|
Ürün ayrıntıları:
|
| Tip: | Test makinesi | Doğruluk sınıfı: | Yüksek doğruluk |
|---|---|---|---|
| Kesinlik: | / | Başvuru: | Otomatik Test |
| Özelleştirilmiş destek: | OEM, ODM, OBM | Güç: | - |
| Koruma Sınıfı: | IP56 | Gerilim: | 220 V |
| Garanti: | 1 Yıl | Spektral analiz aralığı: | 380nm-1100nm |
| Spot boyutunu ölçün: | 1-5mm | Film kalınlığının mutlak hassasiyeti: | %0,2 veya 2 nm arasında (hangisi büyükse) |
| Film kalınlığı stabilitesi: | 0,05 nm'den daha iyi | ||
| Vurgulamak: | yansıtıcı film kalınlığı ölçer,Optik sabitleri test eden laboratuvar makinesi,Film kalınlığı tekdüzelik test makinesi |
||
Yansıtıcı Film Kalınlığı Meter Optik Sabitler Tester Film Kalınlığı Tekdüzelik Test Makinesi
I. Genel Bakış
LR-A428 yansıtıcı film kalınlığı ölçeryıkıcı olmayan ölçüm için yansıma müdahalesi ilkesini kullanır.Film yüzeyinden yansıyan ışık ve film ile alt katman arasındaki arayüzden yansıyan ışık tarafından oluşturulan müdahale kalıbını analiz ederek, R-Theta aşaması ile birlikte, 6 ila 12 inç arasında uzanan numunelerle uyumlu olabilir.Film kalınlığı ve optik sabitler gibi bilgiyi hızlı ve doğru ölçmek, ve film kalınlığının tekdüzeliğini değerlendirir.
1.Optik film ölçüm çözeltisi;
2.Temassız, yıkıcı olmayan ölçüm;
3.Temel algoritma, ince filmlerin kalın filmlere ve tek katmanlı filmlerin çok katmanlı filmlere analiz edilmesini destekler.
4.Film kalınlığının tekrarlanabilirliği ölçüm doğruluğu: 0.02 nm
5.Tamamen otomatik ölçüm. Ölçüm noktalarının sayısı ve konumu Reçette gerektiği gibi düzenlenebilir.
II. Ürün Özellikleri
1.Yüksek yoğunluklu bir halogen ışık kaynağı kullanılarak, spektrum ultraviyoleten yakın kızılötesiye kadar olan aralığı kapsar.
![]()
2.Optik, mekanik ve elektroniklerin yüksek oranda bütünleştirilmiş bir tasarımını benimsiyor, küçük boyutlara ve kolay çalışmaya sahiptir.
![]()
3.İncelediği ışığın arayüzde ve ince film katmanının alt arayüzünde müdahale prensibine dayanarak, tek katmandan birden fazla katmana analiz etmek kolaydır.
![]()
4.Güçlü çekirdek analiz algoritmaları ile donatılmıştır: Kalın filmleri analiz etmek için FFT kullanılır ve ince filmlerin fiziksel parametre bilgilerini analiz etmek için eğri uygunluk analizi yöntemi kullanılır;
![]()
III. Ürün Uygulamaları
Çeşitli koruyucu filmlerin, organik filmlerin, inorganik filmlerin, metal filmlerin, kaplamaların vb. ölçümünde yaygın olarak uygulanmaktadır.
![]()
![]()
Yansıtıcı Film Kalınlığı Meter Optik Sabitler Tester Film Kalınlığı Tekdüzelik Test Makinesi
Teknik Özellik
|
Temel işlev |
Film kalınlığı değerleri ve R spektrumları alın |
|
Spektral analiz aralığı |
380nm-1100nm |
|
Noktanın boyutunu ölç |
1-5 mm |
|
Film kalınlığının tekrarlanabilirliği ölçüm doğruluğu: |
0.02nm (100nm silikon bazlı SiO2 örneği, 100 tekrarlanan ölçüm) |
|
Film kalınlığının mutlak doğruluğu |
% 0,2 veya 2nm arasında, hangisi daha büyükse |
|
Film kalınlığı istikrarı |
0.05nm'den daha iyi |
|
Film kalınlığı ölçüm aralığı |
15nm~70um |
|
Örnekleme aşaması |
Otomatik R-Theta mobil platform, örnekleme aşamasının çapı en az 200 mm |
|
* Test yöntemi |
Kalınlık haritalama haritası oluşturmak için herhangi bir çok noktada otomatik test (1. dairesel/kare, 2.Radial şekil, 3. Merkezi veya |
|
Sınav hızı (vakum çubuğu dahil) |
5 saniyede 5 puan, 14 saniyede 25 puan, 30 saniyede 57 puan. |
|
Işık kaynağı |
Standart bir halogen ışık kaynağı (10000 saatlik ömrü ile) |
|
Yansıtıcılık simülasyonu |
Farklı kaplama malzemelerini modelleyebilir ve kaplama filmi sisteminin yansıtıcılık eğrisini simüle edebilir |
|
Analiz yazılımı |
Yüzlerce optik malzeme sabit veritabanına kadar ve kullanıcı tarafından tanımlanan optik malzeme kitaplıklarını destekler.Çok katmanlı izotropik optik ince filmler için analiz yetenekleri; |
|
Örnek test tablosunun özellikleri |
|
|
Ölçülebilir wafer boyutları |
2 inç 4 inç 6 inç 8 inç 12 inç |
|
Wafer sabitleme yöntemi |
vakum adsorpsiyonu |
|
Sahnenin hareket aralığı |
en az 200mm * 200mm |
|
El ile numune yerleştirmek, otomatik olarak harita ve ölçüm ve ölçüm noktalarının sayısı ve konumu gerekirse düzenlenebilir Tarif |
|
![]()
![]()
İlgili kişi: Kaitlyn Wang
Tel: 19376687282
Faks: 86-769-83078748