Métro de espessura de filme refletor Constantes ópticas Tester espessura de filme máquina de teste de uniformidade máquina de teste de laboratório
descrição
Tipo:
Máquina de teste
Classe de Precisão:
Alta precisão
Precisão:
/
Aplicativo:
Teste automático
Suporte personalizado:
OEM, ODM, OBM
Poder:
-
Classe de Proteção:
IP56
Tensão:
220 v
Garantia:
1 ano
Faixa de análise espectral:
380nm-1100nm
Meça o tamanho do ponto:
1-5mm
Precisão absoluta da espessura do filme:
entre 0,2% ou 2 nm, o que for maior
Estabilidade da espessura do filme:
melhor que 0,05nm
Destacar:
medidor de espessura de película refletora
,
Máquina de laboratório de ensaio de constantes ópticas
,
Máquina de ensaio de uniformidade da espessura da película
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Métro de espessura de filme refletor Constantes ópticas Tester Máquina de teste de uniformidade de espessura de filme
I. Visão geral
O LR-A428medidor de espessura de película refletoraUtiliza o princípio da interferência de reflexão para a medição não destrutiva.Analisando o padrão de interferência formado pela luz refletida da superfície do filme e a luz refletida da interface entre o filme e o substrato, juntamente com o estágio R-Theta, pode ser compatível com amostras que variam de 6 a 12 polegadas.Medição rápida e precisa de informações como espessura da película e constantes ópticas, e avaliar a uniformidade da espessura da película.
1.Solução de medição por filme óptico;
2.Medição sem contacto e não destrutiva;
3.O algoritmo central suporta a análise de filmes finos para filmes grossos e filmes de camada única para filmes de camadas múltiplas.
4.Precisão de medição da repetibilidade da espessura da película: 0,02 nm
5.Medição totalmente automática: o número e a posição dos pontos de medição podem ser editados conforme necessário na receita.
II. Características do produto
1.Utilizando uma fonte de luz halogênica de alta intensidade, o espectro abrange a faixa do ultravioleta ao infravermelho próximo.
2.Adota um projeto altamente integrado de óptica, mecânica e electrónica, com um pequeno tamanho e fácil operação.
3.Com base no princípio da interferência da luz refletida na interface e na interface inferior da camada de filme fino, é fácil analisar de uma única camada para múltiplas camadas.
4.Equipado com poderosos algoritmos de análise do núcleo: a FFT é utilizada para analisar filmes grossos e o método de análise de curvatura é utilizado para analisar as informações de parâmetros físicos de filmes finos;
III. Aplicações dos produtos
É amplamente aplicado na medição de vários tipos de películas protetoras, películas orgânicas, películas inorgânicas, películas metálicas, revestimentos, etc.
Métro de espessura de filme refletor Constantes ópticas Tester Máquina de teste de uniformidade de espessura de filme
Especificação técnica
Função básica
Obter valores de espessura da película e espectros R
Faixa de análise espectral
380 nm-1100 nm
Medir o tamanho do ponto
1-5 mm
Precisão de medição da repetibilidade da espessura da película:
0.02 nm (100 nm de amostra de SiO2 à base de silício, 100 medições repetidas)
Precisão absoluta da espessura da película
entre 0,2% ou 2 nm, consoante o que for maior
Estabilidade da espessura da película
Melhor que 0,05 nm
Intervalo de medição da espessura da película
15nm~70um
Fase de amostragem
Plataforma móvel automática R-Theta, com um diâmetro do estágio de amostragem não inferior a 200 mm
* Método de ensaio
Testes automatizados em vários pontos para gerar um mapa de mapeamento de espessura (1. circular/quadrado, 2. forma radial, 3. centro ou Exclusão da borda, 4. Personalização (editar pontos de coordenadas de acordo com as necessidades da amostra)
Velocidade de ensaio (incluindo o cilindro a vácuo)
5 pontos em 5 segundos, 25 pontos em 14 segundos, 57 pontos em 30 segundos
Fonte luminosa
Fonte luminosa halógena padrão (com uma duração de 10000 horas)
Simulação da refletividade
Pode modelar diferentes materiais de revestimento e simular a curva de refletividade do sistema de filme de revestimento
Software de análise
O sistema permite que os utilizadores possam utilizar até centenas de bases de dados constantes de material óptico e suportar bibliotecas de material óptico definidas pelo utilizador.e capacidades de análise para películas finas ópticas isotrópicas multicamadas;
Especificações da tabela de ensaio de amostras
Tamanhos mensuráveis das bolhas
2 polegadas e 4 polegadas e 6 polegadas e 8 polegadas e 12 polegadas
Método de fixação da wafer
adsorção a vácuo
Faixa de movimento do palco
não inferior a 200 mm * 200 mm
Colocar manualmente a amostra, mapear e medir automaticamente e o número e a posição dos pontos de medição podem ser editados conforme necessário na receita
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