|
Thông tin chi tiết sản phẩm:
|
| Kiểu: | Máy kiểm tra | Lớp chính xác: | Độ chính xác cao |
|---|---|---|---|
| Sự chính xác: | / | Ứng dụng: | Kiểm tra tự động |
| Hỗ trợ tùy chỉnh: | OEM, ODM, OBM | Quyền lực: | - |
| Lớp bảo vệ: | IP56 | Điện áp: | 220 v |
| Bảo hành: | 1 năm | Phạm vi phân tích quang phổ: | 380nm-1100nm |
| Đo kích thước điểm: | 1-5mm | Độ dày màng sơn chính xác tuyệt đối: | trong khoảng 0,2% hoặc 2nm, tùy theo giá trị nào lớn hơn |
| Độ ổn định độ dày màng: | tốt hơn 0,05nm | ||
| Làm nổi bật: | Máy đo độ dày màng phản xạ,Máy thí nghiệm kiểm tra hằng số quang học,Máy thử đồng nhất độ độ dày màng |
||
Máy đo độ dày màng phản chiếu Máy đo hằng số quang học Máy kiểm tra độ đồng đều độ dày màng
I. Tổng quan
LR-A428 máy đo độ dày màng phản chiếusử dụng nguyên lý giao thoa phản xạ cho phép đo không phá hủy. Bằng cách phân tích mô hình giao thoa được hình thành bởi ánh sáng phản xạ từ bề mặt màng và ánh sáng phản xạ từ giao diện giữa màng và chất nền, cùng với giai đoạn R-Theta, nó có thể tương thích với các mẫu có kích thước từ 6 đến 12 inch. Nó có thể thực hiện quét nhanh toàn bộ mẫu, đo thông tin nhanh chóng và chính xác như độ dày màng và hằng số quang học, đồng thời đánh giá tính đồng nhất của độ dày màng.
1.Giải pháp đo phim quang học;
2.Đo lường không tiếp xúc, không phá hủy;
3.Thuật toán cốt lõi hỗ trợ phân tích màng mỏng thành màng dày và màng đơn lớp đến màng nhiều lớp.
4.Độ chính xác đo độ lặp lại độ dày màng: 0,02 nm
5.Đo lường hoàn toàn tự động. Số lượng và vị trí các điểm đo có thể được chỉnh sửa theo nhu cầu trong Công thức.
II. Tính năng sản phẩm
1.Sử dụng nguồn sáng halogen cường độ cao, quang phổ bao phủ phạm vi từ tia cực tím đến cận hồng ngoại.
![]()
2.Nó sử dụng thiết kế tích hợp cao về quang học, cơ học và điện tử, có kích thước nhỏ và vận hành dễ dàng.
![]()
3.Dựa trên nguyên lý giao thoa ánh sáng phản xạ tại mặt phân cách và mặt phân cách phía dưới của lớp màng mỏng nên dễ dàng phân tích từ một lớp đến nhiều lớp.
![]()
4.Được trang bị các thuật toán phân tích lõi mạnh mẽ: FFT được sử dụng để phân tích màng dày và phương pháp phân tích khớp đường cong được sử dụng để phân tích thông tin tham số vật lý của màng mỏng;
![]()
III. Ứng dụng sản phẩm
Nó được ứng dụng rộng rãi trong việc đo các loại màng bảo vệ, màng hữu cơ, màng vô cơ, màng kim loại, lớp phủ, v.v.
![]()
![]()
Máy đo độ dày màng phản chiếu Máy đo hằng số quang học Máy kiểm tra độ đồng đều độ dày màng
Thông số kỹ thuật
|
Chức năng cơ bản |
Thu được giá trị độ dày màng và phổ R |
|
Phạm vi phân tích quang phổ |
380nm-1100nm |
|
Đo kích thước điểm |
1-5mm |
|
Độ chính xác đo độ lặp lại độ dày màng: |
0,02nm (mẫu SiO2 gốc silicon 100nm, 100 lần đo lặp lại) |
|
Độ dày màng sơn chính xác tuyệt đối |
trong khoảng 0,2% hoặc 2nm, tùy theo giá trị nào lớn hơn |
|
Độ ổn định độ dày màng |
tốt hơn 0,05nm |
|
Phạm vi đo độ dày màng |
15nm~70um |
|
Giai đoạn mẫu |
Bệ di động R-Theta tự động, đường kính bệ mẫu không nhỏ hơn 200mm |
|
* Phương pháp kiểm tra |
Kiểm tra tự động tại nhiều điểm bất kỳ để tạo bản đồ ánh xạ độ dày (1. hình tròn/hình vuông, 2.Hình dạng xuyên tâm, 3. Trung tâm hoặc |
|
Tốc độ kiểm tra (bao gồm cả mâm cặp chân không) |
5 điểm trong 5 giây, 25 điểm trong 14 giây, 57 điểm trong 30 giây |
|
Nguồn sáng |
Nguồn sáng halogen tiêu chuẩn (có tuổi thọ 10000 giờ) |
|
mô phỏng phản xạ |
Nó có thể mô hình hóa các vật liệu phủ khác nhau và mô phỏng đường cong phản xạ của hệ thống màng phủ |
|
Phần mềm phân tích |
lên tới hàng trăm cơ sở dữ liệu cố định về vật liệu quang học và hỗ trợ các thư viện vật liệu quang học do người dùng xác định; Cung cấp khả năng mô hình hóa, mô phỏng và phân tích cho màng mỏng quang đẳng hướng nhiều lớp; |
|
Thông số kỹ thuật của bảng thử nghiệm mẫu |
|
|
Kích thước wafer có thể đo lường được |
2 inch&4 inch&6 inch&8 inch&12 inch |
|
Phương pháp cố định wafer |
hấp phụ chân không |
|
Phạm vi di chuyển của sân khấu |
không nhỏ hơn 200mm * 200mm |
|
Đặt mẫu thủ công, tự động lập bản đồ và đo lường, đồng thời có thể chỉnh sửa số lượng và vị trí các điểm đo khi cần trong Công thức |
|
![]()
![]()
Người liên hệ: Kaitlyn Wang
Tel: 19376687282
Fax: 86-769-83078748