Spektral Elipsometri Spektroskopik Elipsometre İnce Film Kalınlığı Kırılma İndeksi Test Cihazı Nanofilm Kalınlık Test Makinesi

Seri Numarası

Model

Ad

Ana teknik parametreler

1

ES

Spektroskopik Elipsometre Ana Ünite

Aşağıdaki ana bileşenleri içerir:

Açısal yapı montajı;

Işık kaynağı montajı;

Polarizasyon optiği montajı;

Numune hizalama montajı;

Kontrol sistemi montajı.

2

ET-CON-5

Kontrol Bilgisayarı

Hareket kontrolü ve veri analizi hesaplamaları için, yapılandırma en az şu şekilde olmalıdır: i5 CPU; 8GB RAM; 21 inç renkli ekran; Windows 10 sistemi;

3

C7

Cihaz Kontrol Kutusu

Cihazların hareket kontrolü vb. için kullanılır.

4

ETES

Özel İşletim ve Analiz Yazılımı

Cihaz kurulumu, çalıştırılması, ölçümü, veri analizi ve çıktısı için kullanılır.

5

NFS-SiO2 / Si

Standart Nanofilm Wafer Numunesi

Kristal silikon üzerine silikon oksit (SiO2/Si) kaplanmıştır, çapı 4” ve film kalınlığı 100nm'dir.

No.

Model

Ad

Ana Teknik Parametreler

X1a

F-U-200

Mikro nokta bileşeni  

Mikro ışık noktasının çapı (kısa eksen): 200 μm (Kullanım için X2 otomatik odaklama aksesuarı gerektirir)

X2a

Otomatik Odaklama

Z ekseni otomatik odaklama sistemi

Strok: 0-10 mm;

Genel Özellikler

Spektral Aralık

245 – 1000 nm; istek üzerine özel spektral aralıklar mevcuttur

Geliş Açısı

(F) Sabit geliş açısı; varsayılan açı: 65°

Performans Özellikleri

Ölçüm Tekrarlanabilirliği*

Si standart wafer üzerinde 100 nm SiO2 film için: kalınlık tekrarlanabilirliği 0.005 nm, kırılma indisi tekrarlanabilirliği 0.0002

Tek Ölçüm Süresi

Tipik ölçüm süresi 1–2 saniye

Optik ve Mekanik Bileşenler

Işık Kaynağı

Yüksek kararlılıklı geniş bant ışık kaynağı (tungsten-halojen lamba, döteryum-halojen lamba)

Spektral Ayar Modu

Otomatik ayarlanabilir nokta boyutu; optimum eşleştirme için otomatik ayarlanabilir entegrasyon süresi

Polarizör / Analizör

Yüksek kaliteli polarizasyon prizması

Ölçüm Noktası

Manuel ayarlanabilir nokta aralığı: 1–4 mm

Spektral Aralık

≤1000 nm bant: 1 nm

Numune Sahnesi

Dikey ayar aralığı: 10 mm (manuel); 2D eğim ayar aralığı: ±2° (manuel); vakum adsorpsiyonu desteklenir; maksimum numune boyutu: 8 inç (200 mm); özel boyutlar mevcuttur

Numune Hizalama

Hassas numune hizalama (yükseklik ve 2D eğim) için otokolimatör teleskop ve mikroskop; elektronik video görüntü hizalaması

Dedektör

Yüksek hassasiyetli düşük gürültülü spektral dedektör

Kontrol Kabini

Devre kartı, mikro kontrol ünitesi, güç kaynağı vb. ile ayrılmış şasi

Bilgisayar

İşletim sistemli yüksek kaliteli bilgisayar

Yazılım

Arayüz Dili

Çince/İngilizce dahil çok dilli destek; varsayılan Çince

İzin Yönetimi

Cihaz yönetimi için yönetici ve operatör izin seviyeleri

İşletim Modları

Tek tıklamayla rutin ölçüm modu (başlangıç dostu);

lkarmaşık malzeme analizi için gelişmiş analiz modu

Spektral Ölçüm

lOptik bileşen azimutunun otomatik ayarlanması;

lkullanıcı tanımlı görevlerin manuel/otomatik yürütülmesi;

lspektrum standart enerji veya dalga boyu birimlerinde görüntülenir;

lnumune yanıtının gerçek zamanlı izlenmesi, çevrimiçi ψ ve Δ gösterimi ile

Ölçüm Sonucu Çıktısı

lMueller matrisi 11 elemanı ve diğer çıktı biçimleri (N, C, S);

lfilm kalınlığı d, kırılma indisi n, sönümleme katsayısı k;

ldielektrik fonksiyon ε;

lelipsometrik açılar ψ, Δ;

lpolarizasyon kaybı p;

lgeçirgenlik T (sabit açılı cihazlar ve lazer ölçümü ile desteklenmez);

lyansıtma R;

lham verileri değiştirmeden dalga boyu/açı verisi kırpma;

lçok açılı veri birleştirme işlevi;

ltanψ, cosΔ ve diğer ifade formatları

Modelleme ve Uyum

lÇok katmanlı yapıların uyumunu sağlayabilir (tek katmanlı filmler, kompozit filmler ve periyodik olarak değişen çok katmanlı filmler)

lKullanıcı dostu ve genişletilebilir malzeme veritabanı

lGeniş malzeme optik sabitleri listesi

lCauchy, Sellmeier, Lorentz, Drude, F-B, B-spline ve Tauc-Lorentz gibi çeşitli malzeme dispersiyon modellerini içerir.

lSüper kafes yapılarının modellenmesi ve analizi

lEMA etkin ortamının yaklaşık analizi

lHer film katmanı homojen bir film, arayüz, pürüzlü yüzey vb. olarak kabul edilebilir.

lBirden fazla geliş açısı ölçümünden elde edilen kompozit verilerin analizi

lOptik modeller ve ölçüm verileri için hızlı regresyon uyum algoritması

lÖlçülen ve simüle edilen verilerin eşzamanlı grafiksel gösterimi

Simülasyon

lNumunenin eliptiklik açıları ψ ve Δ simülasyon hesaplamaları

lNumunenin geçirgenliği T ve yansıtıcılığı R simülasyon hesaplamaları

Sonuç Gösterimi

lUyumlu grafikler görüntüler

l2D ve 3D işlenmiş görüntüler

lGelişmiş raporlama, ölçülen ve hesaplanan spektrumları, optik modelleri ve uyum parametrelerini çıktı alma

Dosya Yönetimi

Kapsamlı dosya yönetimi işlevlerine sahip Windows tabanlı yazılım

Veri Arayüzü

MES sistemi veri bağlantısı desteklenir