Silizium abgeschieden, mit einem Durchmesser von 4 Zoll und einer Schichtdicke von 100 nm.
3.2. Häufig verwendetes optionales Zubehör
Nr.
Modell
Name
Haupttechnische Parameter
X1a
F-U-200
Mikrospot-Komponente
Durchmesser des Mikrolichtflecks (kurze Achse): 200 μm (erfordert X2 Autofokus-Zubehör für die Verwendung)
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