De ES-serie ellipsometers zijn hoog-precisie, snelle spectroscopische ellipsometers van LONROY, ontworpen voor onderzoeks- en industriële omgevingen, die het ultraviolette, zichtbare en infrarode golflengtebereik bestrijken.
Gebaseerd op een hooggevoelige detectie-eenheid en ellipsometer-analysoftware, worden de ES-serie ellipsometers gebruikt om de laagstructuurparameters (bijv. dikte) en fysische parameters (bijv. brekingsindex n, extinctiecoëfficiënt k, of diëlektrische functies ε1 en ε2) van enkelvoudige en meerlaagse nanofilms te meten. Ze kunnen ook worden gebruikt om de optische eigenschappen van bulkmaterialen te meten. Meetbare monsters omvatten:
1) Film dikte d en fysische parameters (bijv. brekingsindex n, extinctiecoëfficiënt k, of diëlektrische functies ε1 en ε2) van enkelvoudige en meerlaagse nanogestructureerde monsters;
2) Fysische parameters (bijv. brekingsindex n, extinctiecoëfficiënt k, of diëlektrische functies ε1 en ε2) van bulkmaterialen;
3) Reflectiviteit R van het monster;
4) Transmissie T van het monster (niet ondersteund voor vaste hoeken of voor gebruik met micro-spots);
5) Meting in strooiingsmodus (alleen voor de 02-serie met onafhankelijke automatische hoekvariatie).
Bovendien is het instrument uitgerust met krachtige spectrale ellipsometrie meet- en analysoftware.
II. Technische Kenmerken
(1) Rotatiecompensator meettechnologie: Het meetbereik van de ellipsometrische hoek Δ is 0-360°, zonder blinde vlekken. ES is een enkele rotatiecompensator die alle 12 elementen van de Mueller-matrix van een monster kan meten, waardoor de invloed van depolarisatie-effecten veroorzaakt door ruwe oppervlakken op de resultaten wordt geëlimineerd;
(2) Extreem hoge langetermijnnauwkeurigheid: Door gebruik te maken van snelle compensatorrotatie en breedband super-achromatische compensators, worden langetermijnnauwkeurigheid en betrouwbaarheid gegarandeerd;
(3) Detectiegevoeligheid op atoomlaagniveau: In staat om enkele atoomlagen te meten;
(4) Video-gebaseerde monsteruitlijning: Ligt monsters nauwkeurig uit en vergemakkelijkt de observatie, waardoor menselijke fouten worden verminderd;
(5) Aanpassing van meerdere invalshoeken: Het ontwerp met meerdere invalshoeken verbetert de meetflexibiliteit van het instrument, vooral geschikt voor het meten van ultradunne of complexe monsters;
(6) Reflectantie/transmissiemeting: Maakt spectrale reflectantie- en transmissiemeting van monsters mogelijk;
(7) Eén-klik instrumentbediening: Voor routinematige bewerkingen voltooit een enkele muisklik complexe meet-, modelleer-, fitting- en analyseprocessen. Een rijke model- en materiaalbibliotheek faciliteert ook geavanceerde gebruikersbehoeften;
III. Instrumentconfiguratie
3.1. Basale Configuratie
Serienummer
Model
Naam
Belangrijkste technische parameters
1
ES
Spectroscopische Ellipsometrie Hoofdunit
Het omvat de volgende hoofdcomponenten:
Hoekstructuur assemblage;
Lichtbron assemblage;
Polarisatieoptiek assemblage;
Monsteruitlijning assemblage;
Besturingssysteem assemblage.
2
ET-CON-5
Besturingscomputer
Voor bewegingscontrole en data-analyseberekeningen, moet de configuratie niet minder zijn dan: i5 CPU; 8GB RAM; 21-inch kleurenscherm; Windows 10 systeem;
3
C7
Instrument Besturingskast
Gebruikt voor bewegingscontrole van instrumenten, etc.
4
ETES
Speciale Bedrijfs- en Analysoftware
Gebruikt voor instrumentinstelling, bediening, meting, data-analyse en output.
5
NFS-SiO2/Si
Standaard Nanofilm Wafel Monster
Siliciumoxide (SiO2/Si) is afgezet op kristallijn silicium, met een diameter van 4” en een filmdikte van 100nm.
3.2. Veelgebruikte Optionele Accessoires
Nee.
Model
Naam
Belangrijkste Technische Parameters
X1a
F-U-200
Micro-spot component
Diameter van de micro-lichtspot (korte as): 200 μm (Vereist X2 autofocus accessoire voor gebruik)
Uw bericht moet tussen de 20-3.000 tekens bevatten!
Dutch
