Reflectieve filmdikte meter optische constanten tester filmdikte uniformiteit testmachine
I. Overzicht
De LR-A428reflectieve filmdiktemetermaakt gebruik van het beginsel van reflectieinterferentie voor niet-destructieve metingen.Door het interferentiepatroon te analyseren dat wordt gevormd door het gereflecteerde licht van het filmoppervlak en het gereflecteerde licht van de interface tussen de film en het substraat, samen met de R-Theta fase, kan het compatibel zijn met monsters variërend van 6 tot 12 inch.snel en nauwkeurig informatie meten zoals filmdikte en optische constanten, en het beoordelen van de gelijkheid van de filmdikte.
1.optische filmmetingsoplossing;
2.niet-contact, niet-destructieve meting;
3.Het kernalgoritme ondersteunt de analyse van dunne films naar dikke films en van eenlaagse films naar meerlaagse films.
4.Metingsnauwkeurigheid van de herhaalbaarheid van de filmdikte: 0,02 nm
5.Volledig automatische meting: het aantal en de positie van de meetpunten kunnen in het Recept naar behoefte worden bewerkt.
II. Productkenmerken
1.Met behulp van een halogeenlichtbron met een hoge intensiteit bedekt het spectrum het bereik van ultraviolet tot nabij-infrarood.
2.Het heeft een zeer geïntegreerd ontwerp van optica, mechanica en elektronica, met een kleine afmeting en een gemakkelijke bediening.
3.Op basis van het principe van interferentie van gereflecteerd licht op de interface en de onderkant van de dunne filmlaag is het gemakkelijk om van één laag naar meerdere lagen te analyseren.
4.Uitgerust met krachtige kernanalysealgoritmen: FFT wordt gebruikt om dikke films te analyseren en curve fitting analyse methode wordt gebruikt om de fysische parameter informatie van dunne films te analyseren;
III. Toepassingen van het product
Het wordt op grote schaal toegepast bij de meting van verschillende soorten beschermende films, organische films, anorganische films, metalen films, coatings, enz.
Reflectieve filmdikte meter optische constanten tester filmdikte uniformiteit testmachine
Technische specificatie
Basisfunctie
Verkrijgen van filmdiktewaarden en R-spectrum
Spectrumanalysebereik
380 nm-1100 nm
Meet de grootte van de vlek
1-5 mm
Meetsnauwkeurigheid van de herhaalbaarheid van de filmdikte:
0.02nm (100nm SiO2-monster op basis van silicium, 100 herhaalde metingen)
Absolute nauwkeurigheid van de filmdikte
tussen 0,2% of 2 nm, indien dit hoger is
Filmdikte stabiliteit
beter dan 0,05 nm
Meetbereik voor de filmdikte
15 nm ~ 70 mm
Proefstadium
Geautomatiseerd mobiel R-Theta-platform met een steekproefstadium met een diameter van ten minste 200 mm
* Testmethode
Geautomatiseerd testen op meerdere punten om een dikte kaart te genereren (1. cirkelvormig/vierkantig, 2. radialvormig, 3. middenvormig of 4. Aanpassing (coördinaten wijzigen naargelang de steekproefbehoeften)
Testsnelheid (inclusief vacuümschok)
5 punten in 5 seconden, 25 punten in 14 seconden, 57 punten in 30 seconden.
Lichtbron
Standaard halogeenlichtbron (met een levensduur van 10000 uur)
Simulatie van reflectiviteit
Het kan verschillende coatingsmaterialen modelleren en de reflectiviteitscurve van het coatingsysteem simuleren
Analysesoftware
Het biedt modellering, simulatie, simulatie en simulatie van optische apparatuur.en analysemogelijkheden voor meerlagige isotrope optische dunne films;
Specificaties van de proeftesttabel
Meetbare wafergroottes
2 inch&4 inch&6 inch&8 inch&12 inch
Bevestigingsmethode voor wafers
adsorptie door vacuüm
Bewegingsbereik van het podium
niet minder dan 200 mm * 200 mm
Handmatig plaatsen van het monster, automatisch in kaart brengen en meten en het aantal en de positie van de meetpunten kunnen worden bewerkt als nodig in het recept
Uw bericht moet tussen de 20-3.000 tekens bevatten!
Dutch
