Οι ελλειψομετρητές της σειράς ES είναι ελλειψομετρητές φασματικής υψηλής ακρίβειας και ταχείας πρόσβασης από την LONROY, σχεδιασμένοι για ερευνητικά και βιομηχανικά περιβάλλοντα, καλύπτοντας το υπεριώδες, το ορατό και το υπέρυθρο φάσμα μήκους κύματος.
Βασισμένοι σε μονάδα ανίχνευσης υψηλής ευαισθησίας και λογισμικό ανάλυσης ελλειψομετρίας, οι ελλειψομετρητές της σειράς ES χρησιμοποιούνται για τη μέτρηση παραμέτρων δομής στρώματος (π.χ. πάχος) και φυσικών παραμέτρων (π.χ. δείκτης διάθλασης n, συντελεστής απόσβεσης k, ή διηλεκτρικές συναρτήσεις ε1 και ε2) μονοστρωματικών και πολυστρωματικών νανοϋμενίων. Μπορούν επίσης να χρησιμοποιηθούν για τη μέτρηση των οπτικών ιδιοτήτων όγκων υλικών. Δείγματα που μπορούν να μετρηθούν περιλαμβάνουν:
1) Πάχος υμενίου d και φυσικές παράμετροι (π.χ. δείκτης διάθλασης n, συντελεστής απόσβεσης k, ή διηλεκτρικές συναρτήσεις ε1 και ε2) μονοστρωματικών και πολυστρωματικών νανοδομημένων δειγμάτων;
2) Φυσικές παράμετροι (π.χ. δείκτης διάθλασης n, συντελεστής απόσβεσης k, ή διηλεκτρικές συναρτήσεις ε1 και ε2) όγκων υλικών;
3) Ανακλαστικότητα R του δείγματος;
4) Διαπερατότητα T του δείγματος (δεν υποστηρίζεται για σταθερές γωνίες ή για χρήση με μικρο-σημεία);
5) Μέτρηση λειτουργίας σκέδασης (μόνο για τη σειρά 02 με ανεξάρτητη αυτόματη μεταβολή γωνίας).
Επιπλέον, το όργανο είναι εξοπλισμένο με ισχυρό λογισμικό μέτρησης και ανάλυσης φασματικής ελλειψομετρίας.
ΙΙ. Τεχνικά Χαρακτηριστικά
(1) Τεχνολογία μέτρησης περιστρεφόμενου αντιστάθμιστή: Το εύρος μέτρησης της γωνίας ελλειψομετρίας Δ είναι 0-360°, χωρίς τυφλά σημεία. Το ES είναι ένας μοναδικός περιστρεφόμενος αντιστάθμιστης που μπορεί να μετρήσει όλα τα 12 στοιχεία του πίνακα Mueller ενός δείγματος, εξαλείφοντας την επίδραση των φαινομένων αποπόλωσης που προκαλούνται από τραχιές επιφάνειες στα αποτελέσματα;
(2) Εξαιρετικά υψηλή μακροπρόθεσμη ακρίβεια: Χρησιμοποιώντας ταχεία περιστροφή αντιστάθμιστή και ευρυζωνικούς υπερ-αχρωματικούς αντιστάθμιστες, εγγυάται μακροπρόθεσμη ακρίβεια και αξιοπιστία;
(4) Ευθυγράμμιση δείγματος μέσω βίντεο: Ευθυγραμμίζει με ακρίβεια τα δείγματα και διευκολύνει την παρατήρηση, μειώνοντας το ανθρώπινο λάθος;
(5) Ρύθμιση πολλαπλών γωνιών πρόσπτωσης: Ο σχεδιασμός δομής πολλαπλών γωνιών πρόσπτωσης ενισχύει την ευελιξία μέτρησης του οργάνου, ιδιαίτερα κατάλληλος για τη μέτρηση εξαιρετικά λεπτών ή σύνθετων δειγμάτων;
(6) Μέτρηση ανακλαστικότητας/διαπερατότητας: Επιτρέπει τη μέτρηση φασματικής ανακλαστικότητας και διαπερατότητας δειγμάτων;
(7) Λειτουργία οργάνου με ένα κλικ: Για συνήθεις λειτουργίες, ένα μόνο κλικ του ποντικιού ολοκληρώνει σύνθετες διαδικασίες μέτρησης, μοντελοποίησης, προσαρμογής και ανάλυσης. Μια πλούσια βιβλιοθήκη μοντέλων και υλικών διευκολύνει επίσης τις ανάγκες προηγμένων χρηστών;
ΙΙΙ. Διαμόρφωση Οργάνου
3.1. Βασική Διαμόρφωση
Σειριακός Αριθμός
Μοντέλο
Όνομα
Κύριες τεχνικές παράμετροι
1
ES
Κύρια Μονάδα Φασματικής Ελλειψομετρίας
Περιλαμβάνει τα ακόλουθα κύρια εξαρτήματα:
Συναρμολόγηση γωνιακής δομής;
Συναρμολόγηση πηγής φωτός;
Συναρμολόγηση οπτικών πόλωσης;
Συναρμολόγηση ευθυγράμμισης δείγματος;
Συναρμολόγηση συστήματος ελέγχου.
2
ET-CON-5
Υπολογιστής Ελέγχου
Για τον έλεγχο κίνησης και τους υπολογισμούς ανάλυσης δεδομένων, η διαμόρφωση δεν πρέπει να είναι κατώτερη από: επεξεργαστής i5, 8GB RAM, έγχρωμη οθόνη 21 ιντσών, σύστημα Windows 10;
3
C7
Κουτί Ελέγχου Οργάνου
Χρησιμοποιείται για τον έλεγχο κίνησης οργάνων, κ.λπ.
4
ETES
Ειδικό Λογισμικό Λειτουργίας και Ανάλυσης
Χρησιμοποιείται για τη ρύθμιση, λειτουργία, μέτρηση, ανάλυση δεδομένων και εξαγωγή του οργάνου.
5
NFS-SiO2/Si
Τυπικό Δείγμα Νανοϋμενίου
Οξείδιο του πυριτίου (SiO2/Si) εναποτίθεται σε κρυσταλλικό πυρίτιο, με διάμετρο 4” και πάχος υμενίου 100nm.
3.2. Συνήθως Χρησιμοποιούμενα Προαιρετικά Αξεσουάρ
Αρ.
Μοντέλο
Όνομα
Κύριες Τεχνικές Παράμετροι
X1a
F-U-200
Εξάρτημα μικρο-σημείου
Διάμετρος του μικρο-φωτεινού σημείου (μικρός άξονας): 200 μm (Απαιτείται το αξεσουάρ αυτόματης εστίασης X2 για χρήση)
Το μήνυμά σας πρέπει να αποτελείται από 20-3.000 χαρακτήρες!
Greek
